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本实用新型揭示了一种集成机械能收集与振动检测功能的微器件，包括：基底层，其上开设有裂纹结构，所述裂纹结构沿所述基底层厚度方向贯穿该基底层，所述裂纹结构具有一封闭的尖端部；振动检测结构，设于所述基底层上且部分覆盖所述裂纹结构，所述振动检测结构...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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