下载测量具有显微成象光路的光学仪器曝光时间的方法和装置的技术资料

文档序号:2684053

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根据本发明方法,一配置在测量光路(M)上的具有多个分立测量光阑(2,3)的测量光阑板(4)以及一配置在入射光路(E)上位于标线板(7)附近的具有多个分立遮蔽图形(12,13)的遮蔽板(11)同步运行,因而在测量光路(M)上的测量光阑(2或3...
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