一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术供气原液储存设备领域，尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，包括：包括储存柜体、控制柜体和换气系统，所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部，换气系统设置在储存柜体的内部，所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮；所述储存柜体的内部空间顶部还设置有负压传感器，所述负压传感器与控制柜体上的负压表连接；采用本实用新型专利技术，一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，固定式脚轮保证了移动性与便携性，适应厂区环境，换气系统保证储存液体或原液瓶的安全性；双开门双层放置空间，配合移动滑轨，也使得原液瓶的更换与检修更加编写与快速。

A special liquid storage and supply movable device for electronic factory

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置
本技术供气原液储存设备领域，尤其涉及一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置。
技术介绍
在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气系统。在供气系统中原液瓶的存放是一个比较关键的问题，特别是液体供应，原液瓶的位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间的问题。且原液瓶也在工作过程中，万一发生故障，已发生泄露，一般也需要单独放置，或加装置换气系统，但一般价格昂贵，不便于移动。
技术实现思路
本技术目的是在于提供一种可存储原液瓶，并便于移动，内部气压可测，以及可通风换气特殊液体存储装置。一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，包括：包括储存柜体、控制柜体和换气系统，所述控制柜体固定设置在储存柜体的顶部，换气系统设置在储存柜体的内部，所述储存柜体的底部设置有可固定脚轮；所述储存柜体分为上下两层柜体，设置上支撑平台和下支撑平台，并有开设有上柜门和下柜门，所述储存柜体的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨和下移动滑轨；所述上支撑平台与上移动滑轨滑动安装，下支本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，其特征在于，包括储存柜体(2)、控制柜体(1)和换气系统，所述控制柜体(1)固定设置在储存柜体(2)的顶部，换气系统设置在储存柜体(2)的内部，所述储存柜体(2)的底部设置有可固定脚轮(9)；/n所述储存柜体(2)分为上下两层柜体，设置上支撑平台(5)和下支撑平台(6)，并有开设有上柜门(201)和下柜门(202)，所述储存柜体(2)的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨(3)和下移动滑轨(4)；所述上支撑平台(5)与上移动滑轨(3)滑动安装，下支撑平台(6)与下移动滑轨(4)滑动安装；所述上支撑平台(5)上还设置有上固定夹(7)，下支撑平台(6)上还设...

【技术特征摘要】
1.一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，其特征在于，包括储存柜体(2)、控制柜体(1)和换气系统，所述控制柜体(1)固定设置在储存柜体(2)的顶部，换气系统设置在储存柜体(2)的内部，所述储存柜体(2)的底部设置有可固定脚轮(9)；
所述储存柜体(2)分为上下两层柜体，设置上支撑平台(5)和下支撑平台(6)，并有开设有上柜门(201)和下柜门(202)，所述储存柜体(2)的柜体内部侧壁设置有上移动滑轨(3)和下移动滑轨(4)；所述上支撑平台(5)与上移动滑轨(3)滑动安装，下支撑平台(6)与下移动滑轨(4)滑动安装；所述上支撑平台(5)上还设置有上固定夹(7)，下支撑平台(6)上还设置有下固定夹(8)；
所述储存柜体(2)的内部空间顶部还设置有负压传感器(13)，所述负压传感器(13)与控制柜体(1)上的负压表(101)连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于电子厂的特殊液体存储供应可移动装置，其特征在于，所述换气系统包括开设在下柜门(202)上的进风孔(11)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘泽光，田明雨，
申请(专利权)人：深圳融科半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44