【技术实现步骤摘要】
一种用于真空容器充气抽气的系统
[0001]本专利技术属于流体力学领域,具体涉及一种用于真空容器充气抽气的系统。
技术介绍
[0002]现有技术中真空系统的充气抽气装置在抽气过程中真空泵刚开启时容易导致真空系统内的气压突变,且在充气过程中充入的气体易在真空管道内形成湍流,因此实际使用中对真空系统中微尘的控制并不理想;CN202010105686.6 一种用于无尘化真空过程的慢充慢抽装置及方法(以下简称现有技术A)。
[0003]现有技术A存在以下技术缺陷: 1、抽气充气速度慢,不适应大型真空容器的充气和抽气。
[0004]2、系统复杂,成本高昂,结构复杂。
技术实现思路
[0005]为了解决以上技术问题,本专利技术提供了一种用于真空容器充气抽气的系统。
[0006]1、一种用于真空容器充气抽气的系统,其特征在于:包含第一流速控制模块(T1)、第二流速控制模块(T2)、抽气泵(B1)、充气泵(B2)、第一阀(N1)、第二阀(N2)、气源、气道接口(JK)、压力表(YLB)、总控模块;第一流速控制模块(T1)、第二流速控制模块(T2)均为流速控制模块(T);流速控制模块(T)包括特斯拉阀和控制模块,特斯拉阀的每个旁路都具有控制阀,所有控制阀都单独的与控制模块之间具有控制连接,控制模块内具有
‘
关闭旁路操作
’
和
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打开旁路操作
’
这两个自动化操作流程,
‘
关闭旁路操作
’
执行 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于真空容器充气抽气的系统,其特征在于:包含第一流速控制模块(T1)、第二流速控制模块(T2)、抽气泵(B1)、充气泵(B2)、第一阀(N1)、第二阀(N2)、气源、气道接口(JK)、压力表(YLB)、总控模块;第一流速控制模块(T1)、第二流速控制模块(T2)均为流速控制模块(T);流速控制模块(T)包括特斯拉阀和控制模块,特斯拉阀的每个旁路都具有控制阀,所有控制阀都单独的与控制模块之间具有控制连接,控制模块内具有
‘
关闭旁路操作
’
和
‘
打开旁路操作
’
这两个自动化操作流程,
‘
关闭旁路操作
’
执行完成后所有控制阀的流体通道处于闭塞状态,
‘
打开旁路操作
’
执行完成后所有控制阀的流体通道处于开放状态;流速控制模块(T)特斯拉阀具有第一端(
①
)和第二端(
②
),流体从第一端(
①
)流向第二端(
②
)为高阻方向,流体从第二端(
②
)流向第一端(
①
)为低阻方向;第一流速控制模块(T1)的第一端与第二流速控制模块(T2)的第一端相通;气道接口(JK)用于连通 第一流速控制模块(T1)的第二端和真空容器(C);第二流速控制模块(T2)的第二端 经由第一阀(N1)与抽气泵(B1)的进气端相通;第二流速控制模块(T2)的第二端 经由第二阀(N2)与充气泵(B2)的出气端相通;充气泵(B2)的进气端与气源相通;总控模块与第一流速控制模块(T1)的控制模块之间具有电学连接,总控模块可以控制第一流速控制模块(T1)的操作流程;总控模块与第二流速控制模块(T2)的控制模块之间具有电学连接,总控模块可以控制第二流速控制模块(T2)的操作流程;总控模块与抽气泵(B1)之间具有电学连接,总控模块可以控制抽气泵(B1)的启动或停止;总控模块与充气泵(B2)之间具有电学连接,总控模块可以控制充气泵(B2)的启动或停止;总控模块与第一阀(N1)之间具有电学连接,总控模块可以控制第一阀(N1)的流体通道的开放或闭塞;总控模块与第二阀(N2)之间具有电学连接,总控模块可以控制第二阀(N2)的流体通道的开放或闭塞;压力表(YLB)的测量端与气道接口(JK)相通,压力表(YLB)的信号输出端与总控模块之间具有电学连接,压力表(YLB)能够向总控模块传递气压数据。2.如权利要求1所述的一种用于真空容器充气抽气的系统,其特征在于:操作模块 与 总控模块之间具有电学连接,总控模块 可以接受用户通过操作模块传递的指令信号。3.如权利要求1所述的一种用于真空容器充气抽气的系统,其特征在于:流速控制模块(T)的控制模块的
‘
关闭旁路操作
’
的流程是:按照离第一端的远近排序,以从近到远的顺序,依顺使各个旁路上的控制阀得流体通道闭塞。4.如权利要求1所述的一种用于真空容器充气抽气的系统,其特征在于:流速控制模块(T)的控制模块的
‘
打开旁路操作
...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈军,
申请(专利权)人:杭州王之新创信息技术研究有限公司,
类型:发明
国别省市:
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