一种耐热性高的石英坩埚制造技术

技术编号:27379230 阅读:22 留言:0更新日期:2021-02-19 14:16
本实用新型专利技术涉及石英坩埚技术领域,且公开了一种耐热性高的石英坩埚,包括坩埚主体,其特征在于:所述坩埚主体包括内胆和连接环,所述内胆的外侧固定连接有连接环,所述内胆的外部固定连接有位于连接环下方的外套机构,所述外套机构的外侧套接有环形块,所述环形块的底部开设有环形槽。该耐热性高的石英坩埚,通过设置挡环,使外界坩埚夹从挡环和环形块的间隙进入,与限位环的外侧接触,再沿让位槽向上滑动外界坩埚夹,外界坩埚夹进入环形槽的内部,再使外界坩埚夹对外套机构的外侧进行夹持,环形槽和让位槽对外界坩埚夹起到定位的作用,同时避免滑脱和松动掉落,从而达到了利于夹取的目的。目的。目的。

【技术实现步骤摘要】
一种耐热性高的石英坩埚


[0001]本技术涉及石英坩埚
,具体为一种耐热性高的石英坩埚。

技术介绍

[0002]石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节,而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展,石英坩埚分透明和不透明两种,用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。
[0003]目前市场上现有的石英坩埚都有外形简单的优点,但现有的大部分石英坩埚的外表光滑,坩埚夹在进行夹取时容易滑落,不利于夹取使用,故而提出一种耐热性高的石英坩埚来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本技术提供了一种耐热性高的石英坩埚,具备利于夹取等优点,解决了现有的石英坩埚都有外形简单的优点,但现有的大部分石英坩埚的外表光滑,坩埚夹在进行夹取时容易滑落,不利于夹取使用的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述利于夹取的目的,本技术提供如下技术方案:一种耐热性高的石英坩埚,包括坩埚主体,所述坩埚主体包括内胆和连接环,所述内胆的外侧固定连接有连接环,所述内胆的外部固定连接有位于连接环下方的外套机构,所述外套机构的外侧套接有环形块,所述环形块的底部开设有环形槽,所述环形块的外侧开设有与环形槽内部连通的让位槽,所述坩埚主体的外侧固定连接有与外套机构底部固定连接的挡环,所述挡环的顶部固定连接有与环形块外侧固定连接并一端延伸至环形槽内部的限位环;
[0008]所述外套机构包括传导层、保温层、加固层和防腐层,所述内胆的外部固定连接有位于连接环下方的传导层,所述传导层的外部固定连接有保温层,所述保温层的外部固定连接有加固层,所述加固层的外部固定连接有防腐层。
[0009]优选的,所述传导层为导热碳纤维,所述传导层的厚度不大于一毫米。
[0010]优选的,所述保温层为铬钼钢板,所述保温层的厚度不大于三毫米。
[0011]优选的,所述加固层为碳化硅纤维膜,所述加固层的厚度不大于二毫米。
[0012]优选的,所述防腐层为镍合金板,所述防腐层的厚度不大于四毫米。
[0013]优选的,所述让位槽的数量为四个,且四个所述让位槽呈环形分布,所述坩埚主体的顶部开设有半圆槽,所述挡环为耐火黏土陶板。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比,本技术提供了一种耐热性高的石英坩埚,具备以下有益效果:
[0016]该耐热性高的石英坩埚,通过设置挡环,使外界坩埚夹从挡环和环形块的间隙进入,与限位环的外侧接触,再沿让位槽向上滑动外界坩埚夹,外界坩埚夹进入环形槽的内部,再使外界坩埚夹对外套机构的外侧进行夹持,环形槽和让位槽对外界坩埚夹起到定位的作用,同时避免滑脱和松动掉落,外套机构包括传导层、保温层、加固层和防腐层,传导层能使坩埚主体表面受热均匀,保温层能起到防止热量散发的作用,加固层能在外界坩埚夹夹持时,起到均匀应力的作用,防腐层对加固层起到保护的作用,从而达到了利于夹取的目的。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图;
[0018]图2为本技术环形槽俯视剖面图;
[0019]图3为本技术外套机构侧视局部剖视图。
