下载微粒子检测装置的技术资料

文档序号:27228114

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本发明提供一种微粒子检测装置,用于检测目标物件的多个微粒子。微粒子检测装置包括光源、光学系统以及图像获取装置。光源适于提供照明光束。光学系统配置在照明光束的传递路径上。光学系统包括光学聚焦元件,具有景深值。光学系统提供检测光束至目标物件上以...
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