微粒子检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种微粒子检测装置，用于检测目标物件的多个微粒子。微粒子检测装置包括光源、光学系统以及图像获取装置。光源适于提供照明光束。光学系统配置在照明光束的传递路径上。光学系统包括光学聚焦元件，具有景深值。光学系统提供检测光束至目标物件上以产生图像光束。图像获取装置配置在图像光束的传递路径上。检测光束为准直光束，且光学聚焦元件的焦平面与目标物件中具有微粒子的表面不重叠。平面与目标物件中具有微粒子的表面不重叠。平面与目标物件中具有微粒子的表面不重叠。

【技术实现步骤摘要】
微粒子检测装置


[0001]本专利技术涉及一种照明装置，尤其涉及一种微粒子检测装置。

技术介绍

[0002]随着科技发展，人们对于电子产品中电子构件的精密程度及品质需求越来越高。举例来说，电子产品中电路板上的各种元件的品质及外观检测为制造及检验过程中的重要步骤，以确保电路板的功能正常。在目前电路板的制作过程中，具有上导电粒子浆后将铜箔基板粘合的步骤。因此，为求电路板具有良好的制作过程，在制作过程中或制作过程后，需以检测设备观察微小的导电粒子结构，以对导电粒子的密度进行计算。
[0003]然而，在目前的作法当中，常以光学检测设备中距离物镜较近的一端搭配上微分干涉相差(Differential interference contrast，DIC)显微镜模块以进行对导电粒子的观察。但是若使用此种作法，不但需要配置较多的光学元件之外，还会进一步提升成本。此外，增加光学元件也将导致整体的照明亮度衰减一半以上。因此，若需达到良好的光学效果，需进一步增加照明亮度。再者，使用微分干涉相差显微镜模块的光学检测设备具有较复杂的操作程序。因此，如何设计或改良本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微粒子检测装置，用于检测一目标物件的多个微粒子，包括：光源，适于提供照明光束；光学系统，配置在所述照明光束的传递路径上，所述光学系统包括光学聚焦元件，具有景深值，所述光学系统提供检测光束至所述目标物件上以产生图像光束；以及图像获取装置，配置在所述图像光束的传递路径上，且所述光学聚焦元件的焦平面与所述目标物件中具有所述多个微粒子的表面不重叠。2.根据权利要求1所述的微粒子检测装置，还包括：调整模块，所述光源配置在所述调整模块上，所述调整模块适于移动所述光源以改变所述光源与所述光学系统的距离。3.根据权利要求1所述的微粒子检测装置，其特征在于，所述光学聚焦元件的所述焦平面与所述目标物件中具有所述多个微粒子的所述表面的距离介于四分之一倍的所述景深值至两倍的所述景深值之间。4.根据权利要求1所述的微粒子检测装置，其特征在于，所述光学系统还包括离焦模块，所述光学聚焦元...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄冠勋，张勋豪，
申请(专利权)人：由田新技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：