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一种ＭＥＭＳ装置（１００），包括体元件（１１０）、第一和第二铰链（１２１，１２２）和支承件（１３０）。体元件（１１０）具有顶表面和底表面（１１２，１１１），并且铰链被设置在顶表面（１１２）下面。...
该专利属于卡佩拉光子学公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡佩拉光子学公司授权不得商用。

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