一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统技术方案

本发明专利技术公开了一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统，包括基座、宏动平台、微动平台和光栅尺位移传感器；宏动平台采用电磁直线电机，定子固定在基座上，动子用于承载微动平台；光栅尺位移传感器的光栅读数头设置在宏动平台的动子上、标尺光栅沿宏动平台动子的运动方向设置在宏动平台的定子上，用于测量宏动平台动子相对于定子的运动位移；微动平台采用压电直线电机，定子固定在宏动平台的动子上，动子用于装载物料；微动平台用于对宏动平台的位移进行补偿。本发明专利技术通过宏动平台跟微动平台输出位移的复合，能将搭载于微动平台上的物料送到指定的位置，能补偿宏动平台的速度抖动，具有高速与高精度的特点。具有高速与高精度的特点。具有高速与高精度的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统


[0001]本专利技术涉及物料传输领域，尤其涉及一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统。

技术介绍

[0002]我国智能制造行业对自动化设备的定位精度和运动速度同时提出了越来越高的要求。考虑到压电直线电机具有定位精度高、自锁力大、结构灵活等特点，而电磁直线电机具有大行程和大功率输出的特点，因此这里提出一种利用压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统。
[0003]国内专利技术专利CN203092144U中，提供了一种采用柔性铰链放大机构的压电作动器，进行微运动的补偿。由于所采用的压电作动器位移量小，结构复杂，实际工作过程中能量损失较大，另外由于采用了柔性放大机构导致作动器整体结构过大，占用安装空间。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是针对
技术介绍
中所涉及到的缺陷，提供一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统。
[0005]本专利技术为解决上述技术问题采用以下技术方案
[0006]一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电与电磁复合驱动的高速高精度物料传输系统，其特征在于，包括基座、宏动平台、微动平台和光栅尺位移传感器；所述宏动平台采用电磁直线电机，宏动平台的定子固定在基座上，宏动平台的动子用于承载微动平台；所述光栅尺位移传感器的光栅读数头设置在所述宏动平台的动子上、标尺光栅沿宏动平台动子的运动方向设置在宏动平台的定子上，用于测量宏动平台动子相对于定子的运动位移；所述微动平台采用压电直线电机，微动平台的定子固定在所述宏动平台的动子上，微动平台的动子用于装载物料...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱华，黄旭珍，赵淳生，崔云鹏，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：新型
国别省市：