【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种抑制载置对象物的基座的挠曲的基座支承装置。
技术介绍
1、以往，在进行对象物的测定、加工的情况下，将对象物载置于基座上或者载置于设置在基座上的平台(还包括移动平台)上，来实施测定处理、加工处理。
2、例如文献1(日本特开2014-85504公报)所记载的装置在经由振动抑制部配置的平台定盘的上表面配置有在y方向上延伸的直线导轨，在该直线导轨上以能够移动的方式支承有第一平台。
3、在文献1所记载的装置中，平台定盘(基座)经由设置于该平台定盘的端部的振动抑制部被支承。然而，例如，有时定盘由于定盘的上表面与下表面(地板面侧)之间的温度差等装置的设置环境等而发生挠曲。尤其在定盘上配置轨条并使平台在该轨条上移动的情况下，由于发生上述那样的挠曲而使轨条发生挠曲，阻碍平台的顺畅的移动。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种能够抑制基座的挠曲的基座支承装置。
2、本公开的一个方式所涉及的基座支承装置具备：基座，其具有构成水平面的上表面，该水平面包含第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向；第一支承部，其分别设置于所述基座的所述第一方向上的两端侧，在与所述第一方向及所述第二方向正交的第三方向上支承所述基座；第二支承部，其配置于所述基座的由所述第一支承部支承的两端侧之间，在所述第三方向上支承所述基座，并且能够调整在所述第三方向上支承所述基座的支承位置；挠曲检测部，其检测所述基座在所述第三方向上的挠曲量；以及挠曲控制部，其控制所述第二支承部，
3、由此，通过根据基座的挠曲控制第二支承部的支承位置，能够使基座的挠曲最小，从而能够抑制基座的挠曲。
4、在本方式的基座支承装置中，优选的是，所述第二支承部为主动除振台，该主动除振台具备：空气阻尼器，其通过气压来支承所述基座；以及气压调整部，其调整所述空气阻尼器的气压，所述挠曲控制部基于所述挠曲量控制所述气压调整部，来调整所述气压。
5、由此，通过将利用了空气阻尼器的主动除振台设为第二支承部，能够通过气压的调整来容易且高精度地调整第二支承部对基座的支承位置。
6、在本方式的基座支承装置中，优选的是，所述第二支承部设置于与所述基座的重心点相对应的位置。
7、在基座由于基座的自重、基座的上下的温度差而发生挠曲的情况下，挠曲量最大的部分为与重心点相对应的位置。因而，通过在与重心点相对应的位置设置第二支承部，能够有效地抑制基座的挠曲。
8、在本方式的基座支承装置中，也可以设为以下结构，还具备：轨条，其设置于所述上表面，沿着所述第一方向延伸设置；工作台，其能够在所述轨条上沿着所述第一方向移动；工作台位置检测部，其检测所述工作台在所述第一方向上的位置；以及支承移动部，其使所述第二支承部相对于所述基座沿着所述第一方向移动，所述支承移动部根据所述工作台在所述第一方向上的移动，来使所述第二支承部移动到与所述工作台相对应的位置。
9、由此，能够有效地抑制基座的工作台的位置处的挠曲。因此，能够抑制由轨条的挠曲引起的工作台的移动负荷的增大，从而能够使工作台顺畅地移动。
10、在本方式的基座支承装置中，还具备：第一温度传感器，其测量所述上表面的温度；以及第二温度传感器，其测量所述基座的与所述上表面相反的一侧的下表面的温度，所述挠曲检测部基于将所述上表面与所述下表面之间的温度差同所述基座的挠曲量相关联而得到的第一挠曲数据、以及由所述第一温度传感器和所述第二温度传感器测量的温度来检测所述挠曲量。
11、由此，能够容易且迅速地检测起因于基座的上下表面的温度差的基座的挠曲量，从而能够有效地抑制基座的挠曲。
12、在本方式的基座支承装置中，也可以设为以下结构，还具备：轨条，其设置于所述上表面，沿着所述第一方向延伸设置；工作台，其能够在所述轨条上沿着所述第一方向移动；以及工作台位置检测部，其检测所述工作台在所述第一方向上的位置，所述挠曲检测部基于将所述工作台沿着所述轨条在所述第一方向上移动时所述工作台在所述第一方向上的位置与所述基座的挠曲量相关联而得到的第二挠曲数据，来检测所述挠曲量。
13、在轨条上的工作台的位置变化的情况下，基座的挠曲状态根据工作台的位置而变化，但在本方式中，通过将工作台的位置和挠曲量预先保持为第二挠曲数据，能够容易且迅速地检测与工作台的位置相对应的挠曲量。由此，能够抑制由工作台的移动引起的基座的挠曲。
14、在本方式的基座支承装置中，也可以设为以下结构，还具备：第二挠曲检测部，其检测所述基座在所述第二方向上的挠曲量作为第二挠曲量；以及第三支承部，其配置于所述基座的由所述第一支承部支承的两端侧之间，在所述第二方向上支承所述基座，并且能够调整在所述第二方向上支承所述基座的支承位置，所述挠曲控制部还基于由所述第二挠曲检测部检测的所述第二挠曲量来控制所述第三支承部，以使所述基座与第一方向平行。
15、由此，能够由第二支承部抑制基座在第三方向上的挠曲，并且由第三支承部抑制基座在第二方向上的挠曲。
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1.一种基座支承装置，具备：
2.根据权利要求1所述的基座支承装置，其中，
3.根据权利要求1所述的基座支承装置，其中，
4.根据权利要求1所述的基座支承装置，还具备：
5.根据权利要求1所述的基座支承装置，还具备：
6.根据权利要求1所述的基座支承装置，还具备：
7.根据权利要求1所述的基座支承装置，还具备：
【技术特征摘要】
1.一种基座支承装置，具备：
2.根据权利要求1所述的基座支承装置，其中，
3.根据权利要求1所述的基座支承装置，其中，
4.根据权利要求1所述的基座支承装...
【专利技术属性】
技术研发人员：萩原诚一，菊池一志，石井大晖，大金房，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：
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