光学滤波器制造技术

一种光学滤波器，包含衬底和堆叠在衬底的第一表面上的第一滤波器层。第一滤波器层包含：具有小于3的折射率的多个较低折射率层；具有大于3的折射率的多个较高折射率层；以及具有3或大于3的且比较高折射率层的折射率小的折射率的多个中等折射率层，且一个较高折射率层和一个中等折射率层插入在两个较低折射率层之间的区中的至少一个中。

【技术实现步骤摘要】
光学滤波器相关申请的交叉引用本专利文献要求2019年6月27日申请的韩国专利申请第10-2019-0076886号的优先权和权益，所述专利文献出于所有目的以引用的方式并入本文中，如同在此完全阐述一样。
示例性实施例涉及一种包含具有不同折射率的薄膜的光学滤波器。
技术介绍
光学滤波器是一种适于允许目标波长带中的光通过其透射或阻挡光的光学装置。举例来说，对于需要选定范围内的频率或颜色的应用(例如照相机模块)，有必要限制光的波长范围。为此目的，可使用一种光学滤波器，所述光学滤波器适于允许选择性地反射、折射、衍射或吸收不需要的波长范围内的光，同时允许其它波长范围内的光通过其透射。用于控制红外(IR)光谱中的光的波长的光学滤波器作为虚拟现实(virtualreality，VR)、增强现实(augmentedreality，AR)、自主车辆、无人机、人脸识别、虹膜识别、手势识别等中的关键组件中的一个而受到关注。为了将例如面部识别、虹膜识别、手势识别等的功能应用于智能装置，有必要开发一种具有较低厚度，同时相对于特定IR波长范围内的光具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学滤波器，包括：/n衬底；以及/n第一滤波器层，堆叠在所述衬底的第一表面上，/n其中所述第一滤波器层包括：多个较低折射率层，具有小于3的折射率；多个较高折射率层，具有大于3的折射率；以及多个中等折射率层，具有3或大于3的且比所述较高折射率层的折射率小的折射率，且一个较高折射率层和一个中等折射率层插入在两个较低折射率层之间的区中的至少一个中。/n

【技术特征摘要】
20190627 KR 10-2019-00768861.一种光学滤波器，包括：
衬底；以及
第一滤波器层，堆叠在所述衬底的第一表面上，
其中所述第一滤波器层包括：多个较低折射率层，具有小于3的折射率；多个较高折射率层，具有大于3的折射率；以及多个中等折射率层，具有3或大于3的且比所述较高折射率层的折射率小的折射率，且一个较高折射率层和一个中等折射率层插入在两个较低折射率层之间的区中的至少一个中。


2.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中所述较高折射率层中的每一个包括氢化硅层，且所述中等折射率层中的每一个包括添加碳的氢化硅层。


3.根据权利要求2所述的光学滤波器，其中所述光学滤波器在特定波长范围内具有96％或大于96％的透射率，且在0度到30度的范围内的入射角下具有小于12纳米的中心波长蓝移。


4.根据权利要求3所述的光学滤波器，其中所述第一滤波器层是允许所述特定波长范围内的光的透射的带通滤波器。


5.根据权利要求4所述的光学滤波器，其中所述特定波长范围在800纳米到1,000纳米的范围内。


6.根据权利要求2所述的光学滤波器，其中所述添加碳的氢化硅层在800纳米到1,000纳米的波长范围内具有小于0.0001的消光系数的局部最小值。


7.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中所述较低折射率层包括由以下所组成的族群中选出的至少一个：SiOx、TiOx、NbOx、TaOx、AlOx、SiNx、TiNx、NbNx、TaNx、AlNx以及其混合物。


8.根据权利要求1所述的光学滤波器，其中一个较高折射率层和一个中等折射率层插入在所述两个较低折射率层之间的所述区中的每一个中。


9.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：金东焕，黄允湜，金源莹，
申请(专利权)人：奥托仑达株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR