大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影的装置及方法，装置包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统；方法为：在控制系统上设定和输入显影参数，控制加热系统待药液温度达到设定值，自动传输系统将光刻胶板送进显影槽体，触发循环过滤喷淋系统，使药液从喷淋头处喷出，实现自动喷淋显影，显影结束，由另一循环过滤喷淋系统，获得去离子水，清洗光刻胶玻璃板表面滞留的药液；实现水洗；通过自动传输系统将光刻胶玻璃板送至风干区，吹干光刻胶玻璃板表面的水体，完成显影。本发明专利技术克服了人为操作显影带来的时间、平稳性误差导致显影深度不均匀和重复性差等不足之处和缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设涉及一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装 置及方法，属于激光全息制版技术、激光精细加工和精细化工技术领 域。
技术介绍
全息光刻胶玻璃板显影是激光全息母版制作过程中一个必己不 可少的重要后道工序，显影工艺技术的好坏将直接影响激光全息母版 的质量，从而进一步影响激光全息制品的质量。传统的全息光刻胶板显影大都采用人工水平浸液的方法，这种方法适用于约300x300mm2 以下小幅面的光刻胶玻璃板的显影，其制作出来的激光全息母版主要 用于全息标贴等窄幅激光制品的制作。随着经济的快速发展，激光全 息技术的应用趋势也不断地向高端市场发展，尤其在防伪、包装和装 饰领域，逐渐从窄幅向技术含量更高、防伪性能更强的无拼缝大幅面 (最大约达lxlm2)方向发展。由于幅面大，采用传统水平浸显的方 法边缘和中心部位会造成较大的浸液时间差值，及人为操作带来的时 间、平稳性等多方面的误差，从而导致整个版面显影深度不均匀和重 复性差，进而影响全息母版质量。若采用垂直津液的方法显影，那么 对于如此大幅面的光刻胶玻璃板，起始入液点和最终入液点之间会存在较大的时间差，同样存在着如上所述的问题。目前印刷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影装置，包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统；所述的控制系统用于加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、自动传输系统和风干系统的控制，包括电源总开关、电加热器电源开关、温度控制数显调节仪、自动传输系统触发开关、光电定位开关、磁力泵开关、计时器、涡流风机电源开关；所述的加热恒温系统由电加热器、热传感器、温度控制数显调节仪、液位探测仪组成，温度控制数显调节仪设定显影温度，电加热器加热循环过滤喷淋系统中的药液储放槽，热传感器探测头和第一液位探测仪置于循环过滤喷淋系统中的药液储放槽内；所述的循环过滤喷淋系统包括药液储放槽、管道、...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姜兆华，张伟，
申请(专利权)人：上海市激光技术研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]