一种真空样品转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空样品转移装置，属于扫描电镜真空配件技术领域。它包括传样部分、球阀、对接部分和样品测试部分，所述传样部分包括旋转滑块、密封板、传样筒、样品夹台、样品托、移动抓取机构、传样杆、固定筒。本实用新型专利技术隔绝了待测样品与大气的接触，避免了样品受空气污染或侵蚀，使样品一直处于真空环境；避免了每次测样都需要打开电镜舱门，节省了重新抽真空的时间，使得电镜一直处于真空状态下；提高了电镜的使用寿命，同时扫描电镜出故障几率，节约昂贵的维修费用，提高仪器的使用率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空样品转移装置
本技术涉及一种真空样品转移装置，属于扫描电镜真空配件

技术介绍
现在越来越多的电镜实验中需要将样品在真空或者惰性气体下进行转移，因为这些材料在大气中一旦暴露，就会受到空气中的水和氧气的影响，和样品表面的物质发生化学反应，导致无法对材料进行观察分析。
技术实现思路
本技术针对上述
技术介绍
中所提及的问题，而采取以下技术方案来实现：一种真空样品转移装置，包括传样部分、球阀、对接部分和样品测试部分，所述传样部分包括旋转滑块、密封板、传样筒、样品夹台、样品托、移动抓取机构、传样杆、固定筒，所述传样筒的一侧与球阀一端相连通，所述对接部分与球阀另一端相连通，所述样品测试部分位于对接部分的一侧，所述传样杆包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆一端和第二传样杆螺纹连接，所述传样筒套设在第一传样杆的一端，且所述传样筒的内部还设有用于对第一传样杆起密封作用的第一密封机构，所述移动抓取机构的一端与样品夹台通过旋转螺丝可拆卸式固定相连，所述样品托固定安装在样品夹台上，所述旋转滑块的一侧通过螺丝与密封板固定连接，所述旋转滑块的一端还设有用于旋转旋转滑块的传动机构，当所述传动机构对旋转滑块进行旋转时，此时所述密封板将传样筒与球阀连通处进行封堵和/或分离。作为优选实例，所述移动抓取机构包括移动抓取头、移动滑块、移动弹簧，所述移动抓取头的形状为台型状，所述第一传样杆的另一端螺纹套接在移动抓取头的一端，所述移动滑块和移动弹簧均分别位于移动抓取头的内部，且位于移动抓取头内部的第一传样杆与移动弹簧相固定，且所述移动弹簧还限制活动在台型状的移动抓取头的内部，所述移动滑块的一端与移动弹簧的另一端相固定，所述旋转螺丝的一端贯穿并伸入移动抓取头的内部，并与移动滑块的另一端相抵，所述旋转螺丝的另一端与样品夹台相固定，所述移动抓取头的一端设有与旋转螺丝相匹配的旋转孔，当所述样品夹台与移动抓取头相固定时，此时所述旋转螺丝还卡接在旋转孔内部。作为优选实例，所述旋转孔的形状为L型孔。作为优选实例，所述第一密封机构包括第一O圈压块、第一型密封圈和第一螺母，所述传样筒的内部还设有第一通道和第二通道，所述第一通道位于传样筒的内部，所述第二通道位于传样筒的一端端部，所述第一通道一端与第二通道一侧相连通，且所述第二通道和第一通道形成T型通道，所述第一圈压块和第一O型密封圈的个数均为多个，且多个所述第一圈压块和多个第一O型密封圈交替分布在第一通道的内部，多个所述第一圈压块和多个第一O型密封圈均套接在第一传样杆上，所述第一螺母活动套接在第一传样杆上，且所述第一螺母的一侧与第二通道内侧壁螺纹连接，并压紧第一圈压块的一端。作为优选实例，所述传动机构包括回位弹簧、固定筒、旋转轴、旋转手柄，所述固定筒固定套接在传样筒上，且所述固定筒内部通道与传样筒的第一通道相连通，所述旋转轴固定套接在固定筒的内部，且所述固定筒的内部还设有用于对旋转轴起密封作用的第二密封机构，并伸入传样筒的内部，且与旋转滑块相固定，所述旋转手柄与旋转轴的一端相固定，所述回位弹簧套接在旋转轴上，且所述回位弹簧的一端与旋转手柄相抵，所述回位弹簧的另一端与固定筒的侧壁上的第二密封机构相抵。作为优选实例，所述传样筒的内部还设有亚克力密封板，所述亚克力密封板还与固定筒螺纹连接，所述亚克力密封板的一端还螺纹连接有挂钩，当所述传样筒将传样筒与球阀连通处进行封堵时，此时所述密封板一端套设在亚克力密封板上，且所述亚克力密封板与传样筒连通处设有用于将传样筒和亚克力密封板与传样筒连通处的第二O型密封圈，且所述传样筒伸出亚克力密封板一侧设有用于将传样筒压紧在亚克力密封板上的螺母压块。作为优选实例，所述第二密封机构包括第二O圈压块、第三O型密封圈和第二螺母，所述固定筒内部通道分为第三通道和第四通道，所述第三通道位于固定筒的内部，所述第四通道位于固定筒的一端端部，所述第三通道一端与第四通道一侧相连通，且所述第三通道和第四通道也形成T型通道，所述第二圈压块和第三O型密封圈的个数均为多个，且多个所述第二圈压块和多个第三O型密封圈交替分布在第三通道的内部，多个所述第二圈压块和多个第三O型密封圈均套接在旋转轴上，所述第二螺母活动套接在旋转轴上，且所述第二螺母的一侧与第四通道内侧壁螺纹连接，并压紧第二圈压块的一端，所述回位弹簧的另一端与位于固定筒内部的第二螺母侧壁相抵。