一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术供气原液储存设备领域，尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，包括：包括储存柜体、控制柜体和换气系统，所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部，换气系统设置在储存柜体的内部，所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮；所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器，所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接；采用本实用新型专利技术，一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，固定式脚轮保证了移动性与便携性，适应厂区环境，换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性；双开门双层放置空间，配合移动滑轨，也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。

A special liquid storage and supply movable device for electronic factory

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置
本技术供气原液储存设备领域，尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置。
技术介绍
在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气系统。在供气系统中原液瓶的存放是一个比较关键的问题，特别是液体供应，原液瓶的位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间的问题。且原液瓶也在工作过程中，万一发生故障，已发生泄露，一般也需要单独放置，或加装置换气系统，但一般价格昂贵，不便于移动。
技术实现思路
本技术目的是在于提供一种可存储原液瓶，并便于移动，内部气压可测，以及可通风换气特殊液体存储装置。一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，包括：包括储存柜体、控制柜体和换气系统，所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部，换气系统设置在储存柜体的内部，所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮；所述储存柜体分为上下两层柜体，设置上支撑平台和下支撑平台，并有开设有上柜门和下柜门，所述储存柜体的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨和下移动滑轨；所述上支撑平台与上移动滑轨滑动安装，下支撑平台与下移动滑轨滑动安装；所述上支撑平台上还设置有上固定夹，下支撑平台上还设置有下固定夹；所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器，所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接。进一步的，所述进风孔内设有滤尘网进一步的，所述上柜门上开设有观察窗。进一步的，所述控制柜体上还设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器与负压表连接。进一步的，所述上支撑平台和下支撑平台均设有拉手。进一步的，所述可固定脚轮包括旋钮固定座和万向脚轮。本技术的有益效果是：本技术包括控制柜体、储存柜体和换气系统，控制柜体为一般常用的工控机，是成熟的现有技术，用于控制电子场前端设备对储存柜内储存原液瓶内调用，储存柜体开设上柜门和下柜门的双开式设计，并设置有双支撑平台，可以同时满足，不同规格原液瓶的放置需求，上支撑平台和下支撑平台配合上移动滑轨和下移动滑轨，使得支撑平台可以便捷拉出，便于检修更换原液瓶；设置在储存柜体内部的换气系统，也可以保证原液瓶在意外泄露后，保证危险或有害气体不会泄露出装置外部，设置储存柜体内部空间顶部的负压传感器接通设置在控制柜体上的负压表，可以第一时间反馈装置内部原液瓶泄露引起的负压失衡，保证了装置的安全性；设置在储存柜体底部的固定脚轮可以保证装置的便携性，保证整个装置在厂区内自由行动与固定；采用本技术，一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，固定式脚轮保证了移动性与便携性，适应厂区环境，换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性；双开门双层放置空间，配合移动滑轨，也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。