本发明专利技术涉及一种用于芯片生产的清洗设备，包括主体、工作台、蓄水盒、连管、喷洒管和若干喷头，还包括清洁机构和转动机构，转动机构包括放置板、两个转动组件和两个支撑杆，转动组件包括转动齿轮、第一轴承、转轴、蜗轮、蜗杆和传动单元，清洁机构包括连接盒、两个驱动组件、若干喷嘴和若干支管，驱动组件包括电机、驱动轴、驱动杆、气囊、弹簧、固定板、压板、进气管和出气管，该用于芯片生产的清洗设备通过转动机构，带动晶圆转动，可以向晶圆的各处喷洒清洁液，扩大了清洁的范围，通过清洁机构，使得喷嘴向晶圆吹气，可以将粘附在晶圆上的清洁液吹落，避免晶圆长期被清洁液覆盖而被氧化出现缺陷。陷。陷。
【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片生产的清洗设备
[0001]本专利技术涉及芯片领域，特别涉及一种用于芯片生产的清洗设备。
技术介绍
[0002]清洗设备是在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下，有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆上之微尘、金属离子及有机物之杂质的设备。
[0003]现有的清洗设备在清洁晶圆时，由于喷头是固定设置的，导致喷头的喷液范围有限，使得晶圆各处无法被充分的清洗到，从而降低了清洗质量，不仅如此，现有的清洗设备在清洗晶圆时，清洁液容易覆盖在晶圆上，若不及时将清洁液清除，容易引起晶圆表面氧化而产生缺陷，从而影响晶圆的性能，降低了现有的清洗设备的可靠性。
技术实现思路
[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种用于芯片生产的清洗设备。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于芯片生产的清洗设备，包括主体、工作台、蓄水盒、连管、喷洒管和若干喷头，所述工作台固定在主体内的底部，所述蓄水盒固定在主体内的顶部，所述喷洒管通过连管与蓄水盒的内部连通，所述蓄水盒内设有清洁液，所述喷头均匀设置在喷洒管上，所述喷头与喷洒管连通，所述喷头朝向工作台设置，所述连管的内部设有阀门，所述主体的内部设有PLC，所述阀门与PLC电连接，还包括清洁机构和转动机构，所述工作台的上方设有凹口，所述凹口的形状为圆形，所述转动机构设置在凹口的内部，所述清洁机构设置在工作台上，所述清洁机构与转动机构连接；
[0006]所述转动机构包括放置板、两个转动组件和两个支撑杆，所述放置板的形状为圆环形，所述放置板与凹口同轴设置，两个支撑杆关于放置板的轴线对称设置，所述凹口内的底部设有环形槽，所述支撑杆的一端与放置板的下方固定连接，所述支撑杆的另一端设置在环形槽的内部，所述支撑杆的另一端与环形槽匹配，所述放置板的外周周向均匀固定有固定齿，两个转动组件关于放置板的轴线对称设置，所述转动组件与固定齿连接，所述转动组件与清洁机构连接；
[0007]所述转动组件包括转动齿轮、第一轴承、转轴、蜗轮、蜗杆和传动单元，所述第一轴承固定在凹口内的底部，所述转轴的两端分别与第一轴承的内圈和转动齿轮固定连接，所述转动齿轮与固定齿啮合，所述蜗轮固定在转轴上，所述蜗轮与蜗杆啮合，所述工作台上设有两个圆孔，所述圆孔与传动单元一一对应，所述蜗杆与传动单元连接，所述传动单元与清洁机构连接；
[0008]所述清洁机构包括连接盒、两个驱动组件、若干喷嘴和若干支管，所述喷嘴的数量与支管的数量相等，所述喷嘴与支管一一对应，所述连接盒的形状为环形，所述连接盒的内圈与工作台的外周固定连接，两个驱动组件关于连接盒的轴线对称设置，所述驱动组件与传动单元一一对应，所述驱动组件与传动单元连接，所述驱动组件与连接盒连接，所述喷嘴
