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本实用新型公开了一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方,被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,...该专利属于江苏华尔石英材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏华尔石英材料股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方,被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,...