一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、滑动设置于平台基座上的载入载出移动工作台和可移动检测单元安装架、横向滑动设置于可移动检测单元安装架上的横向滑板、竖直滑动设置于横向滑板上的竖直滑板、固定于竖直滑板上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定连接于载入载出移动工作台上的水平旋转台和大口径多面体光学元件装夹装置。本发明专利技术可移动检测单元安装架的纵向移动实现待测元件的对焦，通过角度旋转台、水平旋转台使得模块化检测单元的探头朝向待测光学表面，通过横向滑板和竖直滑板的移动，实现模块化检测单元二维扫描检测，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置
本专利技术涉及光学元件检测领域，具体是一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置。
技术介绍
国内外对精密的光滑表面疵病检测有许多方法，大多是根据疵病对光的不同散射特性来判别，传统的针对光学元件的检测方法主要是目视法，通过目视或借助辅助工具进行观察，疵病由不同方法而呈亮像或暗像，目视法受检测工人的熟练程度影响较大，主观性较强，而且长期的检测会造成人眼疲劳，同时不易给出疵病信息的定量评价。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。本专利技术的技术方案为：一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工位和检测工位之间流转，所述的纵向导轨的内端朝向横向导轨的检测工位；所述的横向检测导轨与横向导轨相互平行，所述的角度旋转台的转轴为水平横向设置，模块化检测单元固定连接于角度旋转台的转轴上由角度旋转台驱动转动，所述的模块化检测单元的探头朝向横向导轨方向。所述的水平旋转台上固定连接有光学表面调平装置，所述的大口径多面体光学元件装夹装置固定于光学表面调平装置上。所述的平台基座为大理石基座结构，所述的可移动检测单元安装架为大理石龙门结构。所述的模块化检测单元包括暗场显微成像模块和亮场显微成像模块。本专利技术的优点：(1)、本专利技术横向导轨设置有上下料工位和检测工位，便于利用辅助助力装置将大口径多面体光学元件在上下料工位处置于载入载出移动工作台上，辅助助力装置对操作空间也有一定的要求，设置上下料工位，从而为大口径多面体光学元件的装卸提供更为宽广的操作空间；(2)、本专利技术可移动检测单元安装架可沿纵向导轨靠近或远离载入载出移动工作台，从而为光学元件的表面疵病检测提供精确对焦，使得光学系统的焦平面与待测光学表面重合，保证表面疵病检测的检测精度；(3)、本专利技术可移动检测单元安装架上设置有横向检测导轨和竖直导轨，从而实现模块化检测单元的横向和竖直运动，从而使得模块化检测单元相对大口径多面体光学元件实现水平扫描检测和竖直扫描检测的目的；(4)、本专利技术设置有角度旋转台和水平旋转台，角度旋转台带动模块化检测单元进行旋转，实现模块化检测单元俯仰角的调节，水平旋转台带动大口径多面体光学元件进行水平转动，从而使模块化检测单元内部的光路系统与待测的光学表面之间保持特定的位置关系，实现对大口径多面体光学元件不同光学表面的检测需求；(5)、本专利技术载入载出移动工作台上设置有光学表面调平装置，能够在模块化检测单元内部的光路系统与待测的光学表面之间保持特定的位置关系后，通过进一步地针对大口径多面体光学元件进行位姿调节，以使得模块化检测单元在其整个扫描范围内，模块化检测单元内部光路系统对于待测光学表面的离焦量，在整个检测装置所能接受的范围内；(6)、本专利技术设置有大口径多面体光学元件装夹装置，使得载入载出移动工作台带动大口径多面体光学元件装夹装置移动过程中，保证大口径多面体光学元件装夹装置的稳定性。附图说明图1是本专利技术的立体图。图2是本专利技术与待测大口径多面体光学表面的位置关系示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。见图1和图2，一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座1、设置于平台基座1上端面上的横向导轨2和纵向导轨3、滑动设置于横向导轨2上的载入载出移动工作台4、滑动设置于纵向导轨3上的可移动检测单元安装架5、设置于可移动检测单元安装架5上的横向检测导轨6、滑动设置于横向检测导轨6上的横向滑板7、设置于横向滑板7上的竖直导轨8、滑动设置于竖直导轨8上的竖直滑板9、固定于竖直滑板9竖直面上的角度旋转台10、与角度旋转台10连接的模块化检测单元11、固定于载入载出移动工作台4上的水平旋转台12、固定连接于水平旋转台12上的光学表面调平装置13、固定连接于光学表面调平装置13上的大口径多面体光学元件装夹装置14；横向导轨2的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，载入载出移动工作台4在上下料工位和检测工位之间流转，纵向导轨3的内端朝向横向导轨2的检测工位；横向检测导轨6与横向导轨2相互平行，角度旋转台10的转轴为水平横向设置，模块化检测单元11固定连接于角度旋转台10的转轴上由角度旋转台10驱动转动，模块化检测单元10的探头朝向横向导轨2方向。其中，平台基座1为大理石基座结构，可移动检测单元安装架5为大理石龙门结构。模块化检测单元11包括暗场显微成像模块和亮场显微成像模块，能够分别进行高清晰成像，能够实现光学表面的疵病快速发现以及更进一步的疵病详细评价；疵病快速发现，是通过暗场显微成像模块的低倍率散射成像检测技术来实现，该技术兼顾检测效率和疵病检测灵敏度；疵病评价，是通过暗场显微成像模块和亮场显微成像模块的高倍显微暗场/明场成像检测技术来实现；在对疵病进行“快速发现”和标定的基础上根据需要进入疵病评价模式，可对任意选定区域进行评估，可以很好的兼顾高检测效率、高检测灵敏度以及高检测分辨率的要求。模块化检测单元配合可移动检测单元安装架极性移动实现自动对焦功能，对光学表面进行表面疵病检测时，需要有对应的检测功能，用以识别并确认模块化检测单元内部的光路系统与光学表面之间的位置关系，从而进行相应的位置及角度调节，能够快速达到可以进行疵病扫描检测的状态，从而提高检测效率。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；/n所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工位和检测工位之间流转，所述的纵向导轨的内端朝向横向导轨的检测工位；/n所述的横向检测导轨与横向导轨相互平行，所述的角度旋转台的转轴为水平横向设置，模块化检测单元固定连接于角度旋转台的转轴上由角度旋转台驱动转动，所述的模块化检测单元的探头朝向横向导轨方向。/n

【技术特征摘要】
1.一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；
所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工位和检测工位之间流转，所述的纵向导轨的内端朝向横向导轨的检测工位；
所述的横向检测导轨与横向导轨相...

【专利技术属性】
技术研发人员：王曦，俞伟洋，陈坚，吴周令，
申请(专利权)人：合肥利弗莫尔仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34