周向均匀固定在工作台的上方，所述喷嘴通过支管与连接盒连通，所述喷嘴朝向放置板设置；
[0009]所述驱动组件包括电机、驱动轴、驱动杆、气囊、弹簧、固定板、压板、进气管和出气管，所述电机固定在主体的内壁上，所述电机与驱动轴的一端传动连接，所述驱动杆的一端与驱动轴固定连接，所述固定板固定在连接盒上，所述压板水平设置在固定板的上方，所述气囊的上方和下方分别与压板的下方和固定板的上方固定连接，所述气囊的远离连接盒的一侧与进气管连通，所述气囊的另一侧通过出气管与连接盒的内部连通，所述进气管和出气管内均设有单向阀，所述单向阀与PLC电连接，所述弹簧的两端分别与气囊内的顶部和底部连接。
[0010]作为优选，为了传递动力，所述传动单元包括第二轴承、连接轴、第一齿轮和第二齿轮，所述第二轴承固定在主体的内壁上，所述连接轴的一端与第二轴承的内圈固定连接，所述连接轴的另一端穿过圆孔设置在凹口的内部，所述连接轴的另一端与蜗杆固定连接，所述连接轴与蜗杆同轴设置，所述第一齿轮和第二齿轮分别与连接轴和驱动轴固定连接，所述第一齿轮与第二齿轮啮合。
[0011]作为优选，为了减小磨损，所述驱动组件还包括滚珠，所述驱动杆的远离驱动轴的一端设有缺口，所述滚珠与缺口匹配，所述滚珠的球心设置在缺口的内部。
[0012]作为优选，为了限制压板的移动方向，所述驱动组件还包括两个限位块，两个限位块分别与压板的靠近连接盒的一侧的两端固定连接，所述连接盒上设有四个滑槽，所述滑槽与限位块一一对应，所述限位块设置在滑槽的内部，所述限位块与滑槽匹配，所述限位块与滑槽滑动连接，所述滑槽为燕尾槽。
[0013]作为优选，为了使得电机精确稳定的工作，所述电机为伺服电机。
[0014]作为优选，为了使得连接轴转动流畅，所述第一齿轮和第二齿轮上均涂有润滑油。
[0015]作为优选，为了实现防滑的功能，所述放置板的上方设有防滑纹。
[0016]作为优选，为了提升喷洒效果，所述喷头为雾化喷头。
[0017]作为优选，为了避免支撑杆与环形槽脱离，所述环形槽为燕尾槽。
[0018]作为优选，为了控制设备工作，所述主体的内壁上固定有若干按键，所述按键与PLC电连接。
[0019]本专利技术的有益效果是，该用于芯片生产的清洗设备通过转动机构，可以带动晶圆转动，使得喷头可以向晶圆的各处喷洒清洁液，从而扩大了清洁的范围，使得晶圆可以被充分的清洗，提高了清洗质量，与现有的转动机构相比，该转动机构，通过离心力的作用，给粘附在放置板上的清洁液一个向远离放置板的轴线的方向的力，使得清洁液可以均匀的分布在晶圆上方的各处，从而提升了清洁效果，通过清洁机构，使得喷嘴向晶圆吹气，从而可以将粘附在晶圆上的清洁液吹落，避免清洁液粘附在晶圆上而造成晶圆的二次污染，避免晶圆长期被清洁液覆盖而被氧化出现缺陷，从而提高了设备的可靠性，与现有的清洁机构相比，该清洁机构与转动机构为一体联动机构，采用同一个驱动源，减少了电能的使用，提高了设备的环保性。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0021]图1是本专利技术的用于芯片生产的清洗设备的结构示意图；
[0022]图2是本专利技术的用于芯片生产的清洗设备的清洁机构的结构示意图；
[0023]图3是图2的A部放大图；
[0024]图4是本专利技术的用于芯片生产的清洗设备的清洁机构的俯视图；