作为优选实例，所述密封板靠近亚克力密封板一侧开设有凹槽，所述凹槽内设有用于共同对密封板和亚克力密封板起密封作业的第四O型密封圈。作为优选实例，所述亚克力密封板上开设有螺纹孔，所述固定筒上设有外螺纹，所述固定筒上的外螺纹与亚克力密封板上的螺纹孔螺纹连接，所述固定筒外侧壁与螺纹孔连接处还设有用于对固定筒和螺纹孔起密封作用的第五O型密封圈。作为优选实例，所述样品测试部分包括放样台和扫描电镜固定底座，所述扫描电镜固定底座上通过螺丝固定扫描电镜，所述放样台通过顶丝与扫描电镜固定底座固定，且所述放样台上设有与样品夹台相匹配的夹台凸槽。本技术的有益效果是：本技术隔绝了待测样品与大气的接触，避免了样品受空气污染或侵蚀，使样品一直处于真空环境；避免了每次测样都需要打开电镜舱门，节省了重新抽真空的时间，使得电镜一直处于真空状态下；提高了电镜的使用寿命，同时扫描电镜出故障几率，节约昂贵的维修费用，提高仪器的使用率。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的A部分的结构示意图；图3为本技术中旋转滑块、传样筒、亚克力密封板、密封板、第二传样杆、把手球、固定筒、回位弹簧、旋转轴、旋转手柄之间的结构关系示意图；图4为图3中B-B部分的结构示意图；图5为本技术中亚克力密封板、固定筒、回位弹簧、第五O型密封圈、第二O圈压块、第二螺母、旋转轴、旋转手柄之间的结构关系剖视图；图6为本技术中密封板在传动机构辅助下，与传样筒和球阀连通处相分离时的结构示意图；图7为本技术中密封板在传动机构辅助下，与传样筒和球阀连通处相闭合时的结构示意图。图中：旋转滑块1、传样筒2、密封板3、第四O型密封圈4、第二O型密封圈5、亚克力密封板6、挂钩7、螺母压块8、样品夹台9、样品托10、旋转螺丝11、移动抓取头12、移动滑块13、移动弹簧14、第一传样杆15、第一O圈压块16、第一0型密封圈17、第一螺母18、第二传样杆19、把手球20、回位弹簧21、第五O型密封圈22、第三O型密封圈23、固定筒24、第二O圈压块25、第二螺母26、旋转轴27、旋转手柄28、扫描电镜固定底座29、括放样台30、对接部分31、球阀32、旋转孔33、第二通道34。具体实施方式为了对本技术的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1-7所示，一种真空样品转移装置，包括传样部分、球阀32、对接部分31和样品测试部分，传样部分包括旋转滑块1、密封板3、传样筒2、样品夹台9、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空样品转移装置，包括传样部分、球阀(32)、对接部分(31)和样品测试部分，其特征在于：所述传样部分包括旋转滑块(1)、密封板(3)、传样筒(2)、样品夹台(9)、样品托(10)、移动抓取机构、传样杆、固定筒(24)，所述传样筒(2)的一侧与球阀(32)一端相连通，所述对接部分(31)与球阀另一端相连通，所述样品测试部分位于对接部分(31)的一侧，所述传样杆包括第一传样杆(15)和第二传样杆(19)，所述第一传样杆(15)一端和第二传样杆(19)螺纹连接，所述传样筒(2)套设在第一传样杆(15)的一端，且所述传样筒(2)的内部还设有用于对第一传样杆(15)起密封作用的第一密封机构，所述移动抓取机构的一端与样品夹台(9)通过旋转螺丝(11)可拆卸式固定相连，所述样品托(10)固定安装在样品夹台(9)上，所述旋转滑块(1)的一侧通过螺丝与密封板(3)固定连接，所述旋转滑块(1)的一端还设有用于旋转旋转滑块(1)的传动机构，当所述传动机构对旋转滑块(1)进行旋转时，此时所述密封板(3)将传样筒(2)与球阀(32)连通处进行封堵和/或分离。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空样品转移装置，包括传样部分、球阀(32)、对接部分(31)和样品测试部分，其特征在于：所述传样部分包括旋转滑块(1)、密封板(3)、传样筒(2)、样品夹台(9)、样品托(10)、移动抓取机构、传样杆、固定筒(24)，所述传样筒(2)的一侧与球阀(32)一端相连通，所述对接部分(31)与球阀另一端相连通，所述样品测试部分位于对接部分(31)的一侧，所述传样杆包括第一传样杆(15)和第二传样杆(19)，所述第一传样杆(15)一端和第二传样杆(19)螺纹连接，所述传样筒(2)套设在第一传样杆(15)的一端，且所述传样筒(2)的内部还设有用于对第一传样杆(15)起密封作用的第一密封机构，所述移动抓取机构的一端与样品夹台(9)通过旋转螺丝(11)可拆卸式固定相连，所述样品托(10)固定安装在样品夹台(9)上，所述旋转滑块(1)的一侧通过螺丝与密封板(3)固定连接，所述旋转滑块(1)的一端还设有用于旋转旋转滑块(1)的传动机构，当所述传动机构对旋转滑块(1)进行旋转时，此时所述密封板(3)将传样筒(2)与球阀(32)连通处进行封堵和/或分离。


