泵制造技术

泵(10)具备：平板(20)、压电元件(21)、平板(30)、侧壁(40)、支承部件(22)、支承部件(32)、遮挡板(500)、通气孔(23)、通气孔(33)、薄膜阀(61)、以及薄膜阀(62)。薄膜阀(61)配置于平板(20)与遮挡板(500)相对置的区域。薄膜阀(62)配置于平板(30)与遮挡板(500)相对置的区域。薄膜阀(61)与薄膜阀(62)中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泵
本专利技术涉及利用压电体的泵。
技术介绍
以往，像专利文献1等所示那样，设计有各种利用压电体来搬运流体的泵。专利文献1中记载的泵在泵室的中央配置有振动板。另外，专利文献1中记载的泵分别在由振动板将泵室分离而形成的第一泵室(上泵室)和第二泵室(下泵室)具备吸入口和排出口。在各排出口设置有防止返流的逆止阀，通过这些逆止阀来实现整流。专利文献1:美国专利2015-0023821号说明书然而，在专利文献1记载的泵中，在各泵室的中央一个一个地配置排出口，在该排出口配置有逆止阀，因此流路阻力变大。由此，流量变低，无法实现优异的泵特性。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供具有整流功能并且具有优异的泵特性的泵。本专利技术的泵具备：第一平板、第二平板、侧壁、第一支承部件、第二支承部件、第一遮挡板、第一通气孔、第二通气孔、第一阀芯以及第二阀芯。第一平板具有相互对置的一个主面和另一个主面。第二平板具有与第一平板的一个主面对置的一个主面。压电元件配置于第一平板或者第二平板。侧壁配置于比第一平板和第二平板的外缘靠外侧的位置。第一支承部件支承第一平板的外缘和侧壁并使第一平板能够振动。第二支承部件支承第二平板的外缘和侧壁并使第二平板能够振动。第一遮挡板配置于第一平板与第二平板之间，在第一平板、上述第二平板的外缘处，与第一平板、第二平板对置，第一遮挡板在中央具有开口，且固定于侧壁。第一通气孔形成在第一平板的外缘与侧壁之间。第二通气孔形成在第二平板的外缘与侧壁之间。第一阀芯配置于第一平板与第一遮挡板相对置的区域。第二阀芯配置于第二平板与第一遮挡板相对置的区域。第一阀芯与第二阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。在该结构中，在因由压电元件形成的第一平板的振动、和由第一平板的振动引起的第二平板的振动，使第一阀芯将中央侧与外缘侧之间开放时，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭。相反地，在第一阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭时，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间开放。例如，在从第一平板的外缘吸入流体时，第一阀芯将中央侧与外缘侧之间开放，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭。由此，抑制吸入时流体从第二平板的外缘泄漏。另一方面，在从第二平板的外缘排出流体时，第二阀芯将中央侧与外缘侧之间开放，第一阀芯将中央侧与外缘侧之间封闭。由此，抑制排出时流体朝第一平板的外缘返流引起的泄漏。优选本专利技术的泵的第一平板的外缘被第一支承部件支承为能够振动。在该结构中，抑制第一平板的振动的衰减。另外，优选本专利技术的泵是如下的结构。优选第一平板与第一遮挡板相对置的区域处第一平板与第一遮挡板间的距离小于第一支承部件与第一遮挡板间的距离。第二平板与第一遮挡板相对置的区域处第二平板与第一遮挡板间的距离小于第二支承部件与第一遮挡板间的距离。在该结构中，流路的在第一阀芯和第二阀芯的形成部处的高度低于流路的其他部分的高度，因此第一阀芯和第二阀芯容易堵住流路，整流效率变高。另外，优选本专利技术的泵是如下的结构。泵具备第三平板、第三支承部件、第二遮挡板、第三通气孔、第三阀芯以及第四阀芯。第三平板配置于第一平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面。第三支承部件支承第三平板的外缘和侧壁并使第三平板能够振动。第二遮挡板配置于第一平板与第三平板之间，在第一平板、第三平板的外缘处，第二遮挡板与它们对置，第二遮挡板在中央具有开口，且固定于侧壁。第三通气孔在第三平板的外缘与侧壁之间形成。第三阀芯配置于第一平板与第二遮挡板相对置的区域。第四阀芯配置于第三平板与第二遮挡板相对置的区域。第三阀芯与第四阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。第一阀芯与第三阀芯在固定部分与可动部分的位置关系上相反。在该结构中，由在吸入口与排出口之间串联连接的阀芯形成的整流部增加，增加压力。另外，优选在本专利技术的泵中，第一平板或者第二平板在两主面配置有压电元件。在该结构中，提高振动效率，提高压力、流量。另外，优选在本专利技术的泵中，第一平板和第二平板配置有压电元件。在该结构中，提高振动效率，提高压力、流量。另外，优选在本专利技术的泵中，在所有的第一平板、第二平板以及第三平板上全都配置有压电元件。在该结构中，进一步提高振动效率，进一步提高压力、流量。另外，优选本专利技术的泵具备：第四平板、第四支承部件、第三遮挡版、第四通气孔、第五阀芯、第六阀芯。第四平板配置于第二平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面。第四支承部件支承第四平板的外缘和侧壁。第三遮挡板配置于第二平板与第四平板之间，在第二平板、第四平板的外缘处，第三遮挡板与它们对置，而且，第三遮挡板在中央具有开口，且固定于侧壁。第四通气孔形成在第四平板的外缘与侧壁之间。第五阀芯配置于第二平板与第三遮挡板相对置的区域。第六阀芯配置于第四平板与第二遮挡板相对置的区域。第五阀芯与第六阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。第二阀芯与第五阀芯在固定部分与可动部分的位置关系上相反。在该结构中，提高作为泵的压力和流量。另外，优选在本专利技术的泵中，第四平板的外缘被第四支承部件支承为能够振动。在该结构中，抑制第四平板的振动的衰减。另外，优选在本专利技术的泵中是如下的结构。第一支承部件和第二支承部件由分别具有屈曲部的多个带状部件构成。第一通气孔由第一支承部件中的多个带状部件之间隙形成。第二通气孔由第二支承部件中的多个带状部件之间隙形成。在该结构中，提高限制平板的振动的效果，增大平板的振动的位移。由此，提高泵性能。另外，优选在本专利技术的泵中，第一支承部件薄于第一平板。在该结构中，抑制第一支承部件造成的第一平板的振动的衰减。另外，优选在本专利技术的泵中，第一支承部件由杨氏模量低于第一平板的材料构成。在该结构中，抑制第一支承部件造成的第一平板的振动的衰减。根据本专利技术，能够实现优异的泵特性。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式所涉及的泵10的结构的剖视图。图2的(A)是表示吸入时的泵10的动作的剖视图，图2的(B)是表示排出时的泵10的动作的剖视图。图3是表示本专利技术的第二实施方式所涉及的泵10A的结构的剖视图。图4的(A)是表示第二实施方式所涉及的泵10A的吸入时的动作的剖视图，图4的(B)是表示泵10A的排出时的动作的剖视图。图5是表示本专利技术的第三实施方式所涉及的泵10B的结构的剖视图。图6是表示本专利技术的第四实施方式所涉及的泵10C的结构的剖视图。图7是表示本专利技术的第五实施方式所涉及的泵10D的结构的剖视图。图8是表示本专利技术的第六实施方式所涉及的泵10E的结构的剖视图。图9是表示本专利技术的第七实施方式所涉及的泵10F的结构的剖视图。图10是表示本专利技术的第八实施方式所涉及的泵10G的结构的剖视图。图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泵，其特征在于，具备：/n第一平板，其具有相互对置的一个主面和另一个主面；/n第二平板，其具有与所述第一平板的一个主面对置的一个主面；/n压电元件，其配置于所述第一平板；/n侧壁，其配置于比所述第一平板和所述第二平板的外缘靠外侧的位置；/n第一支承部件，其支承所述第一平板的外缘与所述侧壁；/n第二支承部件，其支承所述第二平板的外缘与所述侧壁；/n第一遮挡板，其配置于所述第一平板与所述第二平板之间，在所述第一平板、所述第二平板的外缘处，与所述第一平板、所述第二平板对置，该第一遮挡板在中央具有开口，且固定于所述侧壁；/n第一通气孔，其形成在所述第一平板的外缘与所述侧壁之间；/n第二通气孔，其形成在所述第二平板的外缘与所述侧壁之间；/n第一阀芯，其配置于所述第一平板与所述第一遮挡板相对置的区域；以及/n第二阀芯，其配置于所述第二平板与所述第一遮挡板相对置的区域，/n所述第一阀芯与所述第二阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180531 JP 2018-104273;20180625 JP 2018-119430;201.一种泵，其特征在于，具备：
第一平板，其具有相互对置的一个主面和另一个主面；
第二平板，其具有与所述第一平板的一个主面对置的一个主面；
压电元件，其配置于所述第一平板；
侧壁，其配置于比所述第一平板和所述第二平板的外缘靠外侧的位置；
第一支承部件，其支承所述第一平板的外缘与所述侧壁；
第二支承部件，其支承所述第二平板的外缘与所述侧壁；
第一遮挡板，其配置于所述第一平板与所述第二平板之间，在所述第一平板、所述第二平板的外缘处，与所述第一平板、所述第二平板对置，该第一遮挡板在中央具有开口，且固定于所述侧壁；
第一通气孔，其形成在所述第一平板的外缘与所述侧壁之间；
第二通气孔，其形成在所述第二平板的外缘与所述侧壁之间；
第一阀芯，其配置于所述第一平板与所述第一遮挡板相对置的区域；以及
第二阀芯，其配置于所述第二平板与所述第一遮挡板相对置的区域，
所述第一阀芯与所述第二阀芯中一者在外缘侧可动的状态下使中央侧固定，另一者在中央侧可动的状态下使外缘侧固定。


2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，
所述第一平板的外缘被所述第一支承部件支承为能够振动。


3.根据权利要求1或2所述的泵，其特征在于，
所述第一平板与所述第一遮挡板间的在所述第一平板与所述第一遮挡板相对置的区域处的距离小于所述第一支承部件与所述第一遮挡板间的距离。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的泵，其特征在于，
所述第二平板与所述第一遮挡板间的在所述第二平板与所述第一遮挡板对置的区域处的距离小于所述第二支承部件与所述第一遮挡板间的距离。


5.根据权利要求1～4中的任一项所述的泵，其特征在于，具备：
第三平板，其配置于所述第一平板的另一个主面侧，且具有与该另一个主面对置的一个主面；
第三支承部件，其支承所述第三平板的外缘和所述侧壁；
第二遮挡板，其配置于所述第一平板与所述第三平板之间，在所述第一平板、所述第三平板的外缘处，该第二遮挡板与它们对置，该第二遮挡板在中央具有开口，且固定于所述侧壁；
第三通气孔，其形成在所述第三平板的外缘与所述侧壁之间；
第三阀芯，其配置于所述第一平板...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，藤崎雅章，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP