一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备制造方法及图纸

技术编号:26885971 阅读:28 留言:0更新日期:2020-12-29 15:44
本发明专利技术公开一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备,用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的,从而避免采用人工进行匹配造成工作量大,且工作效率较低的问题。一种蒸发源的匹配方法,包括:确定第一标识信息,以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置,所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置;根据所述第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息,所述第二标识信息用于标识蒸发源;根据所述第二标识信息,确定与所述第二标识信息对应的蒸发源,并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备
本专利技术涉及镀膜
,特别地涉及一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备。
技术介绍
现有镀膜设备流水线生产过程中,主要通过人工筛选蒸发源,将不同种类和质量的蒸发源放置在镀膜设备的对应位置上。因此,通过人工方式将蒸发源与镀膜设备进行匹配,不仅增加了工作人员的工作量,容易出错,而且降低了工作效率。因此,如何实现对蒸发源和镀膜设备的自动匹配是技术人员需要亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备,用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的,从而避免采用人工进行匹配造成工作量大,且工作效率较低的问题。第一方面,本专利技术实施例提供一种蒸发源的匹配方法,所述方法包括:确定第一标识信息,以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置,所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置;根据所述第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息,所述第二标识信息用于标识蒸发源;根据所述第二标识信息,确定与所述第二标识信息对应的蒸发源,并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。第二方面,本专利技术实施例还提供了一种蒸发源的匹配装置,所述装置包括:第一确定单元,用于确定第一标识信息,以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置,所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置;第二确定单元,用于根据所述第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息,所述第二标识信息用于标识蒸发源;匹配单元,用于根据所述第二标识信息,确定与所述第二标识信息对应的蒸发源,并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。第三方面,本专利技术实施例还提供了一种镀膜设备,所述镀膜设备包括:镀膜机、蒸发源以及处理器,所述处理器包括存储器,所述存储器用于执行本专利技术提供的任一种的蒸发源的匹配方法。与现有技术相比,本专利技术的有益效果:本专利技术提供的蒸发源的匹配方法中,首先确定第一标识信息,以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置,其中,第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设备位置;然后根据该第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与该第一标识信息对应的第二标识信息,第二标识信息用于标识蒸发源;最后根据第二标识信息,确定对应的蒸发源,并控制将蒸发源匹配到蒸发源设置位置上。可见,本专利技术中蒸发源的匹配通过预设的标识信息之间的对应关系,确定与第一标识信息匹配的第二标识信息,从而确定与蒸发源设置位置匹配的蒸发源,通过自动匹配实现对蒸发源与镀膜设备中蒸发源设置位置之间的匹配。避免了采用人工进行匹配造成工作量大,容易出错,且工作效率较低的问题。附图说明下面,将结合附图对本专利技术的优选实施方式进行进一步详细的说明,其中:图1为本专利技术实施例提供的一种蒸发源的匹配方法的流程示意图;图2为本专利技术实施例提供的一种蒸发源的匹配装置的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。在以下的详细描述中,可以参看作为本申请一部分用来说明本申请的特定实施例的各个说明书附图。在附图中,相似的附图标记在不同图式中描述大体上类似的组件。本申请的各个特定实施例在以下进行了足够详细的描述,使得具备本领域相关知识和技术的普通技术人员能够实施本申请的技术方案。应当理解,还可以利用其它实施例或者对本申请的实施例进行结构、逻辑或者电性的改变。本专利技术实施例提供一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备,用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的,从而避免采用人工进行匹配造成工作量大,且工作效率较低的问题。需要说明的是,本专利技术实施例提供的蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备中,预先存储有标识信息之间的对应关系。具体地,首先将镀膜设备中的蒸发源设置位置、蒸发源、蒸发源中蒸发源材料以及蒸发源容器进行标识,然后将标识后的蒸发源设置位置、蒸发源、蒸发源中蒸发源材料以及蒸发源容器的不同标识进行存储,并按照蒸发源与蒸发源设置位置之间的对应关系,确定不同标识之间的对应关系,从而方便自动匹配蒸发源和蒸发源设置位置。其中,不同标识之间的对应关系,可以根据镀膜设备的镀膜工艺参数需要确定蒸发源设置位置对应的蒸发源。可以理解的是,本专利技术实施例中,蒸发源包括蒸发源材料和用于容纳蒸发源材料的蒸发源容器。蒸发源容器可以为坩埚或者其他。蒸发源设置位置为在镀膜设备内放置蒸发源的位置。其中,本专利技术中蒸发源的匹配方法的执行主体可以为具有存储空间和计算能力的控制器,或者其他控制机构。本专利技术中蒸发源的匹配方法主要针对镀膜设备在镀膜过程中,如何将蒸发源放置在镀膜腔室内的正确位置。参见图1,本专利技术实施例提供的一种蒸发源的匹配方法,包括:S101、确定第一标识信息,以及与第一标识信息对应的蒸发源设置位置,第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置;具体地,第一标识信息可以标记在镀膜设备中安装蒸发源的位置的接口法兰上;第一标识信息可以用数字或字母表示,或者数字和字母结合后表示;或者采用二维码进行表示。本专利技术中第一标识信息与镀膜设备中蒸发源设置位置一一对应。不同的蒸发源设置位置对应的第一标识信息不同。其中,根据蒸发源设置位置确定蒸发源设置位置对应的第一标识信息,可以通过终端扫描接口法兰上的二维码后,将该二维码的标识信息发送给控制器,控制器根据该第一标识信息,确定与该第一标识信息对应的蒸发源设置位置。S102、根据第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与第一标识信息对应的第二标识信息,第二标识信息用于标识蒸发源;具体地,控制器中预先存储有各类标识信息之间的对应关系。其中,预设的标识信息之间的对应关系,至少包括:第一标识信息与第二标识信息之间的对应关系。第一标识信息与第二标识信息一一对应。第二标识信息可以用数字或字母表示,或者数字和字母结合后表示;或者采用二维码进行表示。第二标识信息可以设置在蒸发源的任一位置。其中,第二标识信息与蒸发源一一对应。S103、根据第二标识信息,确定与第二标识信息对应的蒸发源,并控制将蒸发源匹配在蒸发源设置位置。其中,控制将蒸发源匹配在蒸发源设置位置,包括,发送控制指令给运载工具,用于将蒸发源匹配在蒸发源设置位置,其中,按照第二标识对应的蒸发源输送到蒸发源设置位置。另外,也可以发送指令给工作人员,工作人员将第二标识信息对应的蒸发源放置到蒸发源设置位置。将蒸发源放置在蒸发源设置位置的方式在此不做具体限定。本专利技术实施例提供的蒸发源的匹配方法中,首先确定第一标识信息,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源的匹配方法,其特征在于,所述方法包括:/n确定第一标识信息,以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置,所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置;/n根据所述第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息,所述第二标识信息用于标识蒸发源;/n根据所述第二标识信息,确定与所述第二标识信息对应的蒸发源,并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源的匹配方法,其特征在于,所述方法包括:
确定第一标识信息,以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置,所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置;
根据所述第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息,所述第二标识信息用于标识蒸发源;
根据所述第二标识信息,确定与所述第二标识信息对应的蒸发源,并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。


