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一种分子泵监控系统及一种分子泵监控方法，所述分子泵监控系统包括：分子泵；控制器，所述控制器用于获取分子泵的扰动信息；信号处理模块，与所述控制器连接，用于处理所述控制器获取的扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析。所述分子泵监控系统能够实现...
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