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一种微型阀包括孔板，所述孔板包括孔口。所述微型阀还包括具有第一端部和第二端部的致动梁。所述致动梁还包括基础层和设置在所述基础层上的压电材料层、底部电极层和顶部电极层。在所述致动梁的电连接部分处，所述压电材料层包括第一通孔、所述顶部电极层的设...
该专利属于马修斯国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过马修斯国际公司授权不得商用。

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