2.根据权利要求1所述的一种真空样品转移装置，其特征在于：所述移动抓取机构包括移动抓取头(12)、移动滑块(13)、移动弹簧(14)，所述移动抓取头(12)的形状为台型状，所述第一传样杆(15)的另一端螺纹套接在移动抓取头(12)的一端，所述移动滑块(13)和移动弹簧(14)均分别位于移动抓取头(12)的内部，且位于移动抓取头(12)内部的第一传样杆(15)与移动弹簧(14)相固定，且所述移动弹簧(14)还限制活动在台型状的移动抓取头(12)的内部，所述移动滑块(13)的一端与移动弹簧(14)的另一端相固定，所述旋转螺丝(11)的一端贯穿并伸入移动抓取头(12)的内部，并与移动滑块(13)的另一端相抵，所述旋转螺丝(11)的另一端与样品夹台(9)相固定，所述移动抓取头(12)的一端设有与旋转螺丝(11)相匹配的旋转孔(33)，当所述样品夹台(9)与移动抓取头(12)相固定时，此时所述旋转螺丝(11)还卡接在旋转孔(33)内部。


3.根据权利要求2所述的一种真空样品转移装置，其特征在于：所述旋转孔(33)的形状为L型孔。


4.根据权利要求1所述的一种真空样品转移装置，其特征在于：所述第一密封机构包括第一O圈压块(16)、第一0型密封圈(17)和第一螺母(18)，所述传样筒(2)的内部还设有第一通道和第二通道(34)，所述第一通道位于传样筒(2)的内部，所述第二通道(34)位于传样筒(2)的一端端部，所述第一通道一端与第二通道(34)一侧相连通，且所述第二通道(34)和第一通道形成T型通道，所述第一0圈压块(16)和第一O型密封圈(17)的个数均为多个，且多个所述第一0圈压块(16)和多个第一O型密封圈(17)交替分布在第一通道的内部，多个所述第一0圈压块(16)和多个第一O型密封圈(17)均套接在第一传样杆(15)上，所述第一螺母(18)活动套接在第一传样杆(15)上，且所述第一螺母(18)的一侧与第二通道(34)内侧壁螺纹连接，并压紧第一0圈压块(16)的一端。


5.根据权利要求1所述的一种真空样品转移装置，其特征在于：所述传动机构包括回位弹簧(21)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：张政，陈栋，郭云飞，黄勇，衡潘，
申请(专利权)人：上海微纳国际贸易有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31