一种安全性能高的石英坩埚制造技术

技术编号:27379523 阅读:28 留言:0更新日期:2021-02-19 14:17
本实用新型专利技术涉及实验仪器技术领域,且公开了一种安全性能高的石英坩埚,包括埚体,所述埚体的外侧覆盖有防护层,所述防护层的外侧固定安装有拿取垫,所述埚体的内侧开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有延伸至埚体内部的滑块,所述滑块位于埚体内部的一端固定安装有盖板。该安全性能高的石英坩埚,通过设置防护层,取下坩埚且因外部因素导致坩埚被打翻时,防摔层、拿取垫或限制环其中一部分直接与地面接触,从而保证锅体无法直接与刚性物体直接进行物理接触,减小了锅体破碎的可能性,且同时震荡的液体被盖板挡住,不会飞溅而出,对工作人员造成伤害,从而具备了安全性能高的优点。从而具备了安全性能高的优点。从而具备了安全性能高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种安全性能高的石英坩埚


[0001]本技术涉及实验仪器
,具体为一种安全性能高的石英坩埚。

技术介绍

[0002]石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种,用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。
[0003]石英坩埚虽然有热传导效果好的优点,但是受其本身材质影响,脆性较大,当操作人员受外来因素影响导致未拿稳坩埚时,容易使坩埚掉落后直接破碎,导致其内部加工的化学试剂飞溅至操作人员身上,从而对操作人员身体造成一定威胁,故而提出一种安全性能高的石英坩埚来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本技术提供了一种安全性能高的石英坩埚,具备安全性能高的优点,解决了石英坩埚虽然有热传导效果好的优点,但是受其本身材质影响,脆性较大,当操作人员受外来因素影响导致未拿稳坩埚时,容易使坩埚掉落后直接破碎,导致其内部加工的化学试剂飞溅至操作人员身上,从而对操作人员身体造成一定威胁的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述安全性能高的目的,本技术提供如下技术方案:一种安全性能高的石英坩埚,包括埚体,所述埚体的外侧覆盖有防护层,所述防护层的外侧固定安装有拿取垫,所述埚体的内侧开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有延伸至埚体内部的滑块,所述滑块位于埚体内部的一端固定安装有盖板,所述盖板的顶部固定安装有隔热片,所述隔热片的顶部固定安装有拿取块,所述埚体的顶部螺纹连接有限制环。
[0008]优选的,所述防护层具体由内层的隔热层和外层的防摔层组成,防护层的底部位于埚体底部的上方。
[0009]优选的,所述隔热层为高温结构陶瓷,所述防摔层完全将隔热层包裹。
[0010]优选的,所述防摔层为弹性橡胶,所述防摔层的厚度与所述隔热层的厚度相等。
[0011]优选的,所述隔热片为方形岩棉,且隔热片的顶部固定连接有T型拉杆,所述拿取垫为海绵垫,且宽度小于防护层的宽度。
[0012]优选的,所述限制环的内径小于埚体的内径,且限制环的底部开设有呈环形的螺纹槽,限制环的底部通过螺纹槽与埚体螺纹连接。
[0013]优选的,所述滑槽与滑块的数量均为四个,四个所述滑槽呈环形分布于埚体的内侧壁,四个所述滑块呈环形分布于盖板的外侧。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比,本技术提供了一种安全性能高的石英坩埚,具备以下有益
效果:
[0016]该安全性能高的石英坩埚,通过设置防护层,当坩埚加热时,热量通过外壁传导至防护层后,由于隔热层导热系数较低,可防止热量在传导至防摔层热量过高,且同时盖板被限制环压住,使其内部的反应物无法沸腾后飞溅至工作人员身上,提升了安全性,当坩埚加热完毕后,取下坩埚且因外部因素导致坩埚被打翻时,防摔层、拿取垫或限制环其中一部分直接与地面接触,从而保证锅体无法直接与刚性物体直接进行物理接触,减小了锅体破碎的可能性,且同时震荡的液体被盖板挡住,不会飞溅而出,对工作人员造成伤害,从而具备了安全性能高的优点。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图;