2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设的标识信息之间的对应关系包括:预设的第一标识信息与第三标识信息之间的对应关系,以及预设的第三标识信息和第二标识信息之间的对应关系,所述第三标识信息用于标识蒸发源的存储区域;
根据所述第一标识信息,以及预设的标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息,包括:
根据所述第一标识信息,以及所述预设的第一标识信息与第三标识信息之间的对应关系,确定与所述第一标识信息对应的第三标识信息;
根据所述第三标识信息,以及所述预设的第三标识信息和第二标识信息之间的对应关系,确定与所述第三标识信息对应的第二标识信息。


3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预设的标识信息之间的对应关系包括:预设的第二标识信息与第四标识信息、第五标识信息的对应关系,所述第四标识信息用于标识蒸发源材料,所述第五标识信息用于标识蒸发源容器;
根据所述第二标识信息,确定与所述第二标识信息对应的蒸发源,包括:
根据所述第二标识信息,以及预设的第二标识信息与第四标识信息、第五标识信息的对应关系,确定与所述第二标识信息对应的第四标识信息和第五标识信息;
根据所述第四标识信息确定所述第四标识信息对应的蒸发源材料,以及根据所述第五标识信息确定所述第五标识信息对应的蒸发源容器;
控制将所述蒸发源材料匹配在所述蒸发源容器内,形成所述蒸发源。


4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,根据所述第四标识信息确定对应的蒸发源材料,还包括:...

【专利技术属性】
技术研发人员:庞浩何嘉
申请(专利权)人:北京精诚铂阳光电设备有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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