图案形成方法、滤色器及其制造方法、电光学装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种提高图案形状的均一性且提高生产性的图案形成方法、滤色器的制造方法、滤色器、电光学装置的制造方法以及电光学装置。在形成着色层（３８Ｒ）之前，在着色层形成区域（３６）形成凹凸面（３２），在反射区域（Ｒｒ）的凹凸面（３２）上，形成反射层溶液的液滴而形成具有与凹凸面（３２）的凹凸形状对应的形状的反射层（３７）。并且，在反射层（３７）以及透射区域（Ｒｔ）的凹凸面（３２）上，喷出着色层溶液的微小液滴，形成在着色层形成区域（３６）整体润湿展开的着色层溶液的液滴，形成均一形状的着色层（３８Ｒ）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种图案形成方法、滤色器的制造方法、滤色器、电光学装置的制造方法以及电光学装置。
技术介绍
近年来，作为电光学装置的液晶显示装置，为了对显示图像进行彩色化，而采用具备各种颜色(红色、绿色、蓝色)的着色层的滤色器。在该滤色器的制造方法中，利用液相工序，即，将形成着色层的着色层形成材料的溶液(着色层溶液)涂布在由遮光层(黑矩阵)包围的着色层形成区域，通过使该溶液干燥从而形成滤色器。其中尤其是，液相工序中的喷墨法中，由于将溶液作为微小的液滴喷出，因此与其它液相工序(例如旋涂或者分配法等)相比，可形成更加细微的着色层(例如专利文献1)。然而，该喷墨法当中，为了避免喷出的液滴向邻接的着色层形成区域的泄漏，而由相对液滴具备疏液性的材料(疏液性材料)构成上述遮光层。并且，将由疏液性材料组成的遮光膜在基板整个面进行成膜，通过对该遮光膜进行图案化，从而形成将着色层形成区域包围的形状的遮光层。然而，在上述遮光膜的图案形成工序中，若在着色层形成区域存在该遮光膜的细微的残渣片，则上述喷墨法会产生以下问题。即，由于遮光膜由疏液性材料构成，因此在该遮光膜的残渣片附近，喷出的液滴的润湿性降低。因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成方法，通过对形成于基底层上的隔壁层进行图案化而形成隔壁，通过向由所述基底层和所述隔壁包围的图案形成区域喷出含有图案形成材料的液滴，从而在所述基底层上形成图案，其特征在于，在对所述隔壁层进行图案化时，在所述图案形成区域内的所述基底层上形成所述隔壁层的残渣片，在喷出所述液滴之前，将所述残渣片作为掩膜对所述基底层进行图案化，从而将所述基底层形成为凹凸形状，以便将所述液滴引入至所述隔壁。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：片上悟，福田敦史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]