[0020]图中:1坩埚主体、101内胆、102连接环、2外套机构、201传导层、202保温层、203加固层、204防腐层、3环形块、4环形槽、5让位槽、6挡环、7限位环。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1-3,一种耐热性高的石英坩埚,包括坩埚主体1,坩埚主体1包括内胆101和连接环102,内胆101的外侧固定连接有连接环102,内胆101的外部固定连接有位于连接环102下方的外套机构2,外套机构2的外侧套接有环形块3,环形块3的底部开设有环形槽4,环形块3的外侧开设有与环形槽4内部连通的让位槽5,坩埚主体1的外侧固定连接有与外套机构2底部固定连接的挡环6,让位槽5的数量为四个,且四个让位槽5呈环形分布,坩埚主体1的顶部开设有半圆槽,挡环6为耐火黏土陶板,挡环6的顶部固定连接有与环形块3外侧固定连接并一端延伸至环形槽4内部的限位环7;
[0023]外套机构2包括传导层201、保温层202、加固层203和防腐层204,内胆101的外部固定连接有位于连接环102下方的传导层201,传导层201为导热碳纤维,传导层201的厚度不大于一毫米,传导层201的外部固定连接有保温层202,保温层202为铬钼钢板,保温层202的厚度不大于三毫米,保温层202的外部固定连接有加固层203,加固层203为碳化硅纤维膜,加固层203的厚度不大于二毫米,加固层203的外部固定连接有防腐层204,防腐层204为镍合金板,防腐层204的厚度不大于四毫米,通过设置挡环6,使外界坩埚夹从挡环6和环形块3的间隙进入,与限位环7的外侧接触,再沿让位槽5向上滑动外界坩埚夹,外界坩埚夹进入环形槽4的内部,再使外界坩埚夹对外套机构2的外侧进行夹持,环形槽4和让位槽5对外界坩埚夹起到定位的作用,同时避免滑脱和松动掉落,外套机构2包括传导层201、保温层202、加固层203和防腐层204,传导层201能使坩埚主体1表面受热均匀,保温层202能起到防止热量散发的作用,加固层203能在外界坩埚夹夹持时,起到均匀应力的作用,防腐层204对加固层203起到保护的作用,从而达到了利于夹取的目的。
[0024]综上所述,该耐热性高的石英坩埚,通过设置挡环6,使外界坩埚夹从挡环6和环形块3的间隙进入,与限位环7的外侧接触,再沿让位槽5向上滑动外界坩埚夹,外界坩埚夹进入环形槽4的内部,再使外界坩埚夹对外套机构2的外侧进行夹持,环形槽4和让位槽5对外界坩埚夹起到定位的作用,同时避免滑脱和松动掉落,外套机构2包括传导层201、保温层202、加固层203和防腐层204,传导层201能使坩埚主体1表面受热均匀,保温层202能起到防止热量散发的作用,加固层203能在外界坩埚夹夹持时,起到均匀应力的作用,防腐层204对加固层203起到保护的作用,从而达到了利于夹取的目的,解决了现有的石英坩埚都有外形简单的优点,但现有的大部分石英坩埚的外表光滑,坩埚夹在进行夹取时容易滑落,不利于夹取使用的问题。
[0025]需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐热性高的石英坩埚,包括坩埚主体(1),其特征在于:所述坩埚主体(1)包括内胆(101)和连接环(102),所述内胆(101)的外侧固定连接有连接环(102),所述内胆(101)的外部固定连接有位于连接环(102)下方的外套机构(2),所述外套机构(2)的外侧套接有环形块(3),所述环形块(3)的底部开设有环形槽(4),所述环形块(3)的外侧开设有与环形槽(4)内部连通的让位槽(5),所述坩埚主体(1)的外侧固定连接有与外套机构(2)底部固定连接的挡环(6),所述挡环(6)的顶部固定连接有与环形块(3)外侧固定连接并一端延伸至环形槽(4)内部的限位环(7);所述外套机构(2)包括传导层(201)、保温层(202)、加固层(203)和防腐层(204),所述内胆(101)的外部固定连接有位于连接环(102)下方的传导层(201),所述传导层(201)的外部固定连接有保温层(202),所述保温层(202)的外...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱旦
申请(专利权)人:常州裕能石英科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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