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本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。一种微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特征中的每个特征与第一多...
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