带有下部铰链的体硅镜制造技术

一种ＭＥＭＳ装置（１００），包括体元件（１１０）、第一和第二铰链（１２１，１２２）和支承件（１３０）。体元件（１１０）具有顶表面和底表面（１１２，１１１），并且铰链被设置在顶表面（１１２）下面。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种装置，包括：ａ）体元件，所述体元件具有器件表面和设置在所述器件表面下面的底表面；ｂ）支承件；和ｃ）至少一个铰链，所述铰链设置在所述底表面下面，并且其与所述体元件和所述支承件相连接，由此将所述体元件悬挂在所述支承件 上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：BP范德里恩惠岑，JP维尔德，N宽，
申请(专利权)人：卡佩拉光子学公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]