测量装置、测量系统及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测量装置，包含：存储部，其存储有用于从基于干涉而出现的颜色对与白光的干涉相关的2个光路的光路差进行测量的信息；以及运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于存储部的信息来测量与各像素相关的光路差。

【技术实现步骤摘要】
测量装置、测量系统及存储介质
本专利技术涉及利用白光的干涉的测量。本申请基于2019年7月3日在日本提出的申请号2019-124383的专利申请主张优先权，该专利申请的全部内容作为参考而援引于此。
技术介绍
在现有的利用白色干涉仪的微细形状测量中，一般而言，需要实施向工件高度方向(即，在将载置有测量物的平面设为XY平面时与该平面正交的Z轴方向)的精密扫描并在Z轴的各位置处拍摄测量物，从而获取累积图像(例如，日本公开专利公报2016-99213、2010-112865以及“3Dprofilingbyinterferometrymethod”、KatsuichiKitagawa,JournaloftheSocietyofInstrumentandControlEngineers,SICE,vol.50,No.2,February2011,pp.97-104)。这是为了将测量物的各部分的Z轴位置作为出现有干涉条纹的波峰的图像的Z轴位置进行计算。在这样的手法中，即使对算法等下工夫来以短时间进行精密扫描，也不能完全排除振动的影响，因此必须考虑构成累积图像的图像间的位置偏差等。
技术实现思路
本专利技术鉴于以上状况而提出，其课题在于，从拍摄测量物而得到的1个图像进行与该测量物相关的测量。附图说明图1是表示本专利技术的实施例的系统1100的概略构成的框图。图2A示出显微镜100的外观。图2B示出显微镜100所构成的光学系统1110的概要。图3示出由相机340拍摄出的图像1300。图4A是表示在使用理想的光学系统的情况下的、与干涉相关的2个光路的光路差d与该干涉发生时的光的强度之间的关系的曲线图。图4B是表示在使用通常可利用的光学系统的情况下的、与干涉相关的2个光路的光路差d与该干涉发生时的光的强度之间的关系的曲线图。图5示出与光学系统1110相关的各距离。图6是表示系统1100的概略动作的流程图。图7是表示计算机的硬件构成例的框图。具体实施方式本专利技术的第一形态是一种测量装置，包含：存储部，其存储有用于从基于干涉而出现的颜色对与白光的干涉相关的2个光路的光路差进行测量的信息；以及运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于存储部的信息来测量与各像素相关的光路差。在此，存储于存储部的信息可以是利用由能导出颜色的构成要素的比率的值以及能导出与该比率对应的光路差的值组成的多个组而构成的表格。根据该装置，从对因白光的干涉产生的干涉条纹进行拍摄而得到的1个图像，就能对遍及各像素进行干涉的2个光路的光路差进行测量。因此，不再需要考虑因振动的影响而产生的、图像间的至少XY轴方向的偏差。此外，通常，在上述图像中拍摄有测量物。上述运算部进而可以从测量出的与各像素相关的光路差来对测量物的形状进行测量，上述装置还可以包含显示部，该显示部用于显示对测量物进行测量而得到的形状。如此，能从对测量物以及因白光的干涉产生的干涉条纹进行拍摄而得到的1个图像中确认该测量物的形状。本专利技术的第二形态是一种测量系统，包含上述测量装置和光学系统。光学系统包含：光源部，其生成白光；拍摄部，其生成上述图像；参照物；第一光路，其从光源部起至拍摄部为止，且至少被参照物进行折返；以及第二光路，其从光源部起至拍摄部为止，且至少被测量物进行折返，该光学系统构成为经过第一光路的光与经过第二光路的光相干涉。在此，存储于存储部的信息优选至少部分地根据光学系统以及测量物来确定。此外，上述光学系统优选构成为：使基于干涉的光的相互助长程度最大的、最接近零的光路差根据光的波长而不同。根据该系统，仅通过生成1个图像，即，不用进行向Z轴方向的扫描而生成多个图像，就能得到测量物的形状。故而，与现有相比，能极高速地进行测量物的形状测量。本专利技术的第三形态是用于计算机的程序。在计算机中存储有用于从基于干涉而出现的颜色对与白光的干涉相关的2个光路的光路差进行测量的信息。程序使该计算机至少根据所存储的上述信息来从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像对与各像素相关的光路差进行测量。根据该程序，从对因白光的干涉产生的干涉条纹进行拍摄而得到的1个图像，就能对遍及各像素进行干涉的2个光路的光路差进行测量。以下，参照附图来详细说明本专利技术的实施例。以下的说明只不过是本专利技术的实施的例示。因此，值得留意的是，本专利技术不限于以下说明，能在不脱离其主旨的范围内进行各种变更。1本专利技术的实施例的构成图1是表示本专利技术的实施例的系统1100的概略构成的框图。此外，本专利技术的其他实施例无需将系统1100所含的构成全部包含。系统1100包含光学系统1110、存储部1120、运算部1130以及显示部1140。具体而言，在本实施例中，光学系统1110利用图2A中示出了外观的显微镜100而构成，存储部1120、运算部1130和显示部1140利用计算机而构成。1-1显微镜100图2A中示出了外观的显微镜100能通过有限远校正光学系统并根据未图示的被观察物的观察部位的位置、状态等来酌情切换倍率。该显微镜100具备载置台200和显微镜主体300。载置台200例如具备基座部210，基座部210载置固定于观察用的未图示的作业台上。在该基座部210，一体设置有轴向大致沿铅垂方向的支柱部220。进而，在基座部210配设有X轴移动部230和Y轴移动部240。而且，在这些X轴移动部230以及Y轴移动部240，设置有能相对于基座部210以水平方向进行移动的载置板250。该载置板250通过X轴移动部230的X轴旋转操作部231的旋转操作而在平面方向上朝成为X轴方向的一个方向进行移动，且通过Y轴移动部240的Y轴旋转操作部241的旋转操作而在平面方向上朝成为相对于该一个方向正交的Y轴方向的另一方向进行移动。另外，在载置板250例如设置有载置玻璃251，使得能够进行基于透射照明的测量。显微镜主体300以能沿铅垂方向移动的方式配设于载置台200的支柱部220。该显微镜主体300具备框体310。在该框体310配设有Z轴旋转操作部320，Z轴旋转操作部320配设为能进行旋转操作，且通过旋转操作使框体310沿铅垂方向进行移动。进而，在框体310配设有目镜330以及相机340。相机340构成光学系统1110的拍摄部，对与显微镜100的XY平面即垂直于Z轴的平面相平行的平面进行拍摄。另外，相机340可以是彩色相机，即，能生成由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像。表示颜色的信息的一例是RGB值。相机340通过有线或无线与未图示的计算机连接，表示由相机340拍摄出的图像的数据被传输至该计算机。另外，在框体310内，配设有反射镜、半反射镜等各种光学系统构件。进而，在框体310配设有光源350，光源350构成光学系统1110的光源部。该光源350配设为沿大致铅垂方向朝下方出射光的状态。光源350例如是卤本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量装置，包含：/n存储部，其存储有用于将与白光的干涉相关的2个光路的光路差从基于所述干涉而出现的颜色进行测量的信息；以及/n运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于所述存储部的所述信息，来测量与各像素相关的所述光路差。/n

