一种制备高纯铟丝的设备制造技术

一种制备高纯铟丝的设备，包括依次设置的熔融装置、铸棒装置、铟棒直输装置、挤丝装置、拉丝装置，其中，铟棒直输装置包括至少一个滚轮组，滚轮组包括上、下滚轮，上、下滚轮的侧围上分别设置有上、下凹槽环，上、下凹槽环之间夹成有输棒腔，挤丝装置包括挤丝本体及其内部开设的柱型腔、锥型腔，柱型腔的一端穿经挤丝本体的左端面后与输棒腔正对设置，柱型腔的另一端与锥型腔的大直径端相通，锥型腔的小直径端穿经挤丝本体的右端面后与拉丝装置正对设置，挤丝本体的侧围上包裹有加热带，进一步，对制取零部件采取四氟乙烯、尼龙、钛的材质以降低铟丝的污染几率。本设计不仅结构简化，轻量化，危险性低，而且不易对铟丝造成污染。

【技术实现步骤摘要】
一种制备高纯铟丝的设备
本技术涉及一种铟丝制取设备，尤其涉及一种制备高纯铟丝的设备。
技术介绍
目前，靶材是半导体行业中重要的基底材料，而下游的应用产业所需的镀膜与靶材有着密切的关系，高纯铟丝是镀膜材料中较为方便应用的一种材料，常用直径为1－5mm的铟丝。现有的铟丝制取设备多为大型挤丝设备，不仅体积较大，结构复杂，操作繁琐，而且设备上存在较多的金属器件，易对铟丝造成污染，造成铟丝纯度下降，从而影响靶材性能，进而成为困扰业界的一个难题。公开该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利申请的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的结构复杂、易对铟丝造成污染的缺陷与问题，提供一种结构简化、不易对铟丝造成污染的制备高纯铟丝的设备。为实现以上目的，本技术的技术解决方案是：一种制备高纯铟丝的设备，所述设备包括依次设置的熔融装置、铸棒装置、铟棒直输装置、挤丝装置、拉丝装置；所述铟棒直输装置包括至少一个滚轮组，该滚轮组包括上下正对设置的上滚轮、下滚轮，上滚轮的侧围上设置有同心的上凹槽环，下滚轮的侧围上设置有同心的下凹槽环，上凹槽环的底部与下凹槽环的顶部之间夹成有输棒腔；所述挤丝装置包括挤丝本体及其内部开设的柱型腔、锥型腔，所述柱型腔的一端穿经挤丝本体的左端面后与输棒腔正对设置，柱型腔的另一端与锥型腔的大直径端相通，锥型腔的小直径端穿经挤丝本体的右端面后与拉丝装置正对设置，且在挤丝本体的侧围上包裹有加热带。所述挤丝本体包括相互连接的柱型部与锥型部，所述柱型部的内部设置有柱型腔，锥型部的内部设置有锥型腔，柱型部的侧围上包裹有加热带。所述拉丝装置包括上夹部、下夹部与夹具手柄，所述上夹部、下夹部的活动端之间夹成有夹持腔，该夹持腔与小直径端正对设置，上夹部、下夹部的固定端均与夹具手柄的一端相连接，夹具手柄的另一端与电机相连接。所述上夹部、下夹部的内侧面上均设置有多个锯齿，所述电机为可调速电机，所述挤丝本体的制造材料为碳化硅，所述上夹部、下夹部、上滚轮、下滚轮的制造材料都为尼龙。所述铟棒直输装置包括两个依次设置的滚轮组，相邻的滚轮组之间设置有组间空隙，前一个滚轮组内的输棒腔与后一个滚轮组内的输棒腔正对设置。所述铸棒装置包括下层模板与上层模板，所述下层模板内设置有至少一个成棒下槽，该成棒下槽包括前后连接的下直棒槽与下锥形槽，相邻的下直棒槽的侧部相互连通，所述上层模板内设置有至少一个成棒上槽，该成棒上槽包括前后连接的上直棒槽与上锥形槽，上直棒槽与下直棒槽一一对应，上锥形槽与下锥形槽一一对应，相邻的上直棒槽的侧部相互连通，上直棒槽上远离上锥形槽的部位设置有透气孔，任意一个上直棒槽的底面上设置有贯穿的浇铸孔。所述铸棒装置的底面与铝制加热板的顶面相接触。所述下层模板、上层模板的制造材料为氮化硼或石墨。所述熔融装置包括坩埚，该坩埚的顶部设置有尖嘴，坩埚的侧围上包裹有加热带；所述加热带为可调温控玻璃纤维加热带，所述坩埚的制作材料为四氟乙烯。所述坩埚上近其顶端、底端的部位上分别缠绕有固定圈，该固定圈的外端与支撑体相连接，所述支撑体上位于挤丝装置、拉丝装置之间的部位上设置有铟丝收卷轴；所述铟棒直输装置的底部、挤丝装置的侧围的底部、铟丝收卷轴的侧围的底部、拉丝装置的侧围的底部各自通过支撑架与支撑体相连接；所述支撑体、支撑架的制造材料都为钛。与现有技术相比，本技术的有益效果为：1、本技术一种制备高纯铟丝的设备中，依据铟丝的制取顺序，包括依次设置的熔融装置、铸棒装置、铟棒直输装置、挤丝装置、拉丝装置，整体上看，布局清晰，前后衔接性较强，不仅体积较小，占用空间不大，而且易于操作，降低了对铟丝的污染几率。因此，本技术不仅结构简化，而且不易对铟丝造成污染。2、本技术一种制备高纯铟丝的设备中，为了进一步的降低对铟丝的污染几率，还对各零部件的材质做了限定，如熔融装置主要采用四氟乙烯，铸棒装置主要采用氮化硼或石墨，挤丝装置主要采用碳化硅，铟棒直输装置、拉丝装置主要采用尼龙，以从根本上避免金属材质与铟丝相接触，从而降低铟丝的污染几率，确保铟丝的产品质量。