一种石英坩埚壁厚快速检测装置制造方法及图纸

技术编号:26872540 阅读:25 留言:0更新日期:2020-12-29 13:04
本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方,被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。本实用新型专利技术的检测装置能够对石英坩埚的内外径及壁厚进行快速检测是否合格。

【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚壁厚快速检测装置
本技术涉及坩埚领域,具体涉及一种石英坩埚壁厚快速检测装置。
技术介绍
石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。石英坩埚在制作过程中需要经过高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干。而内外径及壁厚的检测就是其中的一环,但是现有的检测设备存在结构复杂,检测复杂的问题,检测不够快速方便。
技术实现思路
技术目的:本技术旨在克服现有技术的缺陷,提供一种石英坩埚壁厚快速检测装置。技术方案:一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方,被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。


2.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述第一连接杆有4个,4个第一连接杆呈圆环状等间距分布,所述第二连接杆有4个,4个第二连接杆呈圆环状等间距分布。


3.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述外径检测环和内径检测环的截面均...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘福鸿陈宝昌
申请(专利权)人:江苏华尔石英材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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