【技术实现步骤摘要】
光栅部件及其制造方法
本专利技术涉及一种光栅部件及其制造方法。
技术介绍
反射型的光电式线性标尺例如具备具有多个光学衍射光栅、振幅光栅的光栅部件来作为检测器(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-26567号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在这样的光栅部件中，在光学特性上会产生偏差。本专利技术的目的之一在于提供能够抑制光学特性的偏差的光栅部件及其制造方法。用于解决问题的方案在1个技术方案中，本专利技术的光栅部件的特征在于，其具备在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板以及在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板，所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此接合。在上述光栅部件中，也可以具备设于所述第1基板与所述第2基板之间的局部并且作为光反射膜或光吸收膜发挥功能的薄膜。在1个技术方案中，本专利技术的光栅部件的特征在于，其具备在表...
【技术保护点】
1.一种光栅部件，其特征在于，/n该光栅部件具备：/n在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板；以及/n在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板；/n所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此接合。/n
【技术特征摘要】
20190628 JP 2019-1208121.一种光栅部件，其特征在于，
该光栅部件具备：
在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板；以及
在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板；
所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此接合。
2.根据权利要求1所述的光栅部件，其特征在于，
该光栅部件具备设于所述第1基板与所述第2基板之间的局部并且作为光反射膜或光吸收膜发挥功能的薄膜。
3.一种光栅部件，其特征在于，
该光栅部件具备：
在表面具备光学光栅的透明的第1基板；
在表面具备光学光栅的透明的第2基板；以及
配置于所述第1基板与所述第2基板之间的间隔件；
所述第1基板和所述第2基板接合于所述间隔件。
4.根据权利要求3所述的光栅部件，其特征在于，
所述间隔件在所述第1基板与所述第2基板之间形成空腔。
5.根据权利要求4所述的光栅部件，其特征在于，
在所述空腔内具备作为光反射膜或光吸收膜发挥功能的薄膜。
6.根据权利要求4或5所述的光栅部件，其特征在于，
所述第1基板在所述空腔内具备所述光学光栅，
所述第2基板在所述空腔内具备所述光学光栅。
7.根据权利要求3所述的光栅部件，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：青木敏彦，三宅耕作，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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