本实用新型专利技术公开了一种用于晶棒的自动回转装置，属于晶棒检测技术领域，包括底板，所述底板上固定连接有支撑架，所述支撑架顶部固定连接有若干根支撑横梁，每根支撑横梁上连接一定位板，每个所述的定位板上转动连接有从动轴、主动轴和连接轴，所述从动轴一端与从动摩擦轮固定连接；所述主动轴一端固定连接有齿轮a，另一端固定连接有主动摩擦轮；所述连接轴上固定连接有齿轮b，所述齿轮a与齿轮b通过链条滚动连接；多根连接轴之间通过联轴器相连接，其中一根连接轴的一端与减速机连接，减速机与电机连接；结构简单，操作方便，能够实现晶棒的自动回转，避免磕碰，保障了回转过程的安全性和可靠性，提高了作业效率。提高了作业效率。提高了作业效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶棒的自动回转装置
[0001]本技术涉及晶棒检测
，具体涉及一种用于晶棒检测时使其自动回转的装置。
技术介绍
[0002]晶棒是半导体重要材料，在晶棒生产加工完成后，需要检测其4个象限点处的经线是否完整，因此需要将晶棒进行360
°
回转以满足检测要求，传统的晶棒检测过程中，都是人工手动翻转晶棒，耗费人力，劳动强度大，容易磕碰导致损坏工件。
技术实现思路
[0003]为解决现有技术中存在的不足，本技术提供一种用于晶棒的自动回转装置，结构简单，操作方便，能够实现晶棒的自动回转，避免磕碰，保障了回转过程的安全性和可靠性，提高了作业效率。
[0004]本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于晶棒的自动回转装置，包括底板，所述底板上固定连接有支撑架，所述支撑架顶部固定连接有若干根支撑横梁，每根支撑横梁一端侧壁均固定连接一定位板，每个所述的定位板上均依次开设有相邻设置的连接轴插孔、主动轴插孔和从动轴插孔，所述从动轴插孔内转动连接有从动轴，所述从动轴一端与从动摩擦轮固定连接；所述主动轴插孔内转动连接有主动轴，所述主动轴一端固定连接有齿轮a，另一端固定连接有主动摩擦轮；所述连接轴插孔内转动连接有连接轴，所述连接轴上固定连接有齿轮b，所述齿轮a与齿轮b通过链条滚动连接；多根所述的连接轴之间通过联轴器相连接，其中一根端部连接轴的一端与减速机的输出轴连接，所述减速机的输入轴与电机的输出轴连接。
[0005]进一步的，所述从动摩擦轮和主动摩擦轮位于定位板一侧，所述齿轮a和齿轮b位于定位板另一侧。
[0006]进一步的，所述连接轴插孔内安装有轴承a，连接轴通过轴承a与连接轴插孔转动连接；所述主动轴插孔内安装有轴承b，主动轴通过轴承b与主动轴插孔转动连接；所述从动轴插孔内安装有轴承c，从动轴通过轴承c与从动轴插孔转动连接。
[0007]进一步的，所述定位板顶部开设有凹槽，所述凹槽底部所在水平面低于从动摩擦轮和主动摩擦轮的顶部所在水平面；当晶棒置于从动摩擦轮和主动摩擦轮上时，其下弧面与凹槽之间具有缝隙。
[0008]进一步的，所述从动摩擦轮和主动摩擦轮均为聚氨酯材料。
[0009]本技术的有益效果是：结构简单，操作方便，能够实现晶棒的自动回转，避免磕碰，保障了回转过程的安全性和可靠性，提高了作业效率。从动摩擦轮和主动摩擦轮采用聚氨酯材料，有效的增大了与晶棒接触面积，耐磨，保护晶棒工件表面的同时，还可以延长摩擦轮自身的使用寿命。
附图说明
[0010]图1是本技术的整体结构示意图；
[0011]图2是本技术侧视图；
[0012]图3是本技术主视图；
[0013]图4是本技术局部结构示意图。
[0014]图中附图标记如下：1、底板，2、支撑架，3、支撑横梁，4、定位板，5、从动轴，6、从动摩擦轮，7、主动轴，8、齿轮a，9、主动摩擦轮，10、连接轴，11、齿轮b，12、链条，13、联轴器，14、减速机，15、电机，16、轴承a，17、轴承b，18、轴承c，19、凹槽，20、紧固块a，21、紧固块b，22、紧固架。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述。
[0016]实施例1
[0017]一种用于晶棒的自动回转装置，包括三个底板1，分别位于两侧及中间位置，所述底板1上固定连接有支撑架2，所述支撑架2为梯状架体结构，重量轻，方便移动，所述支撑架2顶部固定连接有若干根支撑横梁3，支撑横梁3优选为内部中空的管状结构，所述每根支撑横梁3一端侧壁均固定连接一定位板4，为了使定位板4与支撑横梁3的连接更加紧固，定位板4一侧壁通过紧固块a20和紧固块b21与支撑横梁3上表面连接，紧固块a20两侧还可通过紧固架22与定位板4一侧壁进一步紧固连接；
