半透射型液晶显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种半透射型液晶显示装置，包括具有一对基板和夹持在上述一对基板间的液晶层的液晶显示板，上述液晶显示板包括多个各自具有透射部和反射部的子像素，上述一对基板中的一块基板包括有源元件、设置在上述有源元件的电极的上层并具有第一接触孔的第一绝缘膜、设置在上述第一绝缘膜的上层的对置电极、在上述对置电极的上层并设置在上述反射部的反射电极、设置在上述对置电极和上述反射电极的上层并具有第二接触孔的第二绝缘膜、设置在上述第二绝缘膜的上层的像素电极、形成于上述第一接触孔并与上述有源元件的电极电连接的导体，上述像素电极通过上述第二接触孔与上述导体电连接。根据本发明专利技术的半透射型液晶显示装置，能提高制造成品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半透射型液晶显示装置，尤其是涉及IPS (In Plane Switching)方式和纵向电场方式的半透射型液晶显示装置。
技术介绍
作为便携设备用的显示器，使用了在1个子像素内具有透射部和反 射部的半透射型液晶显示装置。在这些半透射型液晶显示装置中，对夹持在一对基板间的液晶采用 了在与 一对基板的基板平面垂直的方向上施加电场来驱动液晶的纵向电场方式。在这种情况下，为调和透射部和反射部的特性而在透射部和 反射部设置台阶，并在偏振板和液晶层之间设置相位差板。另一方面，作为液晶显示装置，已知有IPS方式的液晶显示装置， 在该IPS方式的液晶显示装置中，通过将像素电极(PIX)和对置电极 (CT )形成在同 一基板上并在其间施加电场以使液晶在基板平面内旋 转，来进行明暗的控制。因此，具有当斜向观看画面时显示图像的颜色 深浅不颠倒的特征。为有效利用这种特征，提出了采用IPS方式的液晶 显示装置来构成半透射型液晶显示装置的方案。但是，当采用IPS方式的液晶显示装置构成半透射型液晶显示装置 时，例如在透射部为常黑的情况下，反射部为常白，因而存在着在透射 部和反射部明暗颠倒的问题(1 )。因此，为解决上述问题(l),本申请人已提出了具有新像素结构的 半透射型液晶显示装置的专利申请(参照下列专利文献1 )。在该已申请过的半透射型液晶显示装置中，作为各子像素的像素结 构，与由透射部和反射部共用的像素电极不同，使对置电极在透射部和 反射部各自独立，并施加彼此不同的基准电压(对置电压或公共电压)，由此防止在透射部和反射部发生明暗颠倒。在IPS方式的液晶显示装置中，像素电极(PIX)，设置在一对基板 中的一块基板的液晶侧。在这种情况下，在对置电极(CT)上开口，在 其中形成接触孔，通过接触孔对像素电极(PIX)施加驱动电压。但是，在上述专利文献l所述的半透射型液晶显示装置中，当为了 对配置在一块基板的液晶侧的像素电极(PIX)施加驱动电压而在对置 电极(CT)上开口并在其中形成接触孔时，非显示部分增加，因而存在 着透射率低的问题(2)。因此，为解决上述问题(2)，本申请人已申请过具有新的像素结构 的半透射型液晶显示装置(参照下列专利文献2)。在该已申请过的半透射型液晶显示装置中，通过使用彼此相对的对置电极(CT)的间隙作为形成接触孔所需的对置电极(CT)的开口，来防止透射率的降低。aaa a日^专利文献1 专利文献2 专利文献3日本特愿2005-322049 日本特愿2006-109659 日本特开平5-127195号公报
技术实现思路
本专利技术人对上述专利文献2中所述的半透射型液晶显示装置进行了 研究，结果发现了以下的问题。图23是表示在专利文献2的半透射型液晶显示装置的液晶显示板 的像素部中将像素电极连接于有源元件的电极的连接部的结构的剖视 图，图24是表示在对适用于专利文献2的结构的情况进行研究中的半 透射型液晶显示装置的液晶显示板的外围电路部中通过ITO膜将对置电 极连接于有源元件的电极的连接部的结构的剖视图。在图23和图24中，15、 16、 17是层间绝缘膜，CT是对置电极， DD、 DD1是起着薄膜晶体管(有源元件)的漏电极的作用的电极，PIX 是像素电极，RAL是反射电极，CH2、 CH3、 CH4是接触孔。在专利文献2所述的半透射型液晶显示装置中，如图23所示，具 有使像素电极(PIX)通过接触孔CH3与薄膜晶体管的电极(DD)直接 接触的结构。该结构通过如下方式实现，即在层间绝缘膜16的接触孔 CH2的内侧也形成层间绝缘膜17，在该层间绝缘膜17上开孔，并利用 其图案加工下层的层间绝缘膜15而形成接触孔(CH3)。