下载一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置的技术资料

文档序号:26889107

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本发明公开了一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置,包括有平台基座、滑动设置于平台基座上的载入载出移动工作台和可移动检测单元安装架、横向滑动设置于可移动检测单元安装架上的横向滑板、竖直滑动设置于横向滑板上的竖直滑板、固定于竖直滑板上的角...
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