MEMS器件制造技术

本发明专利技术的实施例总体上涉及MEMS器件。一种微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。个凸出部相关联。个凸出部相关联。

【技术实现步骤摘要】
MEMS器件


[0001]本专利技术总体上涉及电子器件，并且在特定的实施例中，涉及微机电系统(MEMS)器件的结构。

技术介绍

[0002]传感器是包含转换元件的器件。转换器应用于电子器件内以将信号从一个域转换到另一个域。例如，一些转换器可以将机械信号转换为电信号。这就是包含将声波转换为电信号的转换元件的声学麦克风的情况。收集来自电信号的信息然后将该信息转移到信号处理器，该信号处理器解释接收到的信号，并通过传感器件内的读出机制提供输出。
[0003]基于MEMS的传感器包括各种转换器，诸如加速器、振荡器、共鸣器、陀螺仪和麦克风。基于MEMS的传感器使用与集成电路制造中使用的技术类似的一系列微加工技术来生产。
[0004]普通的静电MEMS麦克风利用电容特性来将物理刺激(诸如语音)转换为电信号。在这种应用中，传感器中的电容变化通过使用接口电路转换为电压信号。这些MEMS器件由与刚性背板结构平行布置的柔性膜结构组成。它们在电容MEMS器件内作为两个电极板共同工作。当声波穿透器件内的腔体时，由于压力差，它们在柔性膜之间引起振荡。这进而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统MEMS器件，包括：柔性膜，被布置在基底之上；第一背板，被布置在所述柔性膜之上，所述第一背板包括面向所述柔性膜的第一多个凸出部；和多个特征，被布置在所述柔性膜处，所述多个特征中的每个特征与所述第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述多个特征与所述第一多个凸出部中对应的一个凸出部对准。3.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述多个特征包括所述柔性膜的局部较厚的区域。4.根据权利要求3所述的MEMS器件，其中所述多个特征包括从所述柔性膜沿朝向所述第一多个凸出部的方向延伸的突起。5.根据权利要求3所述的MEMS器件，其中所述多个特征包括从所述柔性膜沿远离所述第一多个凸出部的方向延伸的突起。6.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述多个特征包括与所述柔性膜不同的材料。7.根据权利要求6所述的MEMS器件，其中所述多个特征被布置在所述柔性膜之上并且被布置在所述柔性膜与所述第一多个凸出部之间。8.根据权利要求6所述的MEMS器件，其中所述多个特征包括：第一组区域，其布置在所述柔性膜之上，并且所述第一组区域位于所述柔性膜与所述第一多个凸出部之间；以及第二组区域，其布置在所述柔性膜之下，并且其中所述柔性膜布置在所述第二组区域与所述第一多个凸出部之间。9.根据权利要求6所述的MEMS器件，其中所述多个特征布置在所述柔性膜内。10.根据权利要求1所述的MEMS器件，还包括：第二背板，被布置在所述柔性膜与所述基底之间；以及第二多个凸出部，被布置在所述柔性膜上，其中所述多个特征与所述第二多个凸出部中对应的一个凸出部对准。11.根据权利要求1所述的MEMS器件，其中所述第一多个特征中的每个特征包括相对于所述柔性膜的主外表面倾斜的侧壁。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：