【技术特征摘要】
20190703 JP 2019-1243831.一种测量装置，包含：
存储部，其存储有用于将与白光的干涉相关的2个光路的光路差从基于所述干涉而出现的颜色进行测量的信息；以及
运算部，其从由分别包含表示颜色的信息的多个像素构成的图像，至少根据存储于所述存储部的所述信息，来测量与各像素相关的所述光路差。


2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，
存储于所述存储部的所述信息是利用由能导出颜色的构成要素的比率的值以及能导出与该比率对应的所述光路差的值组成的多个组而构成的表格。


3.根据权利要求1所述的测量装置，其中，
在所述图像中拍摄有测量物，
所述运算部还从测量出的与各像素相关的所述光路差测量所述测量物的形状，
所述测量装置还包含显示部，所述显示部用于显示对所述测量物进行测量而得到的所述形状。


4.一种测量系统，包含权利要求1所述的测量装置、以及光学系统，
所述光学系统包含：
光源部，其生成所述白光；
拍摄部，其生成所述图像；
参照物；
第一光路，其是从所述光源部起至所述拍摄部为止、且至少被所述参照物进行了折返的光路；以及
第二光路，其是从所述光源部起至所述拍摄部为止、且至少被测量物进行了折返的光路，
所述光学系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：石下雅史，宍户裕子，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP