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辅助固定装置制造方法及图纸
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文档序号:26844233
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本发明提供了一种辅助固定装置,用于将一样品固定器固定在纳米探针台上,包括两个夹持臂及两个固定半环,两个所述夹持臂的一端相互连接,两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接,两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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