本发明专利技术公开了一种高真空样品储存装置，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括主室，所述主室一侧连通有真空规，所述主室的顶部连通有对接室。连通机构的设计能够保证各个样品仓之间的相互独立，真空环境互不干扰，极大程度上提高了样品的纯净度；装卸样品仓时，由于真空模块与外界隔绝，所以不用反复启停，进而大大提高了效率；内筒与外筒之间的互锁机构保障了样品仓与对接室及连通机构的安全连接，避免了误操作所带来的影响；装样操作简单、方便。
A high vacuum sample storage device
【技术实现步骤摘要】
一种高真空样品储存装置
本专利技术涉及一种高真空样品储存装置，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件
技术介绍
半导体及电镜行业中的样品需要保持无污染状态，才能最大程度的保证实验的科学性及准确性，目前市场上针对样品储存主要有两种，一种是放在干燥箱，只能少量避免水汽对样品的污染；另外一种是放在真空环境下，极大程度上保护了样品不受空气污染，目前国外有此类样品托的储存方案，但是各储存仓联通，取样和放样的过程会使其他储存仓同时暴露在大气环境下，这样就会影响其他样品的储存效果。
技术实现思路
本专利技术针对上述背景所提及的问题，而采取以下技术方案来实现：一种高真空样品储存装置，包括主室，所述主室一侧连通有真空规，所述主室的顶部连通有对接室，所述对接室的一端通过连通机构连通有样品仓，所述样品仓的内部设有铜网装夹机构，所述连通机构包括外筒、中筒和内筒，所述对接室一端与外筒相连通，所述中筒的一端套设在外筒另一端内部，且所述中筒伸入外筒的一端侧壁上开设有多个开口，且所述中筒伸入外筒一端端部密封设置，所述中筒上固定套设有第一O型圈，所述内筒的一端通过互锁机构套设在中筒的另一端内部，所述内筒另一端通过头部螺纹与样品仓相连通。作为优选实例，所述样品仓包括壳体、盖板和视窗，所述盖板和视窗利用无影胶粘连，壳体有螺纹孔与内筒头部螺纹相配合，壳体和内筒对接处起密封作用的是第二O型圈，所述壳体和盖板之间连接处设有对所述壳体和盖板之间连接处起密封作用的第三O型圈，所述样品仓上的壳体通过定位销与铜网装夹机构固定连接。作为优选实例，所述互锁机构包括定位环，所述定位环通过顶紧螺丝与中筒相固定，所述内筒上设有凸起，所述定位环上设有与凸起相匹配的凹槽，当所述内筒上的凸起与定位环凹槽相卡接，当所述内筒旋转°时，所述内筒与定位环呈锁死状态，所述定位环上还通过圆柱销转动连接有限位条。作为优选实例，当所述限位条在圆柱销上相对于定位环转动到度时，限位条在重力作用下靠在中筒的外圆周面，一直保持度状态，此时所述中筒上的多个气孔与对接室不连通，且所述第一O型圈密封在中筒与外筒连通处。作为优选实例，当所述限位条在圆柱销上相对于定位环转动到度时，推动样品仓，由于内筒和定位环接触，连同中筒运动，直到外筒和限位条的一侧相抵，此时所述中筒上的多个气孔均与对接室相连通，且所述第一O型圈密封中筒与对接室连通处。作为优选实例，所述主室的底部与外部真空泵相连通，且所述主室上设有用于外部真空泵和主室二者之间通断的一级阀门。作为优选实例，所述主室上还设有用于主室与对接室二者之间通断的二级阀门。作为优选实例，所述对接室的形状为六边形，所述样品仓的个数为六个，六个所述样品仓的一端分别通过六个连通机构与对接室相连通，每个所述样品仓的内部设有四个铜网装夹机构。作为优选实例，所述对接室与外筒二者之间连通处设有对对接室和外筒二者连通处起密封作用的第四O型圈，所述外筒与中筒二者之间连通处还设有对外筒与中筒二者之间连通处起密封作用的第五O型圈，所述中筒和内筒二者之间连通处设有对中筒和内筒二者之间连通处起密封作用的第六O型圈。作为优选实例，中筒还设有槽口，槽口处配合设有波珠螺丝。本专利技术的有益效果是：1、连通机构的设计能够保证各个样品仓之间的相互独立，真空环境互不干扰，极大程度上提高了样品的纯净度；2、装卸样品仓时，由于真空模块与外界隔绝，所以不用反复启停，进而大大提高了效率；3、内筒与外筒之间的互锁机构保障了样品仓与对接室及连通机构的安全连接，避免了误操作所带来的影响（如误拔样品仓，连通机构会直接通过中筒的气孔直连大气，对外部真空泵等器件造成损坏）；4、装样操作简单、方便。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的俯视图；图3为本专利技术中样品仓、连通机构和对接室所形成的整体在限位条相对于中筒呈竖直状态时且从上往下竖直剖的剖视图；图4为本专利技术中样品仓、连通机构和对接室所形成的整体在限位条相对于中筒呈水平状态时且从上往下竖直剖的剖视图；图5为图3和/或图4中A部分的结构示意图；图6为本专利技术中定位环、气孔、内筒、限位条、圆柱销、顶紧螺丝在中筒上的结构示意图；图7为本专利技术中铜网装夹机构的结构示意图；图8为图7中从上到下竖直剖的剖视图。图中：铜网装夹机构1、样品仓2、滚花螺丝3、对接室4、二级阀门5、一级阀门6、主室7、真空规8、第四O型圈9、第一O型圈10、外筒11、中筒12、第五O型圈13、定位板14、右夹紧块15、第六O型圈16、铜网17、限位条18、圆柱销19、定位环20、内筒21、第二O型圈22、左夹紧块23、壳体24、盖板25、视窗26、顶紧螺丝27、弹簧28、定位销29、开口气孔30、连通机构31、波珠螺丝32、第三O型圈33。具体实施方式为了对本专利技术的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本专利技术。