测量具有显微成象光路的光学仪器曝光时间的方法和装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术方法，一配置在测量光路（Ｍ）上的具有多个分立测量光阑（２，３）的测量光阑板（４）以及一配置在入射光路（Ｅ）上位于标线板（７）附近的具有多个分立遮蔽图形（１２，１３）的遮蔽板（１１）同步运行，因而在测量光路（Ｍ）上的测量光阑（２或３）经入射光路（Ｅ）借助配属的遮蔽图形（１２或１３）和具有测量光阑（２，３）轮廓的标线板（７），同时在观察光路（Ｂ）上的目镜中间象面（１９）上显示出。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测量具有显微成象光路、观察光路、测量光路和入射光路的光学仪器的曝光时间的方法及装置。在测量显微摄影装置、显微镜室或光学测量装置的曝光时间的大多数情况是，中间象光线被分配给观察光路和测量光路。此外只取视场的一定的截面用于测量。已知的曝光测量方法或装置分为3个系统组；它们分别在附图说明图1-3中示出。在图1中示出了一成象光路A和在其延伸线上的测量光路M，在测量光路上有一预定中心的固定的测量光阑40。由偏转棱镜41分出一观察光路B，观察光路在所画的位置上有一目镜-中间象面19。测量光阑40在一个与面19共轭的面上。在19处有一经精确校准的标线板，该标线板在中间象上标定了测量光阑图象的位置。在简单的与显微镜配套的照相机上采用了这种已知的工作原理。其缺点在于，只能采用固定的测量光阑。另外在标本的阴影处看不到标线板42的标线图象。尽管根据该已知的入射原理也可以采用多个测量光阑，但选用的测量光阑在目镜观测中不能显示出来。图2示出了另外一种已知的方案，根据此方案，一个位置可变和尺寸可变的测量光阑43通过光源L、翻转镜44、具有部分透明面39的棱镜系统P和三棱镜T的反射，射到目镜-中同象面19上。这种已知的配置显示出了一种细节一测量光阑瞬间状态的形式和位置。例如在后反射镜一双筒式中已实现了这种工作原理。附加摄影机的位置可变的测量光阑或光学测量计的尺寸可变的测量光阑可以被后反射。这种配置的缺点特别在于，光学和机械部分耗费过大，并且存在杂光以导致不需要的照明和反射，这是因为最多仅有25％的后反射光被利用。它的另一个缺点是，在光阑处的标本被后反射类照亮并因此仅能进行有选择的显示或测量。在第3个已知的入射系统中，同样也有一个位于测量光路M上的测量光阑40和一个具有部分透明面39的棱镜系统P，测量光阑40的轮廓通过入射光路E被入射到目镜-中间象19上。具有测量光阑轮廓的影子位于与19共轭的面45上。在市场上销售的用于格式化显示的光学显微装置已采用了这种在图3所示的配置。尽管根据此原理也可以考虑采用同步连续调整的测量光阑和入射光阑，但在入射光路E上的入射光阑必须对测量光阑的移动及其形变和量变进行精确的再调节，这就意味着需要机械部分的高耗费。出于对现实的费用和制作工艺的考虑，这是不可能实现的。这种已知的第3个入射原理的另外一个缺点是，很难实现可调的测量光阑及其互补的轮廓。所以本专利技术的任务是，消除已知的方法或装置的缺点，并提出一种入射方法和入射系统，在该方法和系统中在测量光路上选用的测量光阑的位置在观察光路上同时被明显地显示出。本专利技术方法的特征是一个配置在测量光路上的含有多个分立测量光阑的测量光阑板和一个配置在入射光路上位于标线板附近的含有多个分立遮蔽图形的遮蔽板以如下方式同步运行，位于测量光路上的测量光阑经入射光路借助所属的遮蔽图形和具有测量光阑的轮廓或轮廓部分的标线板，同时显示在观察光路上的目镜中同象面上。本专利技术的装置的特征是(a)在测量光路上，在与物面共轭的中间象面上可移动地配置有一个测量光阑板，该测量光阑板至少要有两个不同尺寸的测量光阑，(b)在入射光路上配备有一个光源、一个位于目镜中间象面共轭的面上的标线板和一个在标线板附近配置的可移动的，并至少含有两个与测量光阑互补的遮蔽图形的遮蔽板，(c)入射光路的输入耦合及观察光路的输出耦合是通过一个在成象光路上配置的具有部分透明面的组合棱镜系统实现的。采用上述方式的方法或装置解决了这项任务。在以下实施例中对进一步的优选设计进行了表述。附图对本专利技术的方法或装置做了进一步的描述。