因此，本技术能够避免金属材质与铟丝相接触，能大大降低对铟丝造成污染的几率。3、本技术一种制备高纯铟丝的设备中，对于支撑整体设备所必需的支撑体、支撑架，将其制造材料都优选为钛，不仅能够确保支撑强度，确保制取过程的顺利进行，而且能避免其余金属对铟丝造成污染，利于确保铟丝的质量。因此，本技术能降低对铟丝造成污染的几率。4、本技术一种制备高纯铟丝的设备中，熔融装置、挤丝装置的侧围上都包裹有加热带，优选为可调温控玻璃纤维加热带，该设计不仅利于对铟锭、铟棒的加热温度进行控制，精确度较高，以得到较高质量的铟丝，而且易于设置，降低了操作难度。因此，本技术不仅可控性较强，而且易于操作。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是图1中熔融装置的结构示意图。图3是图1中铸棒装置内下层模板的俯视图。图4是图1中铸棒装置内上层模板的仰视图。图5是图1中铟棒直输装置的结构示意图。图6是图1中挤丝装置的结构示意图。图7是图1中拉丝装置的结构示意图。图中：支撑架1、支撑体2、熔融装置3、坩埚31、尖嘴32、固定圈33、铸棒装置4、下层模板41、上层模板42、成棒下槽43、下直棒槽431、下锥形槽432、成棒上槽44、上直棒槽441、上锥形槽442、透气孔45、浇铸孔46、铟棒直输装置5、滚轮组50、上滚轮51、下滚轮52、上凹槽环53、下凹槽环54、输棒腔55、组间空隙56、挤丝装置6、挤丝本体61、柱型部611、锥型部612、柱型腔62、锥型腔63、大直径端64、小直径端65、拉丝装置7、上夹部71、下夹部72、夹具手柄73、夹持腔74、电机75、电机连接孔751、锯齿76、铝制加热板8、铟丝收卷轴9、加热带10。具体实施方式以下结合附图说明和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。参见图1—图7，一种制备高纯铟丝的设备，所述设备包括依次设置的熔融装置3、铸棒装置4、铟棒直输装置5、挤丝装置6、拉丝装置7；所述铟棒直输装置5包括至少一个滚轮组50，该滚轮组50包括上下正对设置的上滚轮51、下滚轮52，上滚轮51的侧围上设置有同心的上凹槽环53，下滚轮52的侧围上设置有同心的下凹槽环54，上凹槽环53的底部与下凹槽环54的顶部之间夹成有输棒腔55；所述挤丝装置6包括挤丝本体61及其内部开设的柱型腔62、锥型腔63，所述柱型腔62的一端穿经挤丝本体61的左端面后与输棒腔55正对设置，柱型腔62的另一端与锥型腔63的大直径端64相通，锥型腔63的小直径端65穿经挤丝本体61的右端面后与拉丝装置7正对设置，且在挤丝本体61的侧围上包裹有加热带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备高纯铟丝的设备，其特征在于：所述设备包括依次设置的熔融装置（3）、铸棒装置（4）、铟棒直输装置（5）、挤丝装置（6）、拉丝装置（7）；/n所述铟棒直输装置（5）包括至少一个滚轮组（50），该滚轮组（50）包括上下正对设置的上滚轮（51）、下滚轮（52），上滚轮（51）的侧围上设置有同心的上凹槽环（53），下滚轮（52）的侧围上设置有同心的下凹槽环（54），上凹槽环（53）的底部与下凹槽环（54）的顶部之间夹成有输棒腔（55）；/n所述挤丝装置（6）包括挤丝本体（61）及其内部开设的柱型腔（62）、锥型腔（63），所述柱型腔（62）的一端穿经挤丝本体（61）的左端面后与输棒腔（55）正对设置，柱型腔（62）的另一端与锥型腔（63）的大直径端（64）相通，锥型腔（63）的小直径端（65）穿经挤丝本体（61）的右端面后与拉丝装置（7）正对设置，且在挤丝本体（61）的侧围上包裹有加热带（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种制备高纯铟丝的设备，其特征在于：所述设备包括依次设置的熔融装置（3）、铸棒装置（4）、铟棒直输装置（5）、挤丝装置（6）、拉丝装置（7）；
所述铟棒直输装置（5）包括至少一个滚轮组（50），该滚轮组（50）包括上下正对设置的上滚轮（51）、下滚轮（52），上滚轮（51）的侧围上设置有同心的上凹槽环（53），下滚轮（52）的侧围上设置有同心的下凹槽环（54），上凹槽环（53）的底部与下凹槽环（54）的顶部之间夹成有输棒腔（55）；
所述挤丝装置（6）包括挤丝本体（61）及其内部开设的柱型腔（62）、锥型腔（63），所述柱型腔（62）的一端穿经挤丝本体（61）的左端面后与输棒腔（55）正对设置，柱型腔（62）的另一端与锥型腔（63）的大直径端（64）相通，锥型腔（63）的小直径端（65）穿经挤丝本体（61）的右端面后与拉丝装置（7）正对设置，且在挤丝本体（61）的侧围上包裹有加热带（10）。


