下载一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法的技术资料

文档序号:27488145

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种普通机床实现超精密平行线性微结构加工方法,属于误差补偿的超精密加工领域。本发明包括:将固定有工件的压电致动微位移器固定于工作台上;椭圆振动辅助飞切装置和位移传感器固定于床身上,位移传感器通过测量固定在工作台上的高精度标准块可...
该专利属于山东理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。