一种硅片清洗架制造技术

技术编号:27085197 阅读:13 留言:0更新日期:2021-01-15 15:25
本实用新型专利技术公开了一种硅片清洗架,包括框架和分隔件,所述框架内部等距离竖直安装有若干个分隔件;所述分隔件包括分隔板、羊肠道槽、连接管、通孔、喷孔和插管,所述分隔板两侧均开设有羊肠道槽,所述羊肠道槽内部安装有连接管,所述分隔板外侧且位于羊肠道槽两侧贯穿开设有若干个通孔,所述连接管外侧等距离开设有若干个喷孔;本实用新型专利技术在装夹的过程中,折叠管伸展,且第一管孔和第二管孔与插管的导通连接,将硅片放置在框架的分隔件之间完成清洗后,此时打开一侧的管阀与氮气管连接,氮气依次进入羊肠道槽的连接管内,通过喷孔喷出高压氮气对硅片两侧进行吹理风干,大大缩短了硅片的干燥时间,提高了硅片的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗架
本技术涉及硅片加工设备领域,具体为一种硅片清洗架。
技术介绍
地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉,由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一;硅片生产过程中,清洗是其加工过程中重要操作步骤之一。在硅片清洗的过程中,需要将硅片放置到清洗架内,然后将清洗架放置到清洗机内完成清洗,在清洗完成后,硅片的表面会沾附大量的清洗液,现有的方式通过自然风干的操作完成硅片表面清洗液的清除,该种方式耗费时间长,大大影响了硅片的加工效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片清洗架,为了克服上述在硅片清洗的过程中,需要将硅片放置到清洗架内,然后将清洗架放置到清洗机内完成清洗,在清洗完成后,硅片的表面会沾附大量的清洗液,现有的方式通过自然风干的操作完成硅片表面清洗液的清除,该种方式耗费时间长,大大影响了硅片的加工效率的技术问题。本技术的目的可以通过以下技术方案实现:一种硅片清洗架,包括框架和分隔件,所述框架内部等距离竖直安装有若干个分隔件;所述分隔件包括分隔板、羊肠道槽、连接管、通孔、喷孔和插管,所述分隔板两侧均开设有羊肠道槽,所述羊肠道槽内部安装有连接管,所述分隔板外侧且位于羊肠道槽两侧贯穿开设有若干个通孔,所述连接管外侧等距离开设有若干个喷孔,所述分隔板底部一端贯穿安装有插管;所述框架内部等距离竖直安装有若干个支撑座,若干个所述支撑座两侧和框架内部两相对侧壁四周均安装有导杆,所述导杆与夹座滑动安装,且分隔件装夹在相对两个夹座之间,所述夹座一端底部内部开设有第一管孔,所述支撑座一端底部内部开设有第二管孔,相邻所述第一管孔和第二管孔之间通过折叠管连接。作为本技术进一步的方案:两侧所述连接管一端与插管导通连接,两侧所述连接管另一端与分隔板密封连接。作为本技术进一步的方案:所述夹座一侧四周均开设有导孔,所述导杆滑动安装在导孔内部,所述导杆外侧套装有弹簧。作为本技术进一步的方案:所述框架两相对侧一端底部贯穿均安装有管阀,所述管阀分别与框架内部两端的折叠管导通连接。作为本技术进一步的方案:所述夹座一侧顶部开设有斜面,且分隔件两侧接触的两个夹座的侧面以分隔件对称。作为本技术进一步的方案:所述插管两端分别与两侧的夹座的第一管孔导通连接。本技术的有益效果:本技术通过合理的结构设计,将分隔件插入框架内,此时分隔板底部首先与夹座的斜面接触,不断下移的过程中,夹座通过导孔沿着导杆向两侧移动,并且对弹簧进行压缩,直至分隔板底部与框架内部底侧接触,此时弹簧作用于夹座将分隔件装夹在框架,完成框架和分隔件组装,且便于拆卸;在装夹的过程中,折叠管伸展,且第一管孔和第二管孔与插管的导通连接,将硅片放置在框架的分隔件之间完成清洗后,此时打开一侧的管阀与氮气管连接,氮气依次进入羊肠道槽的连接管内,通过喷孔喷出高压氮气对硅片两侧进行吹理风干,大大缩短了硅片的干燥时间,提高了硅片的加工效率。附图说明为了便于本领域技术人员理解,下面结合附图对本技术作进一步的说明。图1为本技术整体结构示意图;图2为本技术分隔件结构示意图;图3为本技术框架内部局部剖视图。图中:1、框架;2、分隔件;3、管阀;4、分隔板;5、羊肠道槽;6、连接管;7、通孔;8、喷孔;9、插管;10、支撑座;11、导杆;12、弹簧;13、夹座;14、导孔;15、第一管孔;16、折叠管;17、第二管孔。具体实施方式下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示,一种硅片清洗架,包括框架1和分隔件2,框架1内部等距离竖直安装有若干个分隔件2;分隔件2包括分隔板4、羊肠道槽5、连接管6、通孔7、喷孔8和插管9,分隔板4两侧均开设有羊肠道槽5,羊肠道槽5内部安装有连接管6,分隔板4外侧且位于羊肠道槽5两侧贯穿开设有若干个通孔7,连接管6外侧等距离开设有若干个喷孔8,分隔板4底部一端贯穿安装有插管9;框架1内部等距离竖直安装有若干个支撑座10,若干个支撑座10两侧和框架1内部两相对侧壁四周均安装有导杆11,导杆11与夹座13滑动安装,且分隔件2装夹在相对两个夹座13之间,夹座13一端底部内部开设有第一管孔15,支撑座10一端底部内部开设有第二管孔17,相邻第一管孔15和第二管孔17之间通过折叠管16连接。