下述附图为图1-3是3种已知的曝光测量方法及其相应的装置；图4是本专利技术的第1种实施方式的装置；图5a和5b是视场中两个不同尺寸的测量光阑；图6是具有轮廓部分的图象的标线象；图7是测量光阑板；图8a和8b是测量光路上的测量光阑板的两种不同的有效位置；图9是遮蔽板；图10a和图10b是入射光路上遮蔽板的不同作用位置；图11a是具有3个矩形光阑的测量光阑盘；图11b是在测量光路上处于作用位置的两个相互部分重叠的测量光阑盘；图11c是所构成的新的测量光阑形状。图4为本专利技术装置的示意图，其中采纳了图3的各分光路。成象光路A从一物面O开始沿整个系统的垂直的光轴方向伸展，直至在图中未示出的光学测量装置。图中的M表示相应的测量光路。棱镜系统P含有一个部分透明的面39，在该面射出观察光路B。19表示物镜中间象面。由光源L发出入射光路E。在与19和物面O的共轭的面上，在入射光路E上有一标线板7，并且在紧挨标线板处有一遮档板11，该遮蔽板用一电机15和一所属的旋转轴14移动支撑。在测量光路M上，同样在一个与19共轭的面上有一测量光阑板4，该板被一电机6和一旋转轴5移动支撑。入射光路E在棱镜系统P范围内的过程如下，它穿透部分透明面39，并从此开始与观察光路重合。同步装置16通过线路18或17与电机6或电机15相连接。在结构为不透明片形式的测量光阑板4上，如图7所示，有两个正方形的孔，这两个孔起着大测量光阑3或小测量光阑2的作用。图7中交会点5表示测量光阑板4的旋转轴的轨迹。环形箭头表示，板4可以由电机驱动围绕旋转轴5旋转。图8a和图8b示出测量光阑板4的两个基本位置。在图8a中，小测量光阑2位于有效位置，也就是说，位于测量光路M范围内。图8b示出，围绕旋转轴5旋转180°后的处于有效位置的大测量光阑3。测量光阑2或3的轮廓或轮廓部分被反向投射到标线板7上。该轮廓可以由引线、虚线或点构成。但也可以仅把四方形的顶点作为轮廓部分反向投射到标线板7上。在标线板7上的轮廓是透明的，因而在把轮廓入射到观察光路B的目镜中间像上时，将得到该轮廓相应的明象。图6示出了这种标线图象8。它由标示一个小方形的4个亮十字10和由中心对称的标示一个大方形的4个亮十字9构成。因此供选择的测量光阑2或3的连续轮廓或非连续轮廓部分作为观察光路B上的显微物象上的亮标志，观察者是可以识别出的。为了使标线板7上的整个标志信息不是同时地提供给观察者，在标线板7的邻近处，与标线板平行配置一旋转移动的遮蔽板11。图9示出，该遮蔽板11由不透明的材料构成，具有第一方形遮蔽图12和第二小方形遮蔽图形系统13。14表示遮蔽板11的旋转轴的交会点；环形的双箭头表示遮蔽板11可以旋转180°。图10a为遮蔽图形12在作用位置时的遮蔽板11的定位。这意味着，该遮蔽图形在入射光路E的范围内。由光源L开始的入射光路E，除在方形遮蔽图12范围内的部分可以穿过，其它部分将被遮蔽板11遮档。入射光路E接着到达标线板7并恰好获得轮廓部分10，而在标线板上已有的轮廓部分9继续被遮蔽板11“遮蔽”，也就是说，观察者是看不到的。在遮蔽板围绕旋转轴14旋转后，4个遮蔽图形13处于作用位置，其中它们是与入射光路E的轨迹中心对称配置的。4个遮蔽图形给出了标线板7的轮廓部分9并且其周围视场是空的，因而在接通光源L时在目镜中间象19上可以看到作为亮十字的轮廓部分9。由于测量光阑板4和位于标线板7附近的遮蔽板11是同步运行的，因而也可以附加对在测量光路M上正好选用的测量光阑2或3同时在观察光路B显示相应的测量光阑轮廓。这一点可以采取已知的方式通过与电机6或15有效连接的同步装置16实现本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于测量光学仪器的曝光时间的方法，该光学仪器具有一显微镜成象光路、一观察光路、一测量光路和一入射光路，其特征在于：一个配置在测量光路（Ｍ）上的含有多个分立测量光阑（２，３）的测量光阑板（４）和一个配置在入射光路（Ｅ）上位于标线板（７）附近的含有多个分立遮蔽图形（１２，１３）的遮蔽板（１１）以如下方式同步运行，位于测量光路（Ｍ）上的测量光阑（２）或（３）经入射光路（Ｅ）借助所属的遮蔽图形（１２或１３）和具有测量光阑（２，３）的轮廓或轮廓部分的标线板（７），同时显示在观察光路（Ｂ）上的目镜中间象面（１９）上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：L雷马，M吉尔伯特，F赫尔曼，
申请(专利权)人：莱卡显微及系统有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]