一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、滑动设置于平台基座上的载入载出移动工作台和可移动检测单元安装架、横向滑动设置于可移动检测单元安装架上的横向滑板、竖直滑动设置于横向滑板上的竖直滑板、固定于竖直滑板上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定连接于载入载出移动工作台上的水平旋转台和大口径多面体光学元件装夹装置。本发明专利技术可移动检测单元安装架的纵向移动实现待测元件的对焦，通过角度旋转台、水平旋转台使得模块化检测单元的探头朝向待测光学表面，通过横向滑板和竖直滑板的移动，实现模块化检测单元二维扫描检测，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置
本专利技术涉及光学元件检测领域，具体是一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置。
技术介绍
国内外对精密的光滑表面疵病检测有许多方法，大多是根据疵病对光的不同散射特性来判别，传统的针对光学元件的检测方法主要是目视法，通过目视或借助辅助工具进行观察，疵病由不同方法而呈亮像或暗像，目视法受检测工人的熟练程度影响较大，主观性较强，而且长期的检测会造成人眼疲劳，同时不易给出疵病信息的定量评价。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。本专利技术的技术方案为：一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；/n所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工...

【技术特征摘要】
1.一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，其特征在于：包括有平台基座、设置于平台基座上端面上的横向导轨和纵向导轨、滑动设置于横向导轨上的载入载出移动工作台、滑动设置于纵向导轨上的可移动检测单元安装架、设置于可移动检测单元安装架上的横向检测导轨、滑动设置于横向检测导轨上的横向滑板、设置于横向滑板上的竖直导轨、滑动设置于竖直导轨上的竖直滑板、固定于竖直滑板竖直面上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定于载入载出移动工作台上的水平旋转台、连接于水平旋转台上的大口径多面体光学元件装夹装置；
所述的横向导轨的一端部为上下料工位、另一端部为检测工位，所述的载入载出移动工作台在上下料工位和检测工位之间流转，所述的纵向导轨的内端朝向横向导轨的检测工位；
所述的横向检测导轨与横向导轨相...

【专利技术属性】
技术研发人员：王曦，俞伟洋，陈坚，吴周令，
申请(专利权)人：合肥利弗莫尔仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34