加液辅助装置、清洗机及腐蚀机制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例涉及一种加液辅助装置、清洗机及腐蚀机。加液辅助装置包括结合部、承载部和固定部。结合部和固定部通过承载部进行连接，以使得结合部的第一开口和固定部上开设的第二开口连通，第二开口的边缘还开设有与第二开口连通的第三开口。这样，在向储液槽进行加液时，可以将结合部伸入储液槽，然后使得承载部与储液槽的边沿抵接，从而确保整个加液辅助装置与储液槽之间的固定。将化剂瓶套设于第二开口并将化剂瓶的把手固定于第三开口，能够实现对化剂瓶的固定，并使得化剂瓶内的化剂液通过第一开口流向储液槽。如此，能够在向储液槽加液时通过第二开口和第三开口对化剂瓶进行固定，从而避免化剂瓶的晃动，进而避免化剂液的迸溅。

【技术实现步骤摘要】
加液辅助装置、清洗机及腐蚀机
本技术实施例涉及半导体制造有关的清洗腐蚀
，具体而言，涉及一种加液辅助装置、清洗机及腐蚀机。
技术介绍
在半导体器件的生产制造过程中，清洗、腐蚀工艺是重要的生产工艺。为确保清洗、腐蚀设备的正常运行，需要向清洗、腐蚀设备的储液槽添加化剂液。但是，在添加化剂液的时候，在化剂瓶发生晃动等情况下可能导致化剂液的迸溅进而产生次生危害。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种加液辅助装置、清洗机及腐蚀机，通过在固定部上开设用于套设化剂瓶的第二开口，并在第二开口的边缘开设用于固定化剂瓶的把手的第三开口，能够在向储液槽加液时通过第二开口和第三开口对化剂瓶进行固定以避免化剂瓶的晃动，进而避免化剂液的迸溅而可能导致的次生危害。本技术实施例的第一方面，提供了一种加液辅助装置，包括：结合部(1)、承载部(2)以及固定部(3)；所述结合部(1)固定于所述承载部(2)的一面并朝远离所述承载部(2)的方向延伸，所述结合部(1)远离所述承载部(2)的一端为第一开口；所述固定部(3)固定于所述承载部(2)远离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加液辅助装置，其特征在于，包括：结合部(1)、承载部(2)以及固定部(3)；/n所述结合部(1)固定于所述承载部(2)的一面并朝远离所述承载部(2)的方向延伸，所述结合部(1)远离所述承载部(2)的一端为第一开口；/n所述固定部(3)固定于所述承载部(2)远离所述结合部(1)的一面，所述固定部(3)开设有第二开口(31)，所述第二开口(31)的边缘开设有与所述第二开口(31)连通的第三开口(32)；/n所述结合部(1)和所述固定部(3)通过所述承载部(2)连接使第一开口和所述第二开口(31)连通；/n所述结合部(1)用于伸入储液槽(4)，所述承载部(2)用于与所述储液槽(4)的边沿抵接...

【技术特征摘要】
1.一种加液辅助装置，其特征在于，包括：结合部(1)、承载部(2)以及固定部(3)；
所述结合部(1)固定于所述承载部(2)的一面并朝远离所述承载部(2)的方向延伸，所述结合部(1)远离所述承载部(2)的一端为第一开口；
所述固定部(3)固定于所述承载部(2)远离所述结合部(1)的一面，所述固定部(3)开设有第二开口(31)，所述第二开口(31)的边缘开设有与所述第二开口(31)连通的第三开口(32)；
所述结合部(1)和所述固定部(3)通过所述承载部(2)连接使第一开口和所述第二开口(31)连通；
所述结合部(1)用于伸入储液槽(4)，所述承载部(2)用于与所述储液槽(4)的边沿抵接；
所述第二开口(31)用于套设化剂瓶(5)，以使所述化剂瓶(5)内的化剂液通过所述第一开口流向所述储液槽(4)；
所述第三开口(32)用于固定所述化剂瓶(5)的把手。


2.根据权利要求1所述的加液辅助装置，其特征在于，所述固定部(3)包括固定板(331)以及首尾相连的四个侧板(332)；
所述侧板(332)固定于所述承载部(2)远离所述结合部(1)的一面；
所述固定板(331)设置于所述侧板(332)远离所述承载部(2)的一端并与所述侧板(332)固定连接；
所述第二开口(31)开设于所述固定板(331)。


3.根据权利要求2所述的加液辅助装置，其特征在于，所述第二开口(31)为两个；
与其中一个第二开口(31)连通的第三开口(32)朝向一个侧板(332)，与另一个第二开口(31)连通的第三开口(32)朝向相对的另一个侧板(332)。


4.根据权利要求2所述的加液辅助装置，其特征在于，所述第二开口(31)为两个以上；所述第二开口(31)间隔分布于所述固定板(331)...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯本瑞，于雄飞，叶冠军，苏锴，王志坚，贾立超，
申请(专利权)人：吉林华微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林;22