液滴产生器制造技术

本公开提供一种液滴产生器，包含操控系统、储槽、喷嘴、第一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接以用于产生锡液滴，其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区以及第三区。第一加热器包围第一区中的喷嘴的周边表面。第二加热器包围第二区中的喷嘴的周边表面。第三加热器包围第三区中的喷嘴的周边表面，其中第一加热器、第二加热器以及第三加热器的加热是单独地进行控制。器的加热是单独地进行控制。器的加热是单独地进行控制。

【技术实现步骤摘要】
液滴产生器


[0001]本公开实施例是有关于一种液滴产生器，以及包括有所述液滴产生器的 极紫外光刻器件。

技术介绍

[0002]半导体行业已经由于各种电子组件(即，晶体管、二极管、电阻器、电 容器等)的集成密度的持续改进而经历快速发展。在很大程度上，集成密度 的这种改进来自最小特征大小的重复减小，这允许更多较小组件集成到给定 区域中。器件大小的减小已经符合例如光刻的半导体制造技术的进展。

技术实现思路

[0003]本揭露实施例提供一种液滴产生器，包含操控系统、储槽、喷嘴、第 一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的 液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接 以用于产生锡液滴，其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区以及第 三区。第一加热器包围第一区中的喷嘴的周边表面。第二加热器包围第二 区中的喷嘴的周边表面。第三加热器包围第三区中的喷嘴的周边表面，其 中第一加热器、第二加热器以及第三加热器的加热是单独地进行控制。
附图说明
[0004]结合附图阅读以下具体实施方式会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液滴产生器，包括：操控系统，用于控制所述液滴产生器的液滴所释放的位置；储槽，固持在所述操控系统上以用于存储锡；喷嘴，与所述储槽连接以用于产生锡液滴，其中所述喷嘴至少包括依次连接的第一区、第二区以及第三区；第一加热器，包围...

【专利技术属性】
技术研发人员：萧任宏，郑博中，陈立锐，简上杰，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：