2.根据权利要求1所述的一种制备高纯铟丝的设备，其特征在于：所述挤丝本体（61）包括相互连接的柱型部（611）与锥型部（612），所述柱型部（611）的内部设置有柱型腔（62），锥型部（612）的内部设置有锥型腔（63），柱型部（611）的侧围上包裹有加热带（10）。


3.根据权利要求1或2所述的一种制备高纯铟丝的设备，其特征在于：所述拉丝装置（7）包括上夹部（71）、下夹部（72）与夹具手柄（73），所述上夹部（71）、下夹部（72）的活动端之间夹成有夹持腔（74），该夹持腔（74）与小直径端（65）正对设置，上夹部（71）、下夹部（72）的固定端均与夹具手柄（73）的一端相连接，夹具手柄（73）的另一端与电机（75）相连接。


4.根据权利要求3所述的一种制备高纯铟丝的设备，其特征在于：所述上夹部（71）、下夹部（72）的内侧面上均设置有多个锯齿（76），所述电机（75）为可调速电机，所述挤丝本体（61）的制造材料为碳化硅，所述上夹部（71）、下夹部（72）、上滚轮（51）、下滚轮（52）的制造材料都为尼龙。


5.根据权利要求1或2所述的一种制备高纯铟丝的设备，其特征在于：所述铟棒直输装置（5）包括两个依次设置的滚轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，罗泽亮，
申请(专利权)人：恩施市致纯电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42