[0018]每个所述的定位板4上均依次开设有相邻设置的连接轴插孔、主动轴插孔和从动轴插孔，所述从动轴插孔内通过轴承c18转动连接有从动轴5，所述从动轴5一端与从动摩擦轮6固定连接；所述主动轴插孔内通过轴承b17转动连接有主动轴7，所述主动轴7一端固定连接有齿轮a8，另一端固定连接有主动摩擦轮9；所述连接轴插孔内通过轴承a16转动连接有钢材质的连接轴10，所述连接轴10上固定连接有齿轮b11，所述齿轮a8与齿轮b11通过链条12滚动连接；所述从动摩擦轮6和主动摩擦轮9位于定位板4一侧，所述齿轮a8和齿轮b11位于定位板4另一侧。所述从动摩擦轮6和主动摩擦轮9均优选为聚氨酯材料。
[0019]所述紧固块b21位于从动摩擦轮6和主动摩擦轮9之间，优选的，为使从动摩擦轮6和主动摩擦轮9无摩擦转动，紧固块b21两侧分别开设L型槽；所述紧固块a20位于连接轴10下方，连接轴10位于两侧的紧固架22之间。
[0020]多根所述的连接轴10之间通过联轴器13相连接，其中位于支撑架2最侧边的一根连接轴10的一端与减速机14的输出轴连接，所述减速机14的输入轴与电机15的输出轴连接。作为一种能够使晶棒翻转更加平稳可靠的优选方案，设定每两个相邻的定位板4为一组翻转机构，以三组翻转机构为例，第一组的两个定位板4正面(以其安装从动摩擦轮6和主动摩擦轮9一侧为正面)相对设置，第二组的两个定位板4背面相对设置，第三组的两个定位板4正面相对设置。优选的，为减小传动误差，可使每两个相邻的连接轴插孔连接同一连接轴10。
[0021]所述定位板4顶部开设有凹槽19，所述凹槽19底部所在水平面低于从动摩擦轮6和主动摩擦轮9的顶部所在水平面；当晶棒置于从动摩擦轮6和主动摩擦轮9上时，其下弧面与
凹槽19之间具有缝隙，以使晶棒能够与定位板4无摩擦翻转。
[0022]使用时，AGV小车将晶棒输送至回转装置，将晶棒置于从动摩擦轮6和主动摩擦轮9上，启动电机15，电机15带动减速机14进而带动连接轴10转动，此时齿轮b11通过链条12带动齿轮a8进而主动摩擦轮9转动，从动摩擦轮6随之转动使晶棒实现自动翻转。人工目检第一根经线，完成后，回转装置回转到下一经线位置，至4根经线全部目检完成，关闭电机15，AGV小车将晶棒取走。
[0023]本技术提供的回转装置，采用传动装置驱动主动摩擦轮9，利用主动摩擦轮9与晶棒之间的摩擦力带动晶棒旋转实现变位。传动装置采用电机15驱动链条12的方式。摩擦轮是聚氨酯材料，是一种高分子材料，有效的增大了接触面积，耐磨，保护晶棒工件表面的同时，还可以延长摩擦轮自身的使用寿命。
[0024]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术披露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶棒的自动回转装置，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)上固定连接有支撑架(2)，所述支撑架(2)顶部固定连接有若干根支撑横梁(3)，每根支撑横梁(3)一端侧壁均固定连接一定位板(4)，每个所述的定位板(4)上均依次开设有相邻设置的连接轴插孔、主动轴插孔和从动轴插孔，所述从动轴插孔内转动连接有从动轴(5)，所述从动轴(5)一端与从动摩擦轮(6)固定连接；所述主动轴插孔内转动连接有主动轴(7)，所述主动轴(7)一端固定连接有齿轮a(8)，另一端固定连接有主动摩擦轮(9)；所述连接轴插孔内转动连接有连接轴(10)，所述连接轴(10)上固定连接有齿轮b(11)，所述齿轮a(8)与齿轮b(11)通过链条(12)滚动连接；多根所述的连接轴(10)之间通过联轴器(13)相连接，其中一根端部连接轴(10)的一端与减速机(14)的输出轴连接，所述减速机(14)的输入轴与电机(15)的输出轴连接。2.根据权利要求1所述的一种用于晶棒的自动回转装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：钱峰，李全普，鞠修勇，杨希，李侨，蒋英伟，贾永成，
申请(专利权)人：钱峰，
类型：新型
国别省市：
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