下载液滴产生器的技术资料

文档序号:27228601

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本公开提供一种液滴产生器,包含操控系统、储槽、喷嘴、第一加热器、第二加热器以及第三加热器。操控系统用于控制液滴产生器的液滴释放的位置。储槽固持在操控系统上以用于存储锡。喷嘴与储槽连接以用于产生锡液滴,其中喷嘴包括依次连接的至少第一区、第二区...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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