【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在喷射组件中使用的微型阀的电极结构
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求2018年5月11日提交的美国临时申请号62/670,286的优先权和权益，其公开内容通过引用方式整体并入本文。
[0003]本公开总体上涉及使用微机电系统(MEMS)技术制造的微型阀的领域。更具体地，本公开涉及包括用于工业标记和编码的微型阀的喷射组件。
技术介绍
[0004]传统的印刷技术有几个缺点。例如，连续喷墨打印机具有某些难以消除的缺陷。例如，从油墨供应装置产生液滴的过程可能导致油墨沿不期望的方向(例如，远离目标)滴落，从而导致维护需求。另外，由于蒸发，补充流体会随着时间的推移而流失，从而需要不断补充。还需要其他维护费用，诸如因劣化而修理孔板。
技术实现思路
[0005]一个实施方案针对微型阀。微型阀包括孔板，该孔板包括孔口。该微型阀还包括具有第一端部和第二端部的致动梁。致动梁还包括基础层。压电材料层设置在基础层上，并且延伸第一端部和第二端部之间距离的至少一部分。压电材料层在其电连接部分处限定...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种微型阀，包括：孔板，所述孔板包括孔口；致动梁，所述致动梁包括第一端部和第二端部，其中所述致动梁还包括：基础层；压电材料层，所述压电材料层设置在所述基础层上，并且延伸所述第一端部和所述第二端部之间距离的至少一部分，所述压电材料层在其电连接部分处限定穿过其中的通孔；底部电极层，所述底部电极层设置在所述压电材料层的第一侧上，位于所述压电材料层的所述电连接部分处，所述底部电极层的一部分设置在所述通孔下方；以及顶部电极层，所述顶部电极层设置在所述压电材料层的第二侧上，位于所述压电材料层的所述电连接部分处，所述顶部电极层的一部分穿过所述通孔设置，其中所述致动梁包括从所述电连接部分朝向所述第一端部延伸的基部部分和从所述基部部分朝向所述第二端部延伸的悬臂部分，其中所述悬臂部分可响应于在所述底部电极层与所述顶部电极层之间施加差分电信号而移动以进行打开或闭合所述微型阀的操作中的一者。2.如权利要求1所述的微型阀，还包括设置在所述孔板上的阀座，所述阀座限定与孔口和流体增压室流体连通的开口。3.如权利要求1所述的微型阀，其中所述通孔是第一通孔，并且其中在所述致动梁的所述电连接部分处，所述压电材料层包括穿过其中限定的通往所述基础层的第二通孔，其中所述微型阀还包括键合焊盘，所述键合焊盘的至少一部分穿过所述第二通孔设置在所述基础层上。4.如权利要求3所述的微型阀，其中所述键合焊盘包括键合焊盘导线，所述键合焊盘导线在所述第一通孔处电连接到所述底部电极层的所述部分或所述顶部电极层的所述部分中的至少一者。5.如权利要求4所述的微型阀，其中在所述电连接部分的第一位置处，所述底部电极层的设置在下方的所述部分是不活动的，并且所述顶部电极层的所述部分是活动的，以便形成顶部电极，所述顶部电极从所述电连接部分朝向所述悬臂部分延伸，并且其中所述键合焊盘导线的一部分设置在所述顶部电极层的在所述第一通孔处的所述部分上以便与其电连接。6.如权利要求4所述的微型阀，其中在所述电连接部分的第二位置处，所述顶部电极层的所述部分是不活动的，并且所述底部电极层的所述部分是活动的，以便形成底部电极，所述底部电极从所述电连接部分朝向所述悬臂部分延伸，并且其中所述键合焊盘导线的一部分设置在所述顶部电极层的在所述第一通孔处的所述不活动部分上，以便通过所述顶部电极层的所述不活动部分电连接到所述活动底部电极。7.如权利要求3所述的微型阀，其中所述基础层包括调谐层和阻挡层，所述阻挡层的至少一部分插入在所述调谐层和所述压电材料层之间，其中所述第二通孔延伸穿过所述阻挡层，使得所述键合焊盘接触所述调谐层。8.如权利要求1所述的微型阀，其中所述致动梁还包括设置在所述压电材料层上的钝化结构，其中所述钝化结构完全覆盖所述顶部电极和所述压电材料层。9.如权利要求1所述的微型阀，其中所述底部电极层从所述电连接部分连续延伸跨越
所述致动梁的所述基部部分，其中所述底部电极层包括设置在所述悬臂部分上的延伸部分。10.如权利要求9所述的微型阀，其中所述压电材料层重叠并延伸超过所述底部电极层的横向端部，使得所述压电材料封装所述底部电极层的至少一部分。11.如权利要求2所述的微型阀，其中所述悬臂部分的重叠部分与所述孔口重叠，其中所述微型阀还包括从所述重叠部分朝向所述孔口延伸的密封构件，其中在没有所述电信号的情况下，所述密封构件接触所述阀座以闭合所述微型阀。12.如权利要求1所述的微型阀，其中所述悬臂部分包括从所述基部部分延伸的第一部分和从所述第一部分延伸的第二部分，其中所述第...
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