如图1-8所示，一种高真空样品储存装置，包括主室7，主室7一侧连通有真空规8，主室7的顶部连通有对接室4，对接室4的一端通过连通机构31连通有样品仓2，样品仓2的内部设有铜网装夹机构1，连通机构31包括外筒11、中筒12和内筒21，对接室4一端与外筒11相连通，中筒12的一端套设在外筒11另一端内部，且中筒12伸入外筒11的一端侧壁上开设有多个开口30，且中筒12伸入外筒11一端端部密封设置，中筒12上固定套设有第一O型圈10，内筒21的一端通过互锁机构套设在中筒12的另一端内部，内筒21另一端通过头部螺纹与样品仓2相连通。样品仓2包括壳体24、盖板25和视窗26，盖板25和视窗26利用无影胶粘连，壳体24有螺纹孔与内筒21头部螺纹相配合，壳体24和内筒21对接处起密封作用的是第二O型圈22，壳体24和盖板25之间连接处设有对壳体24和盖板25之间连接处起密封作用的第三O型圈33，样品仓2上的壳体24通过定位销29与铜网装夹机构1固定连接。互锁机构包括定位环20，定位环20通过顶紧螺丝27与中筒12相固定，内筒21上设有凸起，定位环20上设有与凸起相匹配的凹槽，当内筒21上的凸起与定位环20凹槽相卡接，当内筒21旋转30°时，内筒21与定位环20呈锁死状态，定位环21上还通过圆柱销19转动连接有限位条18。当限位条18在圆柱销19上相对于定位环20转动到0度时，限位条18在重力作用下靠在中筒12的外圆周面，一直保持0度状态，此时中筒12上的多个气孔30与对接室4不连通，且第一O型圈10密封在中筒12与外筒11连通处。当限位条18在圆柱销19上相对于定位环20转动到90度时，推动样品仓2，由于内筒21和定位环20接触，连同中筒12运动，直到外筒11和限位条18的一侧相抵，此时中筒12上的多个气孔30均与对接室4相连通，且第一O型圈10密封中筒12与对接室4连通处。主室7的底部与外部真空泵相连通，且主室7上设有用于外本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种高真空样品储存装置，包括主室（7），其特征在于：所述主室（7）一侧连通有真空规（8），所述主室（7）的顶部连通有对接室（4），所述对接室（4）的一端通过连通机构（31）连通有样品仓（2），所述样品仓（2）的内部设有铜网装夹机构（1），所述连通机构（31）包括外筒（11）、中筒（12）和内筒（21），所述对接室（4）一端与外筒（11）相连通，所述中筒（12）的一端套设在外筒（11）另一端内部，且所述中筒（12）伸入外筒（11）的一端侧壁上开设有多个开口（30），且所述中筒（12）伸入外筒（11）一端端部密封设置，所述中筒（12）上固定套设有第一O型圈（10），所述内筒（21）的一端通过互锁机构套设在中筒（12）的另一端内部，所述内筒（21）另一端通过头部螺纹与样品仓（2）相连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种高真空样品储存装置，包括主室（7），其特征在于：所述主室（7）一侧连通有真空规（8），所述主室（7）的顶部连通有对接室（4），所述对接室（4）的一端通过连通机构（31）连通有样品仓（2），所述样品仓（2）的内部设有铜网装夹机构（1），所述连通机构（31）包括外筒（11）、中筒（12）和内筒（21），所述对接室（4）一端与外筒（11）相连通，所述中筒（12）的一端套设在外筒（11）另一端内部，且所述中筒（12）伸入外筒（11）的一端侧壁上开设有多个开口（30），且所述中筒（12）伸入外筒（11）一端端部密封设置，所述中筒（12）上固定套设有第一O型圈（10），所述内筒（21）的一端通过互锁机构套设在中筒（12）的另一端内部，所述内筒（21）另一端通过头部螺纹与样品仓（2）相连通。
2.根据权利要求1所述的一种高真空样品储存装置，其特征在于：所述样品仓（2）包括壳体（24）、盖板（25）和视窗（26），所述盖板（25）和视窗（26）利用无影胶粘连，壳体（24）有螺纹孔与内筒（21）头部螺纹相配合，壳体（24）和内筒（21）对接处起密封作用的是第二O型圈（22），所述壳体（24）和盖板（25）之间连接处设有对所述壳体（24）和盖板（25）之间连接处起密封作用的第三O型圈（33），所述样品仓（2）上的壳体（24）通过定位销（29）与铜网装夹机构（1）固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种高真空样品储存装置，其特征在于：所述互锁机构包括定位环（20），所述定位环（20）通过顶紧螺丝（27）与中筒（12）相固定，所述内筒（21）上设有凸起，所述定位环（20）上设有与凸起相匹配的凹槽，当所述内筒（21）上的凸起与定位环（20）凹槽相卡接，当所述内筒（21）旋转30°时，所述内筒（21）与定位环（20）呈锁死状态，所述定位环（21）上还通过圆柱销（19）转动连接有限位条（18）。
4.根据权利要求3所述的一种高真空样品储存装置，其特征在于：当所述限位条（...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈栋，张政，郭云飞，黄勇，衡潘，
申请(专利权)人：上海微纳国际贸易有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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