[0025]图中：1.主体，2.工作台，3.蓄水盒，4.连管，5.喷洒管，6.喷头，7.放置板，8.支撑杆，9.转动齿轮，10.转轴，11.蜗轮，12.蜗杆，13.连接轴，14.第一齿轮，15.第二齿轮，16.电机，17.驱动轴，18.驱动杆，19.滚珠，20.压板，21.气囊，22.弹簧，23.固定板，24.进气管，25.出气管，26.连接盒，27.支管，28.喷嘴，29.限位块，30.按键。
具体实施方式
[0026]现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。
[0027]如图1所示，一种用于芯片生产的清洗设备，包括主体1、工作台2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于芯片生产的清洗设备，包括主体(1)、工作台(2)、蓄水盒(3)、连管(4)、喷洒管(5)和若干喷头(6)，所述工作台(2)固定在主体(1)内的底部，所述蓄水盒(3)固定在主体(1)内的顶部，所述喷洒管(5)通过连管(4)与蓄水盒(3)的内部连通，所述蓄水盒(3)内设有清洁液，所述喷头(6)均匀设置在喷洒管(5)上，所述喷头(6)与喷洒管(5)连通，所述喷头(6)朝向工作台(2)设置，所述连管(4)的内部设有阀门，所述主体(1)的内部设有PLC，所述阀门与PLC电连接，其特征在于，还包括清洁机构和转动机构，所述工作台(2)的上方设有凹口，所述凹口的形状为圆形，所述转动机构设置在凹口的内部，所述清洁机构设置在工作台(2)上，所述清洁机构与转动机构连接；所述转动机构包括放置板(7)、两个转动组件和两个支撑杆(8)，所述放置板(7)的形状为圆环形，所述放置板(7)与凹口同轴设置，两个支撑杆(8)关于放置板(7)的轴线对称设置，所述凹口内的底部设有环形槽，所述支撑杆(8)的一端与放置板(7)的下方固定连接，所述支撑杆(8)的另一端设置在环形槽的内部，所述支撑杆(8)的另一端与环形槽匹配，所述放置板(7)的外周周向均匀固定有固定齿，两个转动组件关于放置板(7)的轴线对称设置，所述转动组件与固定齿连接，所述转动组件与清洁机构连接；所述转动组件包括转动齿轮(9)、第一轴承、转轴(10)、蜗轮(11)、蜗杆(12)和传动单元，所述第一轴承固定在凹口内的底部，所述转轴(10)的两端分别与第一轴承的内圈和转动齿轮(9)固定连接，所述转动齿轮(9)与固定齿啮合，所述蜗轮(11)固定在转轴(10)上，所述蜗轮(11)与蜗杆(12)啮合，所述工作台(2)上设有两个圆孔，所述圆孔与传动单元一一对应，所述蜗杆(12)与传动单元连接，所述传动单元与清洁机构连接；所述清洁机构包括连接盒(26)、两个驱动组件、若干喷嘴(28)和若干支管(27)，所述喷嘴(28)的数量与支管(27)的数量相等，所述喷嘴(28)与支管(27)一一对应，所述连接盒(26)的形状为环形，所述连接盒(26)的内圈与工作台(2)的外周固定连接，两个驱动组件关于连接盒(26)的轴线对称设置，所述驱动组件与传动单元一一对应，所述驱动组件与传动单元连接，所述驱动组件与连接盒(26)连接，所述喷嘴(28)周向均匀固定在工作台(2)的上方，所述喷嘴(28)通过支管(27)与连接盒(26)连通，所述喷嘴(28)朝向放置板(7)设置；所述驱动组件包括电机(16)、驱动轴(17)、驱动杆(18)、气囊(21)、弹簧(22)、固定板(23)、压板(20)、进气管(24)和出气管(25)，所述电...
【专利技术属性】
技术研发人员：张晓奎，
申请(专利权)人：张晓奎，
类型：发明
国别省市：
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