一种高真空样品杆储存装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高真空样品杆储存装置，属于透射电镜(TEM)真空配件技术领域。它包括集成箱，所述集成箱内部一侧设有分子泵，所述分子泵的上端抽气口通过滚花螺丝连通有底座。本实用新型专利技术大大降低了样品杆与大气环境的接触时间，减少样品杆受污染或侵蚀，使样品杆或样品保持在清洁的工作真空环境，进而缩短透射电镜预抽时间，减少样品杆对透射电镜的污染，提高样品杆使用寿命，同时减少电镜透射电镜出故障几率，节约昂贵的维修费用，提高仪器的使用率，另外该装置操作方便、适用性广、人机界面简单易懂、另外采用了蝶阀设计的结构，差分抽气结构可以针对不同的样品杆进行加热和降温实验，各个由储存仓中间件和中间连接件所形成的整体相互独立拆装。

【技术实现步骤摘要】
一种高真空样品杆储存装置
本技术涉及一种高真空样品杆储存装置，属于透射电镜(TEM)真空配件

技术介绍
自上世纪三十年代透射电子显微镜专利技术以来，特别是近二十年，透射电子显微学技术在以球差矫正技术为代表的空间分辨率、单色光源为代表的能量分辨率，飞秒激光及高速CCD相机为代表的时间分辨率等领域都取得了巨大进步，为物理学、材料学、化学等领域的进步和发展做出了巨大贡献。透射电子显微镜(TEM)是研究物质微观结构的现代化大型仪器设备，在物理、化学、材料科学及生命科学等领域都有着广泛的应用。透射电子显微镜的主体可以分为三个部分：电子光学部分，真空部分和电子光学部分。电子光学部分主要包括照明系统，成像系统，观察和记录系统，真空部分包括各种真空泵及显示仪表，电子学部分包括各种光源、安全系统和控制系统。电子光学部分是电子显微镜的核心部分，真空和电子学部分是辅助系统。透射电子显微镜中，凡是电子运行的区域都要求有尽可能高的真空度；反之，则会影响透射电子显微镜的正常工作。若没有高的真空度，高速电子与气体分子相遇并相互作用会导致随机电子散射，引起“炫光”和削弱像的衬度；电子枪还会发生电离和防电，导致电子束不稳定和闪烁；残余气体会腐蚀炽热的灯丝，缩短灯丝的使用寿命；残余气体会严重污染样品，影响图像的拍摄。因此透射电镜始终要保持在高真空状态。透射电镜电子光学系统在长期的工作中十分容易受到污染,物镜是透射电镜中最为精密的部件；电镜观察时,极易从外界带入污染物或易分解的样品本身也会成为污染源，从而污染物镜。物镜污染将直接影响电镜的分辨率。若物镜光阑或极靴上有污染物，透射电镜可能会出现分辨率下降、图像漂移等故障。角台作为透射电镜与外界连接的部件，除机器老化或测角台本身质量问题外，导致测角台故障的主要原因是样品杆前期处理不够，以及进样、取样操作不当；进样或取样时旋转样品杆困难主要与测角台铜管变形有关，因进样和取样操作样品杆带着铜管一起转动，如果用力不均会使样品杆在垂直方向上碰到铜管，长时间会导致铜管在开口处变形，增大钢质套管与铜管间的摩擦而导致样品杆旋转困难；其次插拔样品杆时铜管很涩，进样取样都较困难也都与铜管上附着有脏物有关。若样品杆/样品进入透射电镜前未经清洁干燥处理，使进入镜筒的样品杆/样品上有污染物，其中一些污染物在取出样品杆的过程中会被镜筒中的气体吹出镜筒并吸附在铜管内壁，或是通过铜管的“─”形缺口进入到钢质套管内壁与铜管外壁之间。长时间会导致铜管内外壁上污染物越积越多，会造成样品杆与铜管之间的摩擦增大，使样品杆插拔不易、旋转困难。如果用蘸有无水乙醇的无毛纸擦拭铜管内壁，就会发现无毛纸上沾了许多黑色的脏东西。拆下铜管，会发现铜管“─”形缺口外壁也有一层黑色的脏东西。这些脏东西都是取样时被镜筒内氮气吹出并附着在铜管内外壁上的污染物。透射电镜维护与故障处理专业性很强，一旦透射电镜出现故障，要请专职人员来维修，不仅需要预约和等待时间，而且仪器使用单位需要支付维修费用，降低仪器的利用率。样品杆是透射电镜最重要的组件之一，起到承载样品的作用；对于一些特制样品杆上，它还兼具对样品进行加热、通电、施加应力等功能。样品杆是否清洁以及本身的储气状态将直接影响透射电镜真空系统的清洁程度以及预抽真空的时间，一旦透射电镜真空系统被污染，透射电镜真空系统中零部件如物镜、物镜光阑、极靴、测角台等将会受到不同程度的污染，影响透射电镜的正常使用。若样品杆/暴露在大气中其表面普遍会受到污染，不仅影响样品杆本身的寿命，还对透射电镜真空系统造成破坏，污染透射电镜零部件；同时，若长期暴露在大气中也会使样品杆储存一定的气体，从而影响透射电镜预抽真空。因此发展一种使用方便，真空度高，抽真空速度快、能够配合透射电镜样品杆使用的样品杆存储装置，使样品杆/样品保持在清洁的真空环境，将缩短透射电镜预抽时间，减少样品杆对透射电镜的污染，提高样品杆使用寿命提供了有利工具。
技术实现思路
本技术针对上述
技术介绍
所提及的问题，而采取以下技术方案来实现：一种高真空样品杆储存装置，包括集成箱，所述集成箱内部一侧设有分子泵，所述分子泵的上端抽气口通过滚花螺丝连通有底座，所述底座通过顶丝固定在集成箱上，所述底座的顶部还分别叠加设置有多个储存仓中间件和中间连接件，其中位于底座顶部最高处的中间连接件上设有储存仓顶盖，其中一个所述储存仓中间件通过螺丝固定安装有样品杆储存件，所述样品杆储存件一端还设有用于堵塞样品储存件的堵塞杆，当堵塞杆从样品杆储存件上取出时，此时样品杆储存件内部可插入样品杆，所述底座的一侧通过螺丝固定安装有差分阀，所述底座上还通过卡箍固定连接有真空计量规，所述底座、多个储存仓中间件、多个中间连接件、样品杆储存件、样品杆、差分阀、真空计量规、储存仓顶盖内部均相连通，所述中间连接件的内部还设有蝶阀，所述蝶阀包括蝶阀旋转轴、阀芯和蝶阀手柄，所述蝶阀旋转轴与中间连接件二者转动连接，所述蝶阀旋转轴上通过螺丝与阀芯固定连接，所述蝶阀旋转轴的上还通过机米顶丝与蝶阀手柄相连接，所述蝶阀手柄的一端伸出中间连接件。作为优选实例，所述底座的顶部叠加设置存多个储存仓中间件和多个中间连接件的顺序为所述底座的顶部通过贰号顶紧螺丝与其中一个储存仓中间件相紧固，其中一个储存仓中间件的顶部通过壹号顶紧螺丝紧固有其中一个中间连接件，其中一个所述中间连接件的顶部还通过壹号顶紧螺丝紧固有另一个储存仓中间件，所述储存仓中间件与中间连接件连接后形成的整体设为一组，且最多可设有五组，最后一组中的所述中间连接件的顶部通过壹号顶紧螺丝与储存仓顶盖相紧固。作为优选实例，所述底座和储存仓中间件之间还设有用于对底座和储存仓中间件二者起密封作用的三号密封圈，每个所述储存仓中间件和每个中间连接件之间也设有用于对储存仓中间件和中间连接件起密封作用的三号密封圈。作为优选实例，所述蝶阀旋转轴与中间连接件之间还设有用于对蝶阀旋转轴与中间连接件二者起密封作用的两个壹号密封圈。作为优选实例，所述蝶阀手柄通过限位销在中间连接件上进行90度位置控制。作为优选实例，所述中间连接件外壁上标注有“开”和“关”标识，且蝶阀手柄设在“开”和“关”标识范围内，当蝶阀手柄与“关”标识对应时，此时蝶阀关闭，所述蝶阀通过贰号密封圈与中间连接件的内部进行密封。作为优选实例，所述差分阀上还分别连通设有第一差分口和第二差分口。作为优选实例，所述储存仓顶盖还通过螺丝紧固有玻璃管固定件，且储存仓顶盖和玻璃管固定件之间还设有共同对储存仓顶盖和玻璃管固定件起密封作用的密封圈，所述玻璃管固定件还通过真空密封胶粘接有玻璃试管，所述玻璃试管与玻璃管固定件内部与储存仓顶盖三者相连通。作为优选实例，所述集成箱的内部还设有对分子泵起到散热作用的散热风扇，所述集成箱的外壁上还设有用于对整个装置读数和控制都起到显示作用的显示屏，所述集成箱的内部还设有对分子泵起到降低噪音和降低功率作用的变频隔膜泵，所述变频隔膜泵输入端与分子泵输出端相连通，所述变频隔膜泵输出端在集成箱上排空设置，所述集成箱上还本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高真空样品杆储存装置，包括集成箱，其特征在于：所述集成箱内部一侧设有分子泵（3），所述分子泵（3）的上端抽气口通过滚花螺丝（11）连通有底座（21），所述底座（21）通过顶丝固定在集成箱上，所述底座（21）的顶部还分别叠加设置有多个储存仓中间件（9）和中间连接件（22），其中位于底座（21）顶部最高处的中间连接件（22）上设有储存仓顶盖（8），其中一个所述储存仓中间件（9）通过螺丝固定安装有样品杆储存件（14），所述样品杆储存件（14）一端还设有用于堵塞样品储存件（14）的堵塞杆（6），当堵塞杆（6）从样品杆储存件（14）上取出时，此时样品杆储存件（14）内部可插入样品杆（5），所述底座（21）的一侧通过螺丝固定安装有差分阀（10），所述底座（21）上还通过卡箍固定连接有真空计量规（18），所述底座（21）、多个储存仓中间件（9）、多个中间连接件（22）、样品杆储存件（14）、样品杆（5）、差分阀（10）、真空计量规（18）、储存仓顶盖（8）内部均相连通，所述中间连接件（22）的内部还设有蝶阀，所述蝶阀包括蝶阀旋转轴（26）、阀芯（23）和蝶阀手柄（7），所述蝶阀旋转轴（26）与中间连接件（22）二者转动连接，所述蝶阀旋转轴（26）上通过螺丝与阀芯（23）固定连接，所述蝶阀旋转轴（26）的上还通过机米顶丝与蝶阀手柄（7）相连接，所述蝶阀手柄（7）的一端伸出中间连接件（22）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高真空样品杆储存装置，包括集成箱，其特征在于：所述集成箱内部一侧设有分子泵（3），所述分子泵（3）的上端抽气口通过滚花螺丝（11）连通有底座（21），所述底座（21）通过顶丝固定在集成箱上，所述底座（21）的顶部还分别叠加设置有多个储存仓中间件（9）和中间连接件（22），其中位于底座（21）顶部最高处的中间连接件（22）上设有储存仓顶盖（8），其中一个所述储存仓中间件（9）通过螺丝固定安装有样品杆储存件（14），所述样品杆储存件（14）一端还设有用于堵塞样品储存件（14）的堵塞杆（6），当堵塞杆（6）从样品杆储存件（14）上取出时，此时样品杆储存件（14）内部可插入样品杆（5），所述底座（21）的一侧通过螺丝固定安装有差分阀（10），所述底座（21）上还通过卡箍固定连接有真空计量规（18），所述底座（21）、多个储存仓中间件（9）、多个中间连接件（22）、样品杆储存件（14）、样品杆（5）、差分阀（10）、真空计量规（18）、储存仓顶盖（8）内部均相连通，所述中间连接件（22）的内部还设有蝶阀，所述蝶阀包括蝶阀旋转轴（26）、阀芯（23）和蝶阀手柄（7），所述蝶阀旋转轴（26）与中间连接件（22）二者转动连接，所述蝶阀旋转轴（26）上通过螺丝与阀芯（23）固定连接，所述蝶阀旋转轴（26）的上还通过机米顶丝与蝶阀手柄（7）相连接，所述蝶阀手柄（7）的一端伸出中间连接件（22）。


2.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置，其特征在于：所述底座（21）的顶部叠加设置存多个储存仓中间件（9）和多个中间连接件（22）的顺序为所述底座（21）的顶部通过贰号顶紧螺丝（27）与其中一个储存仓中间件（9）相紧固，其中一个储存仓中间件（9）的顶部通过壹号顶紧螺丝（17）紧固有其中一个中间连接件（22），其中一个所述中间连接件（22）的顶部还通过壹号顶紧螺丝（17）紧固有另一个储存仓中间件（9），
所述储存仓中间件（9）与中间连接件（22）连接后形成的整体设为一组，且最多可设有五组，最后一组中的所述中间连接件（22）的顶部通过壹号顶紧螺丝（17）与储存仓顶盖（8）相紧固。


3.根据权利要求1所述的一种高真空样品杆储存装置，其特征在于：所述底座（21）和储存仓中间件（9）之间还设有用于对底...

【专利技术属性】
技术研发人员：张政，陈栋，郭云飞，黄勇，衡潘，
申请(专利权)人：上海微纳国际贸易有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31