测量装置、测量系统及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测量装置，包含：存储部，其存储有用于从基于干涉而出现的颜色对与白光的干涉相关的2个光路的光路差进行测量的信息；以及运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于存储部的信息来测量与各像素相关的光路差。

【技术实现步骤摘要】
测量装置、测量系统及存储介质
本专利技术涉及利用白光的干涉的测量。本申请基于2019年7月3日在日本提出的申请号2019-124383的专利申请主张优先权，该专利申请的全部内容作为参考而援引于此。
技术介绍
在现有的利用白色干涉仪的微细形状测量中，一般而言，需要实施向工件高度方向(即，在将载置有测量物的平面设为XY平面时与该平面正交的Z轴方向)的精密扫描并在Z轴的各位置处拍摄测量物，从而获取累积图像(例如，日本公开专利公报2016-99213、2010-112865以及“3Dprofilingbyinterferometrymethod”、KatsuichiKitagawa,JournaloftheSocietyofInstrumentandControlEngineers,SICE,vol.50,No.2,February2011,pp.97-104)。这是为了将测量物的各部分的Z轴位置作为出现有干涉条纹的波峰的图像的Z轴位置进行计算。在这样的手法中，即使对算法等下工夫来以短时间进行精密扫描，也不能完全排除振动的影响，因此必须本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量装置，包含：/n存储部，其存储有用于将与白光的干涉相关的2个光路的光路差从基于所述干涉而出现的颜色进行测量的信息；以及/n运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于所述存储部的所述信息，来测量与各像素相关的所述光路差。/n

【技术特征摘要】
20190703 JP 2019-1243831.一种测量装置，包含：
存储部，其存储有用于将与白光的干涉相关的2个光路的光路差从基于所述干涉而出现的颜色进行测量的信息；以及
运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于所述存储部的所述信息，来测量与各像素相关的所述光路差。


2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，
存储于所述存储部的所述信息是利用由能导出颜色的构成要素的比率的值以及能导出与该比率对应的所述光路差的值组成的多个组而构成的表格。


3.根据权利要求1所述的测量装置，其中，
在所述图像中拍摄有测量物，
所述运算部还从测量出的与各像素相关的所述光路差测量所述测量物的形状，
所述测量装置还包含显示部，所述显示部用于显示对所述测量物进行测量而得到的所述形状。


4.一种测量系统，包含权利要求1所述的测量装置、以及光学系统，
所述光学系统包含：
光源部，其生成所述白光；
拍摄部，其生成所述图像；
参照物；
第一光路，其是从所述光源部起至所述拍摄部为止、且至少被所述参照物进行了折返的光路；以及
第二光路，其是从所述光源部起至所述拍摄部为止、且至少被测量物进行了折返的光路，
所述光学系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：石下雅史，宍户裕子，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP