【技术实现步骤摘要】
磁场可调的磁控溅射阴极
本专利技术涉及一种磁控溅射镀膜装置,特别是一种磁场可调的磁控溅射阴极。
技术介绍
磁控溅射真空镀膜是一种常用的镀膜技术,磁控溅射镀膜技术是对靶材施加负高压,以靶材作为阴极,基片作为阳极,在靶材与基片之间形成电场,并通过在靶材背面的磁极提供磁场,利用磁场与电场交互作用,约束电子在靶表面附近螺旋状运行,不断撞击氩气产生离子,所产生的氩离子在电场作用下撞向靶面溅射出靶材原子,沉积在基片上获得所需的薄膜层。目前,在磁控溅射镀膜技术应用领域中,使用最广泛的是平面磁控溅射阴极。传统的阴极由于磁场是固定的,无法实现同一环境下基片高度方向上的不同膜厚的要求。
技术实现思路
针对以上现有技术的不足,本专利技术提供一种磁场可调的磁控溅射阴极,实现高度方向上不同区域膜厚不一致的工艺生产要求。本专利技术采用的技术方案如下:磁场可调的磁控溅射阴极,包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板,所述磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成,每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接,所述调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱,所述调节螺母转动连接在固定底板上,所述调节螺杆与调节螺母螺纹连接,调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接,所述固定底板上设有导向孔,所述导向柱一端与独立磁场模块固定连接,另一端与导向孔配合。进一步地,所述导向柱由与独立磁场模块连接的大直径段以及与大直径段连接的小直径段组成,所述导向孔包括靠近独立磁场模块一侧的大口径段以及远离独立磁场模块一侧的 ...
【技术保护点】
1.磁场可调的磁控溅射阴极,包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板,其特征在于:所述磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成,每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接,所述调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱,所述调节螺母转动连接在固定底板上,所述调节螺杆与调节螺母螺纹连接,调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接,所述固定底板上设有导向孔,所述导向柱一端与独立磁场模块固定连接,另一端与导向孔配合。/n
【技术特征摘要】
1.磁场可调的磁控溅射阴极,包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板,其特征在于:所述磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成,每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接,所述调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱,所述调节螺母转动连接在固定底板上,所述调节螺杆与调节螺母螺纹连接,调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接,所述固定底板上设有导向孔,所述导向柱一端与独立磁场模块固定连接,另一端与导向孔配合。
2.如权利要求1所述的磁场可调的磁控溅射阴极,其特征在于:所述导向柱由与独立磁场模块连接的大直径段以及与大直径段连接的小直径段组成,所述导向孔包括靠近独立磁场模块一侧的大...
【专利技术属性】
技术研发人员:李国强,舒逸,刘光斗,李赞,
申请(专利权)人:湖南玉丰真空科学技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南;43
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