一种功率器件抗闩锁测试电路和测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及功率器件测试技术领域，具体涉及一种功率器件抗闩锁测试装置。包括：第一同轴连接器、第二同轴连接器、第三同轴连接器、第四同轴连接器、同轴开关、第一电极、第二电极、第三电极和至少两根储能传输线；同轴开关的一端连接第一同轴连接器的内导体，同轴开关的相对的另一端连接第一电极；第一同轴连接器的内导体连接至少两根储能传输线；第三同轴连接器的内导体依次连接控制端和地；第二电极接地；第四同轴连接器的内导体连接第三电极。本实用新型专利技术能够控制同轴开关闭合，闭合瞬间将储能传输线的能量转换为百纳秒的高压脉冲并施加至被测功率器件，以触发该功率器件发生电学闩锁效应。

【技术实现步骤摘要】
一种功率器件抗闩锁测试电路和测试装置
本技术涉及功率器件测试
，具体涉及一种功率器件抗闩锁测试电路和测试装置。
技术介绍
近年来，半导体器件设计能力不断提升，制造工艺不断进步，市场需求不断发展，器件的功率也随之提升，尤其是功率器件电流能力已经达到百安培。功率提升的同时对相关测试装置也有了新的需求。现有功率器件的电学闩锁特性的测试方法是采用电学特性测试系统，该系统触发器件电学闩锁的脉冲宽度一般为数微秒，进行电学闩锁特性测试时可能会出现热烧毁现象，导致被测器件的电学闩锁特性测试不准确。现有小功率器件电学闩锁特性的测试方法是采用传输线脉冲信号发生器作为测试装置，传输线脉冲信号发生器的脉冲宽度为数十纳秒至数百纳秒，脉冲宽度适合测试功率器件电学闩锁特性，但是该装置受线缆、开关等因素限制导致脉冲功率不足，只能满足5A以下器件电学闩锁特性测试。目前在功率器件测试领域，需要一种能够发生功率高且窄脉宽的测试装置来解决功率器件的电学闩锁特性测试问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种功率器件抗闩锁测试电路和测试装置，以解决功率器件的电学闩锁特性测试问题。为实现上述目的，本技术实施例提供了以下方案：第一方面，本技术实施例提供一种功率器件抗闩锁测试电路，包括第一同轴连接器、第二同轴连接器、第三同轴连接器、第四同轴连接器、同轴开关、第一电极、第二电极、第三电极和至少两根储能传输线；所述同轴开关的一端连接所述第一同轴连接器的内导体，所述同轴开关的另一端连接所述第一电极；所述第一同轴连接器的内导体还分别连接所述至少两根储能传输线；所述第二同轴连接器的内导体连接所述第一电极；所述第三同轴连接器的内导体连接所述同轴开关的控制端；所述第二电极、所述第一同轴连接器的屏蔽层、所述第二同轴连接器的屏蔽层和所述第三同轴连接器的屏蔽层均接地；所述第四同轴连接器的内导体连接所述第三电极。在一种可能的实施例中，所述同轴开关为同轴水银开关。第二方面，本技术实施例提供一种功率器件抗闩锁测试装置，包括顶部屏蔽体、底部屏蔽体、被测器件放置区以及第一方面中任一所述的功率器件抗闩锁测试电路；所述顶部屏蔽体与所述底部屏蔽体配合形成活动屏蔽体；所述第一同轴连接器、所述第二同轴连接器、所述第三同轴连接器和所述第四同轴连接器均贯穿设置在所述底部屏蔽体上；所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极均设置在所述被测器件放置区中；所述同轴开关和所述被测器件放置区均设置在所述活动屏蔽体中。在一种可能的实施例中，还包括顶部电路板和底部电路板；所述底部电路板通过金属柱体架设在所述底部屏蔽体的底部；所述顶部电路板通过电路板连接器与所述底部电路板连接；所述同轴开关的控制端设置在所述底部电路板上；所述被测器件放置区设置在所述顶部电路板上；所述第三同轴连接器的内导体通过所述底部电路板上的PCB射频连接器连接所述同轴开关的控制端。在一种可能的实施例中，所述同轴开关通过贝塞尔滤波器连接所述第一电极。在一种可能的实施例中，所述第四同轴连接器的内导体通过LC滤波电路连接所述第三电极。在一种可能的实施例中，所述第一同轴连接器为耐压值为5000V的SHV型同轴连接器。在一种可能的实施例中，所述PCB射频连接器为直头四脚SMA插座。本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本技术在测试时，第一电极连接该功率器件的漏端，第二电极连接该功率器件的源端，第三电极连接该功率器件的栅端，第一同轴连接器连接储能传输线，储能传输线连接高压电源，第二同轴连接器连接示波器，第三同轴连接器连接脉冲开关信号发生器，第四同轴连接器连接直流电压/电流检测仪器。本技术中的第三同轴连接器能够控制同轴开关闭合，闭合瞬间将储能传输线的能量转换为百纳秒的高压脉冲并施加至被测功率器件，以触发该功率器件发生电学闩锁效应。因此，本技术能够实现大功率器件的窄脉宽脉冲信号测试，从而能够准确地测量功率器件的电学闩锁特性曲线。附图说明为了更清楚地说明本说明书实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的一种可能的功率器件抗闩锁测试电路的连接示意图；图2是本技术实施例提供的一种可能的功率器件抗闩锁测试装置的结构示意图。附图标记说明：1为第一同轴连接器，11为储能传输线，2为第二同轴连接器，3为第三同轴连接器，4为第四同轴连接器，5为同轴开关组件，51为同轴开关，52为控制端，6为被测器件放置区，61为第一电极，62为第二电极，63为第三电极，71为顶部屏蔽体，72底部屏蔽体，73为屏蔽体连接器，81为顶部电路板，82为底部电路板，83为金属柱体，84为电路板连接器，85为第一PCB射频连接器，91为顶部测试线，92为直流测试通路。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术实施例保护的范围。本技术专利技术人在对现有的三端器件电学闩锁特性测试方法研究分析后，发现现有技术的测试信号的脉宽较大以及脉冲功率过低，不能准确地测试功率器件的电学闩锁特性。为了提高测试的准确性，本技术提供了以下实施例。请参阅图1，图1为本技术实施例提供的功率器件抗闩锁测试电路的连接示意图，包括：第一同轴连接器1、储能传输线11、第二同轴连接器2、第三同轴连接器3、第四同轴连接器4、同轴开关51、第一电极61、第二电极62和第三电极63。其中，同轴开关51对应有控制端52，控制端52可以控制同轴开关51的通断。具体的，同轴开关组件5可以采用现有的同轴开关，或高压同轴水银开关。第一电极61、第二电极62和第三电极63用于连接被测功率器件。测试时，第一电极61连接被测功率器件的漏端，第二电极62连接被测功率器件的源端，第三电极63连接被测功率器件的栅端。具体的，第一电极61、第二电极62和第三电极63等间隔平行放置，管脚之间的最大间隔为4mm，最大兼容测试TO-254封装的功率器件测试。第一同轴连接器1、第二同轴连接器2、第三同轴连接器3和第四同轴连接器4均为同轴连接器。同轴连接器包括有同轴设置的屏蔽层和内导体。测试时，第一同轴连接器1连接高压电源，第二同轴连接器2连接示波器，第三同轴连接器3连接脉冲开关信号发生器，第四同轴连接器4连接直流电压/电流检测仪器。第一同轴连接器1的内导体依次连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种功率器件抗闩锁测试电路，其特征在于，包括第一同轴连接器、第二同轴连接器、第三同轴连接器、第四同轴连接器、同轴开关、第一电极、第二电极、第三电极和至少两根储能传输线；/n所述同轴开关的一端连接所述第一同轴连接器的内导体，所述同轴开关的相对的另一端连接所述第一电极；所述第一同轴连接器的内导体还分别连接所述至少两根储能传输线；/n所述第二同轴连接器的内导体连接所述第一电极；/n所述第三同轴连接器的内导体连接所述同轴开关的控制端；/n所述第二电极、所述第一同轴连接器的屏蔽层、所述第二同轴连接器的屏蔽层和所述第三同轴连接器的屏蔽层均接地；/n所述第四同轴连接器的内导体连接所述第三电极。/n

