【技术实现步骤摘要】
辅助固定装置
本专利技术涉及半导体失效分析
，尤其涉及一种辅助固定装置。
技术介绍
纳米探针台是一种集成了扫描电子显微镜(SEM)的纳米探针系统，可对集成电路芯片中的器件进行纳米级失效分析，如电学特性参数测量、纳米级断路及短路失效定位、高低温特性量测等。对于常规测试，只需要将样品粘贴在普通的固定器上，通过样品传送杆送进检测腔室内部，随后进行测试。然而高低温测试需要特殊的样品台，以及带有螺纹的特殊固定器来放置样品，放样品时，首先要把样品台升到特定位置，然后手持固定器进行旋转数圈后将螺纹旋紧以将固定器固定在所述样品台上。然而在实际操作中发现，手持特殊固定器进行旋转的过程中存在较大风险，极易碰到价格昂贵的探针，造成针尖损坏，影响工作效率，增加测试成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种辅助固定装置，能够有效解决用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及...
【技术保护点】
1.一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。
2.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，所述样品固定器包括承载台及连接杆，所述承载台的上表面设置有一待测样品，所述连接杆的一端与所述承载台的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。
3.如权利要求2所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述固定半环的内壁上均设置有弧形凹槽，两个所述固定半环围合成一个整环时，两个固定半环上的弧形凹槽围合成一环形凹槽，所述承载台卡入所述环形凹槽内。
技术研发人员：赵新伟，凌翔，高金德，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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