但是，当形成接触孔CH3时，由于层间绝缘膜15和层间绝缘膜17 的膜质不同，在一起加工有时会产生缺陷，在某些情况下会发生不能使 像素电极(PIX)与薄膜晶体管的电极(DD)电连接的连接故障。因此，本专利技术人研究了在加工层间绝缘膜17之前先加工层间绝缘 膜15的情况。但是，在这种情况下，在形成反射电极(RAL)的图案 时将使薄膜晶体管的电极(DD)溶解，这时也将发生像素电极(PIX) 与薄膜晶体管的电极(DD)不能电连接的连接故障。这种连接故障，成 为半透射型液晶显示装置的制造成品率降低的主要因素。在外围电路部，当由薄膜晶体管控制提供给对置电极(CT)的电位 时，薄膜晶体管的电极(DDI)与对置电极(CT)的电连接是必要的。 当采用图23中所述的制造工艺时，如图24所示，必须使用最上层的ITO 膜20(与像素电极(PIX )在同一工序中加工)将薄膜晶体管的电极(DDI ) 与对置电极(CT)电连接，因而存在着由高电阻ITO的链电阻引起的连 接电阻增大的问题。可以设想到，如果连接电阻增大，就会使施加于对 置电极(CT)的驱动电压变化而发生显示不均等，作为结果将使显示质 量恶化。本专利技术的目的是提供一种能够谋求提高半透射型液晶显示装置的 制造成品率的技术。本专利技术的另一目的是提供一种能够谋求提高半透射型液晶显示装 置的显示质量的技术。本专利技术的上述及其他目的和新的特征，由本说明书的记述和附图可 以明确。在本申请书所公开的专利技术中，如简单地说明代表性专利技术的概要，则 如下所述。(1) 一种半透射型液晶显示装置，包括具有一对基板和夹持在上 述一对基板间的液晶层的液晶显示板，上述液晶显示板，包括多个各自 具有透射部和反射部的子像素，在该半透射型液晶显示装置中，上述一对基板中的一块基板包括有源元件；设置在上述有源元件的电极的上 层并具有第一接触孔的第一绝缘膜；设置在上述第一绝缘膜的上层的对 置电极；在上述对置电极的上层并设置在上述反射部的反射电极；设置 在上述对置电极和上述反射电极的上层并具有第二接触孔的第二绝缘 膜；设置在上述第二绝缘膜的上层的像素电极；以及形成于上述第一接 触孔并与上述有源元件的电极电连接的导体，其中，上述像素电极通过 上述第二接触孔与上述导体电连接。(2) 在上述(1)中，上述导体在上述第一接触孔的内外形成。(3) 在上述(1)或(2)中，上述一块基板在上述有源元件的上 述电极的上层亦即上述第一绝缘膜的下层具有第三绝缘膜，上述第三绝 缘膜具有第三接触孔，上述导体通过上述第一接触孔和上述第三接触孔 与上述有源元件的上述电极电连接。(4) 在上述(1) ~ (3)的任何一项中，上述导体与上述对置电 极在同一工序中形成，且与上述对置电极电隔离而形成。(5) 在上述U) ~ (4)的任何一项中，上述有源元件的上述电 极，在其表面含有1%以上的上述反射电极的材料。(6) 在上述(1) ~ (5)的任何一项中，上述有源元件的上述电 极，由用上述反射电极的蚀刻液或蚀刻气进行蚀刻的材料构成。(7) 在上述(1)或(6)的任何一项中，上述像素电极与上述对 置电极重叠地配置，由上述像素电极、上述第二绝缘膜、上述对置电极 形成保持电容。(8) 在上述(1) ~ (7)的任何一项中，上述多个子像素的各个 子像素，其上述像素电极由上述透射部和上述反射部共用，上述对置电 极在上述透射部和上述反射部各自独立，施加于上述对置电极的电位， 在上述透射部和上述反射部不同。(9) 在上述(1) ~ (7)的任何一项中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半透射型液晶显示装置，包括具有一对基板和夹持在上述一对基板间的液晶层的液晶显示板，上述液晶显示板具有多个各自具有透射部和反射部的子像素，其特征在于，上述一对基板中的一块基板包括：有源元件；设置在上述有源元件的电极的上层并具有第一接触孔的第一绝缘膜；设置在上述第一绝缘膜的上层的对置电极；在上述对置电极的上层并设置在上述反射部上的反射电极；设置在上述对置电极和上述反射电极的上层并具有第二接触孔的第二绝缘膜；设置在上述第二绝缘膜的上层的像素电极；以及形成于上述第一接触孔并与上述有源元件的电极电连接的导体，其中，上述像素电极通过上述第二接触孔与上述导体电连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：落合孝洋，仲尾贵之，园田大介，三宅秀和，宫泽敏夫，槙正博，佐佐木亨，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：JP[日本]