液滴喷出装置和液滴喷出方法制造方法及图纸

一种液滴喷出装置包括：第一液滴喷出部，该第一液滴喷出部包括用于保持第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一尖端部；第二液滴喷出部，该第二液滴喷出部包括用于保持第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二尖端部；对象物保持部，用于保持对象物，对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及驱动部，用于使所述第一尖端部和所述第二尖端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，所述第一尖端部相对于所述第二尖端部配置在所述第一方向上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液滴喷出装置和液滴喷出方法
本专利技术涉及液滴喷出装置和液滴喷出方法。
技术介绍
近年来，喷墨印刷技术在工业用工艺中得到了应用。例如，液晶显示器用的滤色器制造工序等是其一例。作为喷墨印刷技术，以往大多使用通过机械压力或振动喷出液滴的所谓的压电型头部，但是能够喷出更微细的液滴的静电喷出型喷墨头受到关注。在专利文献1中，公开了一种静电喷出型喷墨记录装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-34967号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题另一方面，在静电喷出型喷墨头中存在如下情况：由于对象物带电而难以喷出墨水、或者受到由对象物上的凹凸引起的电场强度分布的影响而导致墨水不会落到所希望的位置。特别是在对象物本身的带电、或者设置于对象物的图案影响带电、或者图案表面与对象物的表面存在能量差的情况下，有时墨水的溶合变差。因此，本专利技术的目的之一在于容易且稳定地向对象物表面喷出液滴。解决技术问题所采用的技术手段根据本专利技术的一个实施方式，提供一种液滴喷出装置，其包括：第一液滴喷出部，包括用于保持第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一前端部；第二液滴喷出部，包括用于保持第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二前端部；对象物保持部，用于保持对象物，所述对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及驱动部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，所述第一前端部相对于所述第二前端部配置在所述第一方向上。在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部可以在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部可以在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上延伸。在上述液滴喷出装置中，所述第二液滴喷出部可以在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部的所述第一前端部的内径可以大于所述第二液滴喷出部的所述第二前端部的内径。在上述液滴喷出装置中，所述第一液滴喷出部可以具有压电型喷嘴头，所述第二液滴喷出部可以具有静电喷出型喷嘴头。根据本专利技术的一个实施方式，提供一种液滴喷出方法，从第一液滴喷出部向对象物的第一区域喷出表面处理用的第一液滴，从与第一液滴喷出部不同的第二液滴喷出部向所述第一区域喷出粘度比所述第一液滴高的图案形成用的第二液滴，以与从第二液滴喷出部喷出所述第二液滴同步的方式从所述第一液滴喷出部向与所述第一区域不同的第二区域喷出所述第一液滴。在上述液滴喷出方法中，所述第二液滴可以在满足规定的条件时喷出。在上述液滴喷出方法中，所述规定的条件可以包括向所述第一区域喷出所述第一液滴后的经过时间或所述第一液滴的厚度的信息。在上述液滴喷出方法中，喷出所述第一液滴的区域可以比由所述第二液滴形成的图案尺寸大。在上述液滴喷出方法中，由所述第二液滴形成的图案尺寸可以为100nm以上500μm以下。在上述液滴喷出方法中，所述第一液滴可以具有挥发性。在上述液滴喷出方法中，所述第一液滴的表面电阻值可以为106Ω/sq以上1011Ω/sq以下。专利技术效果通过使用本专利技术的一个实施方式，能够容易且稳定地向对象物表面喷出液滴。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。图2是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图3是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图4是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图5是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图6是由本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。图7是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图8是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图9是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图10是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法的剖视图。图11是由本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。图12是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。图13是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出装置的示意图。图14是由本专利技术的一个实施方式的液滴喷出方法形成的图案的俯视图。图15是本专利技术的一个实施方式的第二液滴喷嘴的俯视图。图16是放大了本专利技术的一个实施方式的第二液滴喷嘴的一部分的俯视图和剖视图。具体实施方式下面，参照附图对本申请中公开的专利技术的各实施方式进行说明。但是，本专利技术在不脱离其宗旨的范围内能够以各种方式实施，不限定于以下例示的实施方式的记载内容来解释。另外，在本实施方式中参照的附图中，相同的一部分或具有相同功能的部分赋予相同的符号或类似的符号(仅在数字后赋予A、B等符号)，有时省略其重复的说明。此外，附图的尺寸比率有时为了便于说明而与实际的比率不同，或者从附图中省略结构的一部分。此外，在本专利技术的详细说明中，规定某个构成物与其他构成物的位置关系时，“上”、“下”不仅包括位于某个构成物的正上方或正下方的情况，只要没有特别说明，也包括在其间还存在其他构成物的情况。<第一实施方式>(1-1.液滴喷出装置100的结构)图1是本专利技术的一个实施方式的液滴喷出装置100的示意图。液滴喷出装置100包括：控制部110、存储部115、电源部120、驱动部130、第一液滴喷出部140、第二液滴喷出部150和对象物保持部160。控制部110包括：CPU(CentralProcessingUnit，中央处理器)、ASIC(ApplicationSpecificIntegratedCircuit，应用型专用集成电路)、FPGA(FieldProgramableGateArray，现场可编程门阵列)或其他运算处理电路。控制部110使用预先设定的液滴喷出用程序，控制第一液滴喷出部140和第二液滴喷出部150的喷出处理。控制部110控制第一液滴喷出部140的第一液滴147(参照图3)的喷出时机和第二液滴喷出部150的第二液滴157(图5参照)的喷出时机。详细后述，但是第一液滴喷出部140的第一液滴147的喷出与第二液滴喷出部150的第二液滴157的喷出同步。本实施方式中的“同步”是指第一液滴147和第二液滴157以固定的周期喷出。在该例子中，第一液滴147和第二液滴157同时喷出。此外，在第一液滴喷出部140移动到离开喷出了第一液滴147的对象物200的第一区域的第二区域时，控制部110控制成使第二液滴喷出部150向第一区域喷出第二液滴157。存储部115具有作为存储液滴喷出用程序和液滴喷出用程序所使用的各种信息的数据库的功能。存储部115使用存储器、SSD或能够存储的元件。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：/n第一液滴喷出部，包括用于保持第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一前端部；/n第二液滴喷出部，包括用于保持第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二前端部；/n对象物保持部，用于保持对象物，所述对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及/n驱动部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，/n所述第一前端部相对于所述第二前端部配置在所述第一方向上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20190425 JP 2019-0845681.一种液滴喷出装置，其特征在于，包括：
第一液滴喷出部，包括用于保持第一液体的第一液体保持部和用于将该第一液体保持部的第一液体作为第一液滴喷出的第一前端部；
第二液滴喷出部，包括用于保持第二液体的第二液体保持部和用于将该第二液体保持部的第二液体作为与第一液滴不同的第二液滴喷出的第二前端部；
对象物保持部，用于保持对象物，所述对象物上能够被喷所述第一液体和所述第二液体；以及
驱动部，用于使所述第一前端部和所述第二前端部相对于所述对象物保持部在第一方向上相对移动，
所述第一前端部相对于所述第二前端部配置在所述第一方向上。


2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第一液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。


3.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第一液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上延伸。


4.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第二液滴喷出部在与所述第一液滴喷出部移动的方向交叉的方向上设置有多个。


5.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述第一液滴喷出部的所述第一前端部的内径大于所述第二液滴喷出部的所述第二前端部的内径。


6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田和広，
申请(专利权)人：SIJ技术株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP