集成机械能收集与振动检测功能的微器件制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，包括：基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转换结构能够将机械能进行收集并转化成电能。本实用新型专利技术的优点包括通过裂纹结构的开设，既可实现对机械能的高效收集也可实现微弱振动信号的高精度检测。

【技术实现步骤摘要】
集成机械能收集与振动检测功能的微器件
本技术属于微型智能电子
，具体涉及一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件。
技术介绍
集成振动信号高精度检测与机械能高效俘获功能的微型器件是整体提升微型智能电子装备感知和续航能力的关键，现有的设计原理和制备方法难以实现。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件及其制备方法，旨在解决现有智能电子装备无法在兼顾微小尺度的同时实现振动信号高精度检测和机械能高效收集的难题。为了实现上述目的，本技术一实施例提供的技术方案如下：一实施例中，提供了一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，包括：基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，其特征在于，包括：/n基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；/n振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；/n机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转换结构能够将机械能进行收集并转化成电能。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，其特征在于，包括：
基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；
振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构用于检测振动信号；
机电转换结构，嵌设于所述裂纹结构尖端部一侧的基底层内，所述机电转换结构能够将机械能进行收集并转化成电能。


2.根据权利要求1所述的集成机械能收集与振动检测功能的微器件，其特征在于，所述裂纹结构自所述基底层的一侧向内凹陷形成，其具有与所述尖端部相对设置的开放部，所述振动检测结构覆盖于所述开放部上。


3.根据权利要求1所述的集成机械能收集与振动检测功能的微器件，其特征在于，所述振动检测结构包括与所述基底层相贴合的柔性薄膜基底层，设于所述柔性薄膜基底层上的导电层以及设于所述导电层上的信号导出电极。


4.根据权利要求3所述的集成机械能收集与振动检测功能的微器件，其特征在于，所述柔性薄膜基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：王可军，王倩，陆耀，张雷，樊成，薛宇程，蒋立伟，归悦承，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32