【技术实现步骤摘要】
分子泵监控系统及分子泵监控方法
本专利技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种分子泵监控系统及分子泵监控方法。
技术介绍
分子泵被广泛应用与半导体机台中，用于对机台进行抽空处理。在机台对晶圆进行处理的过程中，会生成聚合物，聚合物也会在分子泵内部沉积，沉积量较大的情况下，会造成分子泵发生碎泵。现有技术中，通常是根据经验或者厂家设定的固定的维护条件，定期对分子泵进行维护和更换。随着集成电路制造工艺进入更窄的线宽，对于工艺气体的流量和半导体材料有了新的要求。以刻蚀工艺为例，刻蚀生成的聚合物数量较从前更多，挥发性更差，造成分子泵内部聚合物沉积更快，无法用之前的经验来判断分子泵的寿命及更换周期，容易在未知情况下发生机台异常造成晶圆及设备损伤。因此，如何实现对分子泵的智能监控，避免分子泵异常是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种分子泵监控系统及分子泵监控方法，实现对分子泵的实时智能监控。为解决上述问题，本专利技术的技术方案提供一种分子泵监控系统，包括...
【技术保护点】
1.一种分子泵监控系统，其特征在于，包括：/n分子泵；/n控制器，所述控制器用于获取所述分子泵的扰动信息；/n信号处理模块，与所述控制器连接，用于处理所述控制器获取的扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析。/n
【技术特征摘要】
1.一种分子泵监控系统，其特征在于，包括：
分子泵；
控制器，所述控制器用于获取所述分子泵的扰动信息；
信号处理模块，与所述控制器连接，用于处理所述控制器获取的扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析。
2.根据权利要求1所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块包括讯号转换单元，所述讯号转换单元连接至所述控制器，用于将所述扰动信息进行讯号转换。
3.根据权利要求2所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块还包括：转发器和服务器，所述转发器连接至所述讯号转换单元和所述服务器，用于转发所述讯号转换单元生成的转换后的扰动信息至所述服务器。
4.根据权利要求3所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块还包括：数据分析显示单元，连接至所述服务器，用于分析显示所述服务器内存储的扰动信息。
5.根据权利要求3所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块还包括：预警单元，所述预警单元连接所述数据分析显示模块，当所述扰动信息超过所述数据分析显示模块中设定的上下限时发出预警信息。
6.根据权利要求1所述的分子泵监控系统，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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