附图说明图1是本技术的斜式结构示意图；图2是本技术的侧视内部结构的示意图；图3是本技术的正视示意图；附图标记：1-控制柜体、101-负压表、102-蜂鸣器、2-储存柜体、201-上柜门、202-下柜门、203-观察窗、3-上移动滑轨、4-下移动滑轨、5-上支撑平台、6-下支撑平台、7-上固定夹、8-下固定夹、9-可固定脚轮、10-拉手、11-进风孔、12-风阀、13-负压传感器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参考图1-3，一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，包括储存柜体2、控制柜体1和换气系统，所述控制柜体1固定设置在储存柜体2的顶部，换气系统设置在储存柜体2的内部，所述储存柜体2的底部设置有可固定脚轮9；所述储存柜体2分为上下两层柜体，设置上支撑平台5和下支撑平台6，并有开设有上柜门201和下柜门202，所述储存柜体2的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨3和下移动滑轨4；所述上支撑平台5与上移动滑轨3滑动安装，下支撑平台6与下移动滑轨4滑动安装；所述上支撑平台5上还设置有上固定夹7，下支撑平台6上还设置有下固定夹8；所述储存柜体2的内部空间顶部还设置有负压传感器13，所述负压传感器13与控制柜体1上的负压表101连接。本技术包括控制柜体1、储存柜体2和换气系统，控制柜体1为一般常用的工控机，是成熟的现有技术，用于控制电子场前端设备对储存柜内2储存原液瓶内调用，储存柜体2开设上柜门201和下柜门202的双开式设计，并设置有双支撑平台，可以同时满足，不同规格原液瓶的放置需求，上支撑平台5和下支撑平台6配合上移动滑轨3和下移动滑轨4，使得支撑平台可以便捷拉出，便于检修更换原液瓶；设置在储存柜体2内部的换气系统，也可以保证原液瓶在意外泄露后，保证危险或有害气体不会泄露出装置外部，设置储存柜体2内部空间顶部的负压传感器13接通设置在控制柜体1上的负压表10，可以第一时间反馈装置内部原液瓶泄露引起的负压失衡，保证了装置的安全性；设置在储存柜体2底部的固定脚轮9可以保证装置的便携性，保证整个装置在厂区内自由行动与固定。采用本技术，一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，固定式脚轮9保证了移动性与便携性，适应厂区环境，换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性；双开门双层放置空间，配合移动滑轨，也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。参考图1-3，一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，进一步的，所述换气系统包括开设在下柜门202上的进风孔11和开设在储存柜体2内部空间顶部的风阀12；所述风阀12连通储存柜体2内部空间与外部废气处理装置；本实施例中，进一步的，所述进风孔11内设有滤尘网；滤尘网可以过滤掉灰尘以杂物，使得装置内部空间保持一定清洁。本实施例中，进一步的，所述上柜门上开设有观察窗203；通过观察窗203，可以迅速确定故障内部状况，便于工作人员安全快速确定装备内情况。本实施例中，进一步的，所述控制柜体1上还设置有蜂鸣器102，所述蜂鸣器102与负压表101连接；当负压表101的数据便宜一定范围后，蜂鸣器102可以进行报警，提醒工作人员检修与维护。本实施例中，进一步的，所述上支撑平台(5)和下支撑平台(6)均设有拉手10。本实施例中，进一步的，所述可固定脚轮9包括旋钮固定座92和万向脚轮91。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本专利技术精神作举例说明。本技术所属
的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本专利技术的精神所定义的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，其特征在于，包括储存柜体(2)、控制柜体(1)和换气系统，所述控制柜体(1)固定设置在储存柜体(2)的顶部，换气系统设置在储存柜体(2)的内部，所述储存柜体(2)的底部设置有可固定脚轮(9)；/n所述储存柜体(2)分为上下两层柜体，设置上支撑平台(5)和下支撑平台(6)，并有开设有上柜门(201)和下柜门(202)，所述储存柜体(2)的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨(3)和下移动滑轨(4)；所述上支撑平台(5)与上移动滑轨(3)滑动安装，下支撑平台(6)与下移动滑轨(4)滑动安装；所述上支撑平台(5)上还设置有上固定夹(7)，下支撑平台(6)上还设置有下固定夹(8)；/n所述储存柜体(2)的内部空间顶部还设置有负压传感器(13)，所述负压传感器(13)与控制柜体(1)上的负压表(101)连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，其特征在于，包括储存柜体(2)、控制柜体(1)和换气系统，所述控制柜体(1)固定设置在储存柜体(2)的顶部，换气系统设置在储存柜体(2)的内部，所述储存柜体(2)的底部设置有可固定脚轮(9)；
所述储存柜体(2)分为上下两层柜体，设置上支撑平台(5)和下支撑平台(6)，并有开设有上柜门(201)和下柜门(202)，所述储存柜体(2)的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨(3)和下移动滑轨(4)；所述上支撑平台(5)与上移动滑轨(3)滑动安装，下支撑平台(6)与下移动滑轨(4)滑动安装；所述上支撑平台(5)上还设置有上固定夹(7)，下支撑平台(6)上还设置有下固定夹(8)；
所述储存柜体(2)的内部空间顶部还设置有负压传感器(13)，所述负压传感器(13)与控制柜体(1)上的负压表(101)连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，其特征在于，所述换气系统包括开设在下柜门(202)上的进风孔(11)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘泽光，田明雨，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44