温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种大幅面光刻胶玻璃板曝光后自动喷淋显影的装置及方法，装置包括控制系统、加热恒温系统、循环过滤喷淋系统、光刻胶玻璃板自动传输系统和风干系统；方法为：在控制系统上设定和输入显影参数，控制加热系统待药液温度达到设定值，自动传输系统将...
该专利属于上海市激光技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海市激光技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。