[0018]图2为本技术滑槽与滑块连接俯视图。
[0019]图中:1埚体、2防护层、21隔热层、22防摔层、3拿取垫、4滑槽、5滑块、6盖板、7隔热片、8拿取块、9限制环。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1-2,一种安全性能高的石英坩埚,包括埚体1,埚体1的外侧覆盖有防护层2,防护层2具体由内层的隔热层21和外层的防摔层22组成,隔热层21为高温结构陶瓷,防摔层22完全将隔热层21包裹,防摔层22为弹性橡胶,防摔层22的厚度与隔热层21的厚度相等,防护层2的底部位于埚体1底部的上方,防护层2的外侧固定安装有拿取垫3,埚体1的内侧开设有滑槽4,滑槽4的内部滑动连接有延伸至埚体1内部的滑块5,滑槽4与滑块5的数量均为四个,四个滑槽4呈环形分布于埚体1的内侧壁,四个滑块5呈环形分布于盖板6的外侧,滑块5位于埚体1内部的一端固定安装有盖板6,盖板6的顶部固定安装有隔热片7,隔热片7为方形岩棉,且隔热片7的顶部固定连接有T型拉杆,拿取垫3为海绵垫,且宽度小于防护层2的宽度,隔热片7的顶部固定安装有拿取块8,埚体1的顶部螺纹连接有限制环9,限制环9的内径小于埚体1的内径,且限制环9的底部开设有呈环形的螺纹槽,限制环9的底部通过螺纹槽与埚体1螺纹连接,通过设置防护层2,当坩埚加热时,热量通过外壁传导至防护层2后,由于隔热层21导热系数较低,可防止热量在传导至防摔层22热量过高,且同时盖板6被限制环9压住,使其内部的反应物无法沸腾后飞溅至工作人员身上,提升了安全性,当坩埚加热完毕后,取下坩埚且因外部因素导致坩埚被打翻时,防摔层22、拿取垫3或限制环9其中一部分直接与地面接触,从而保证锅体1无法直接与刚性物体直接进行物理接触,较小了锅体1破碎的可能性,且同时震荡的液体被盖板6挡住,不会飞溅而出,对工作人员造成伤害,从而具备了安全性能高的优点。
[0022]综上所述,该安全性能高的石英坩埚,通过设置防护层2,当坩埚加热时,热量通过外壁传导至防护层2后,由于隔热层21导热系数较低,可防止热量在传导至防摔层22热量过
高,且同时盖板6被限制环9压住,使其内部的反应物无法沸腾后飞溅至工作人员身上,提升了安全性,当坩埚加热完毕后,取下坩埚且因外部因素导致坩埚被打翻时,防摔层22、拿取垫3或限制环9其中一部分直接与地面接触,从而保证锅体1无法直接与刚性物体直接进行物理接触,较小了锅体1破碎的可能性,且同时震荡的液体被盖板6挡住,不会飞溅而出,对工作人员造成伤害,从而具备了安全性能高的优点,解决了石英坩埚虽然有热传导效果好的优点,但是受其本身材质影响,脆性较大,当操作人员受外来因素影响导致未拿稳坩埚时,容易使坩埚掉落后直接破碎,导致其内部加工的化学试剂飞溅至操作人员身上,从而对操作人员身体造成一定威胁的问题。
[0023]需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安全性能高的石英坩埚,包括埚体(1),其特征在于:所述埚体(1)的外侧覆盖有防护层(2),所述防护层(2)的外侧固定安装有拿取垫(3),所述埚体(1)的内侧开设有滑槽(4),所述滑槽(4)的内部滑动连接有延伸至埚体(1)内部的滑块(5),所述滑块(5)位于埚体(1)内部的一端固定安装有盖板(6),所述盖板(6)的顶部固定安装有隔热片(7),所述隔热片(7)的顶部固定安装有拿取块(8),所述埚体(1)的顶部螺纹连接有限制环(9)。2.根据权利要求1所述的一种安全性能高的石英坩埚,其特征在于:所述防护层(2)具体由内层的隔热层(21)和外层的防摔层(22)组成,防护层(2)的底部位于埚体(1)底部的上方。3.根据权利要求2所述的一种安全性能高的石英坩埚,其特征在于:所述隔热层(21)为高温结构陶瓷,所述防摔层(22)完全将隔热层(21)包...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱旦
申请(专利权)人:常州裕能石英科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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