一种化学品供液管路装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型专利技术的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。可在各支路间灵活切换。可在各支路间灵活切换。

【技术实现步骤摘要】
一种化学品供液管路装置


[0001]本技术涉及化学领域，特别涉及一种化学品供液管路装置。

技术介绍

[0002]随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，原有的人工手动配液、补液逐渐由自动供液取代。
[0003]在化学品自动供液系统的重要组成部分CDM柜中，传统的内部供液管路装置有以下不足；1、一主一备的两个化学品过滤器，只在过滤前及过滤后的汇合段管路上设置阀门，未在每个化学品过滤器的前后支路上设置阀门，在其中一个过滤器发生损坏需要维修更换时，须整个系统停止供液，从而影响生产；2、化学品过滤后通往VMB阀箱的供液管路未设置旁路，在该段管路的阀门发生损坏需要维修更换时，须停止该段管路供液，从而影响生产。
[0004]亟需一种可以消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合的化学品供液管路装置来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]为了解决上述问题，本技术提供了一种化学品供液管路装置，本技术的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。
[0006]本技术是通过如下技术方案解决上述技术问题的：
[0007]本技术提供了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；所述第一支路的前端、第二支路的前端分别与所述过滤前汇合管路相连通，所述第一支路的后端、第二支路的后端分别与所述过滤后汇合管路相连通，所述第一进液阀、第一过滤器、第三进液阀依次固定于所述第一支路上，所述第二进液阀、第二过滤器、第四进液阀依次固定于所述第二支路上；所述第三支路通过所述第一排废阀与所述第一过滤器的底部相连，所述第四支路通过所述第二排废阀与所述第一过滤器的顶部相连，所述第五支路通过所述第三排废阀与所述第二过滤器的底部相连，所述第六支路通过所述第四排废阀与所述第二过滤器的顶部相连，所述第三支路、第四支路、第五支路和第六支路交汇；所述过滤后汇合管路通过所述第七管路与所述第一VMB管路相连通，所述过滤后汇合管路通过所述第八管路与所述第二VMB管路相连通；所述第五进液阀、第六进液阀依次固定于所述第七管路上，所述第七进液阀通过所述第一旁路固定于所述第七支路上，所述第八进液阀、第九进液阀依次固定于所述第八管路上，所述第十进液阀通过所述第二旁路固定于所述第八支路上。
[0008]本技术中，所述过滤前汇合管路用于输入待过滤的液体，所述过滤前汇合管
路是本领域常规。
[0009]本技术中，所述过滤后汇合管路用于输出已经过滤的液体，所述过滤后汇合管路是本领域常规。
[0010]本技术中，所述第三支路、第四支路、第五支路、第六支路用于输出过滤后的废液废气，所述第三支路、第四支路、第五支路、第六支路可根据实际情况切换使用。
[0011]本技术中，所述第一支路和第二支路为进行过滤的分路，一般情况下，第一支路和第二支路是一备一用状态，当某个支路出现状况时，可切换备用支路。
[0012]本技术中，所述第一过滤器和第二过滤器为本领域常规的过滤器，用于进行化学品的过滤。
[0013]本技术中，所述第一VMB管路和第二VMB管路用于为过滤的后续管路，所述第一VMB管路和第二VMB管路可自由切换。
[0014]本技术中，所述第七支路、第八支路分别用于连接后续的VMB管路。
[0015]本技术中，所述第一旁路为所述第七支路的另一分路，用于实现当第七支路的部件出现状况时的备用。
[0016]本技术中，所述第二旁路为所述第八支路的另一分路，用于实现当第八支路的部件出现状况时的备用。
[0017]本技术中，所述第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀分别用于实现进液或者排废；
[0018]较佳地，所述第一进液阀、第二进液阀为手动进液阀；
[0019]较佳地，所述第三进液阀、第四进液阀为手动进液阀；
[0020]较佳地，所述第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀为手动排废阀；
[0021]较佳地，所述第五进液阀、第八进液阀为气动进液阀；
[0022]较佳地，所述第六进液阀、第七进液阀、第九进液阀、第十进液阀为手动进液阀；
[0023]较佳地，所述第一旁路和第二旁路上还设置有气动进液阀，用于实现进液管路的自动切换。
[0024]本技术中，为了实现各管路和部件的固定，可针对各管路和部件设置相应的支架或者支座。
[0025]本实用进行的积极进步效果：本技术的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性，提高时效；提供多种供液路径组合，可在各支路间灵活切换。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0027]图1为本技术实施例的化学品供液管路装置的结构示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]11、第一进液阀；
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12、第二进液阀；
[0030]13、第三进液阀；
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14、第四进液阀；
[0031]15、第五进液阀；
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16、第六进液阀；
[0032]17、第七进液阀；
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18、第八进液阀；
[0033]19、第九进液阀；
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10、第十进液阀；
[0034]21、第一排废阀；
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22、第二排废阀；
[0035]23、第三排废阀；
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24、第四排废阀；
[0036]31、第一过滤器；
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32、第二过滤器；
[0037]41、第一VMB管路；
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42、第二VMB管路；
[0038]51、第一旁路；
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52、第二旁路；
[0039]61、过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学品供液管路装置，其特征在于，所述化学品供液管路装置包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；所述第一支路的前端、第二支路的前端分别与所述过滤前汇合管路相连通，所述第一支路的后端、第二支路的后端分别与所述过滤后汇合管路相连通，所述第一进液阀、第一过滤器、第三进液阀依次固定于所述第一支路上，所述第二进液阀、第二过滤器、第四进液阀依次固定于所述第二支路上；所述第三支路通过所述第一排废阀与所述第一过滤器的底部相连，所述第四支路通过所述第二排废阀与所述第一过滤器的顶部相连，所述第五支路通过所述第三排废阀与所述第二过滤器的底部相连，所述第六支路通过所述第四排废阀与所述第二过滤器的顶部相连，所述第三支路、第四支路、第五支路和第六支路交汇...

【专利技术属性】
技术研发人员：周礼誉，
申请(专利权)人：上海兄弟微电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：