【技术特征摘要】
1.一种功率器件抗闩锁测试电路，其特征在于，包括第一同轴连接器、第二同轴连接器、第三同轴连接器、第四同轴连接器、同轴开关、第一电极、第二电极、第三电极和至少两根储能传输线；
所述同轴开关的一端连接所述第一同轴连接器的内导体，所述同轴开关的相对的另一端连接所述第一电极；所述第一同轴连接器的内导体还分别连接所述至少两根储能传输线；
所述第二同轴连接器的内导体连接所述第一电极；
所述第三同轴连接器的内导体连接所述同轴开关的控制端；
所述第二电极、所述第一同轴连接器的屏蔽层、所述第二同轴连接器的屏蔽层和所述第三同轴连接器的屏蔽层均接地；
所述第四同轴连接器的内导体连接所述第三电极。


2.根据权利要求1所述的功率器件抗闩锁测试电路，其特征在于，所述同轴开关为同轴水银开关。


3.一种功率器件抗闩锁测试装置，其特征在于，包括顶部屏蔽体、底部屏蔽体、被测器件放置区以及权利要求1或2所述的功率器件抗闩锁测试电路；
所述顶部屏蔽体与所述底部屏蔽体配合形成活动屏蔽体；
所述第一同轴连接器、所述第二同轴连接器、所述第三同轴连接器和所述第四同轴连接器均贯穿设置在所述底部屏蔽体上；
所述第一电极、所述第二电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙佳星，倪涛，曾传滨，王娟娟，王玉娟，张煦，罗家俊，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：新型
国别省市：北京;11