作为本技术的一种实施方式,两侧连接管6一端与插管9导通连接,两侧连接管6另一端与分隔板4密封连接,氮气经过插管9进入连接管6后从喷孔8喷出。作为本技术的一种实施方式,夹座13一侧四周均开设有导孔14,导杆11滑动安装在导孔14内部,导杆11外侧套装有弹簧12,分隔板4底部与框架1内部底侧接触,此时弹簧12作用于夹座13将分隔件2装夹在框架1。框架1两相对侧一端底部贯穿均安装有管阀3,管阀3分别与框架1内部两端的折叠管16导通连接。作为本技术的一种实施方式,夹座13一侧顶部开设有斜面,且分隔件2两侧接触的两个夹座13的侧面以分隔件2对称,将分隔件2插入框架1内,此时分隔板4底部首先与夹座13的斜面接触,不断下移的过程中,夹座13通过导孔14沿着导杆11向两侧移动。作为本技术的一种实施方式,插管9两端分别与两侧的夹座13的第一管孔15导通连接,分隔件2安装在夹座13间时,内部的管道导通连接,便于氮气流通。本技术通过合理的结构设计,将分隔件2插入框架1内,此时分隔板4底部首先与夹座13的斜面接触,不断下移的过程中,夹座13通过导孔14沿着导杆11向两侧移动,并且对弹簧12进行压缩,直至分隔板4底部与框架1内部底侧接触,此时弹簧12作用于夹座13将分隔件2装夹在框架1,完成框架1和分隔件2组装,且便于拆卸;在装夹的过程中,折叠管16伸展,且第一管孔15和第二管孔17与插管9的导通连接,将硅片放置在框架1的分隔件2之间完成清洗后,此时打开一侧的管阀3与氮气管连接,氮气依次进入羊肠道槽5的连接管6内,通过喷孔8喷出高压氮气对硅片两侧进行吹理风干,大大缩短了硅片的干燥时间,提高了硅片的加工效率。本技术的工作原理:将分隔件2插入框架1内,此时分隔板4底部首先与夹座13的斜面接触,不断下移的过程中,夹座13通过导孔14沿着导杆11向两侧移动,并且对弹簧12进行压缩,直至分隔板4底部与框架1内部底侧接触,此时弹簧12作用于夹座13将分隔件2装夹在框架1,然后将硅片硅片放置在框架1的分隔件2之间,将清洗架放置到清洗机完成清洗后取出,此时打开一侧的管阀3与氮气管连接,氮气依次进入羊肠道槽5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗架,其特征在于,包括框架(1)和分隔件(2),所述框架(1)内部等距离竖直安装有若干个分隔件(2);所述分隔件(2)包括分隔板(4)、羊肠道槽(5)、连接管(6)、通孔(7)、喷孔(8)和插管(9),所述分隔板(4)两侧均开设有羊肠道槽(5),所述羊肠道槽(5)内部安装有连接管(6),所述分隔板(4)外侧且位于羊肠道槽(5)两侧贯穿开设有若干个通孔(7),所述连接管(6)外侧等距离开设有若干个喷孔(8),所述分隔板(4)底部一端贯穿安装有插管(9);/n所述框架(1)内部等距离竖直安装有若干个支撑座(10),若干个所述支撑座(10)两侧和框架(1)内部两相对侧壁四周均安装有导杆(11),所述导杆(11)与夹座(13)滑动安装,且分隔件(2)装夹在相对两个夹座(13)之间,所述夹座(13)一端底部内部开设有第一管孔(15),所述支撑座(10)一端底部内部开设有第二管孔(17),相邻所述第一管孔(15)和第二管孔(17)之间通过折叠管(16)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗架,其特征在于,包括框架(1)和分隔件(2),所述框架(1)内部等距离竖直安装有若干个分隔件(2);所述分隔件(2)包括分隔板(4)、羊肠道槽(5)、连接管(6)、通孔(7)、喷孔(8)和插管(9),所述分隔板(4)两侧均开设有羊肠道槽(5),所述羊肠道槽(5)内部安装有连接管(6),所述分隔板(4)外侧且位于羊肠道槽(5)两侧贯穿开设有若干个通孔(7),所述连接管(6)外侧等距离开设有若干个喷孔(8),所述分隔板(4)底部一端贯穿安装有插管(9);
所述框架(1)内部等距离竖直安装有若干个支撑座(10),若干个所述支撑座(10)两侧和框架(1)内部两相对侧壁四周均安装有导杆(11),所述导杆(11)与夹座(13)滑动安装,且分隔件(2)装夹在相对两个夹座(13)之间,所述夹座(13)一端底部内部开设有第一管孔(15),所述支撑座(10)一端底部内部开设有第二管孔(17),相邻所述第一管孔(15)和第二管孔(17)之间通过折叠管(16)连接。
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【专利技术属性】
技术研发人员:严明桥
申请(专利权)人:苏州森创德自动化设备有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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